ຂ່າວ

ການນໍາໃຊ້ຂອງ SiliChide SiliChide ແຂງ

Silicon Silicon Carbide ທີ່ແຂງແມ່ນອຸປະກອນການເຊລາມິກທີ່ກ້າວຫນ້າທີ່ປະກອບດ້ວຍຊິລິໂຄນ (si) ແລະກາກບອນ (c). ມັນບໍ່ແມ່ນສານທີ່ພົບເຫັນໃນທໍາມະຊາດແລະປົກກະຕິແລ້ວຕ້ອງມີການສັງເຄາະທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ. ການປະສົມປະສານທີ່ເປັນເອກະລັກຂອງມັນຂອງຄຸນລັກສະນະທາງດ້ານຮ່າງກາຍແລະສານເຄມີເຮັດໃຫ້ມັນເປັນອຸປະກອນການທີ່ສໍາຄັນທີ່ປະຕິບັດໄດ້ດີໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ສຸດ, ໂດຍສະເພາະໃນການຜະລິດ semiconductor.


ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບຂອງ sic ແຂງ
ຄວາມຫນາແຫນ້ນ
3.21
g / ຊມ3

ການປ້ອງກັນໄຟຟ້າ
102
ω / ຊມ

ຄວາມເຂັ້ມແຂງ flexural
590 MPA
(6000kGF / ຊມ2)
Modulus ຂອງ Young
450 GPA
(6000kGF / ຊມ2)
Vickers Hardness
26 GPA
(26KGGF / ມມ2)
c.t.e. (RT-1000 ℃)
4.0 x10-6/ k

ການປະຕິບັດຄວາມຮ້ອນ (RT)
250 w / mk


. ຄຸນລັກສະນະທາງກາຍະພາບທີ່ສໍາຄັນຂອງ Silicon Carbide (Sic ແຂງ)


hardness ແຂງແລະການຕໍ່ຕ້ານ:

Sic ມີຄວາມແຂງແກ່ນຂອງ Mohs ປະມານ 9-9,5, ອັນດັບສອງເທົ່ານັ້ນກັບເພັດ. ສິ່ງດັ່ງກ່າວເຮັດໃຫ້ມັນມີການຂູດທີ່ດີເລີດແລະການຕໍ່ຕ້ານ, ແລະມັນປະຕິບັດໄດ້ດີໃນສະພາບແວດລ້ອມໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຈໍາເປັນຕ້ອງທົນກັບຄວາມກົດດັນກົນຈັກຫຼືການເຊາະເຈື່ອນ.


ent ຄວາມເຂັ້ມແຂງຂອງອຸນຫະພູມສູງທີ່ດີເລີດແລະສະຖຽນລະພາບ

1. SIC ສາມາດຮັກສາຄວາມແຂງແຮງກົນຈັກແລະມີໂຄງສ້າງໃນອຸນຫະພູມສູງທີ່ສຸດ (ປະຕິບັດງານໃນອຸນຫະພູມສູງເຖິງ 1600 ° C ຫຼືສູງກວ່າ, ຂື້ນກັບປະເພດແລະຄວາມບໍລິສຸດ).

2. ຕົວຄູນຄວາມຮ້ອນຂອງມັນຫມາຍຄວາມວ່າມັນມີສະຖຽນລະພາບທີ່ດີແລະບໍ່ມັກຈະເປັນການຜິດປົກກະຕິຫຼືການແຕກຫັກໃນເວລາທີ່ອຸນຫະພູມປ່ຽນແປງຢ່າງຮຸນແຮງ.


▶ຄວາມຮ້ອນຂອງຄວາມຮ້ອນສູງ:

ບໍ່ຄືກັບວັດຖຸດິບທີ່ຂີ້ແຮ້ອີກ, SIC ມີການປະຕິບັດຄວາມຮ້ອນທີ່ຂ້ອນຂ້າງສູງ. ສິ່ງນີ້ຊ່ວຍໃຫ້ມັນດໍາເນີນການແລະອະທິບາຍຄວາມຮ້ອນຢ່າງມີປະສິດທິພາບ, ເຊິ່ງມີຄວາມສໍາຄັນສໍາລັບການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມແລະຄວາມເປັນເອກະພາບ.


ຄວາມບໍ່ມີຄວາມຄິດເຫັນທາງເຄມີທີ່ດີກວ່າແລະຄວາມຕ້ານທານການກັດທາງ CreROSION:

ການວາງສະແດງ Sic ທີ່ມີຄວາມຕ້ານທານທີ່ສຸດຕໍ່ອາຊິດທີ່ແຂງແຮງທີ່ສຸດ, ຖານທາດທີ່ເຂັ້ມແຂງ, ແລະທາດອາຍພິດທີ່ຖືກນໍາໃຊ້ທົ່ວໄປໃນສະພາບແວດລ້ອມຂອງ plasma), ເຖິງແມ່ນວ່າໃນອຸນຫະພູມສູງ), ແມ່ນແຕ່ໃນອຸນຫະພູມສູງ), ແມ່ນແຕ່ໃນອຸນຫະພູມທີ່ມີຄວາມຄ່ອງແຄວ. ນີ້ແມ່ນສິ່ງທີ່ສໍາຄັນໃນການປ້ອງກັນອົງປະກອບຂອງຂະບວນການຈາກການຖືກກັກຂັງຫຼືປົນເປື້ອນ.


potential ມີທ່າແຮງສໍາລັບຄວາມບໍລິສຸດສູງ:

ການເຄືອບ Sicity Purity ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງຫຼືຊິ້ນສ່ວນຂອງ SIC ແຂງສາມາດຜະລິດໄດ້ໂດຍຜ່ານຂະບວນການຜະລິດສະເພາະ (ເຊັ່ນ: ເງິນຝາກ vapor ເຄມີ - CVD). ໃນການຜະລິດ semiconductor, ຄວາມບໍລິສຸດຂອງວັດຖຸດິບໂດຍກົງມີຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ລະດັບການປົນເປື້ອນຂອງ wafer ແລະຜົນຜະລິດຂອງຜະລິດຕະພັນສຸດທ້າຍ.


▶ຄວາມແຂງຕົວສູງ (Modulus ຂອງຫນຸ່ມ):

Sic ມີ modulus ຂອງໄວຫນຸ່ມສູງ, ຊຶ່ງຫມາຍຄວາມວ່າມັນຍາກຫຼາຍແລະບໍ່ແມ່ນເລື່ອງງ່າຍທີ່ຈະຜິດພາດພາຍໃຕ້ການໂຫຼດ. ນີ້ແມ່ນສິ່ງສໍາຄັນຫຼາຍສໍາລັບສ່ວນປະກອບທີ່ຕ້ອງການຮັກສາຮູບຮ່າງແລະຂະຫນາດທີ່ຊັດເຈນ (ເຊັ່ນວ່າຜູ້ຂົນສົ່ງ Wafer).


▶ຄຸນສົມບັດໄຟຟ້າທີ່ມີຄວາມສາມາດ:

ເຖິງແມ່ນວ່າມັນມັກຈະຖືກໃຊ້ເປັນອຸປະສັກຫຼື semiconductor (ຂື້ນກັບຮູບແບບຜລຶກແລະການຕ້ານທານຂອງມັນຈະຊ່ວຍໃນການຈັດການກັບການປະພຶດຂອງ plasma ຫຼືປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ມີການໃຊ້ງານປະຕູໂດຍຫຍໍ້.


. ການນໍາໃຊ້ແລະຂໍ້ໄດ້ປຽບສະເພາະຂອງ Silicon SiliCide Carbide (Sic ແຂງ) ຜະລິດຕະພັນສໍາເລັດຮູບໃນ semiconduor ຜະລິດ semiconductor


ອີງໃສ່ຄຸນສົມບັດທາງດ້ານຮ່າງກາຍຂ້າງເທິງ, Sic ແຂງແມ່ນຜະລິດໄປເປັນສ່ວນປະກອບທີ່ຫລາກຫລາຍແລະຖືກນໍາໃຊ້ໃນຫລາຍຂະບວນການສໍາຄັນຂອງ Semiconduor.


1) ຜູ້ຂົນສົ່ງ wafer sic ແຂງ (ບັນທຸກເຄື່ອງບັນທຸກ wafer sic ແຂງ / ເຮືອ):


ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ:


ໃຊ້ໃນການນໍາໃຊ້ແລະໂອນດອກໄມ້ຊິລິໂຄນໃນຂະບວນການທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ (ເຊັ່ນ: ການແຜ່ກະຈາຍ, ການຜຸພັງ, ການຝາກເງິນທີ່ມີຄວາມດັນ).


ການວິເຄາະຂໍ້ດີ:


Solid SiC wafer carrier

1. ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງອຸນຫະພູມສູງເກີນ 1000 ° Carriers ຈະບໍ່ອ່ອນລົງ 1000 °.

2. ຊີວິດທີ່ຍາວນານແລະການຜະລິດອະນຸພາກທີ່ຕ່ໍາ: ຄວາມແຂງກະດ້າງຂອງ Sic ແລະການຕໍ່ຕ້ານທີ່ເກີນ quartz, ແລະມັນບໍ່ແມ່ນເລື່ອງງ່າຍທີ່ຈະຜະລິດເຂົ້າຫນົມປັງ. ຊີວິດການບໍລິການຂອງມັນແມ່ນປົກກະຕິແລ້ວຫຼາຍຄັ້ງຫຼືຫຼາຍສິບຄັ້ງຂອງເວລາທີ່ຂອງຜູ້ຂົນສົ່ງທີ່ມີການແຜ່ລະບາດ, ການຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການບໍາລຸງຮັກສາຄວາມຖີ່ແລະການບໍາລຸງຮັກສາ.

3. ສານເຄມີ: ມັນສາມາດຕ້ານທານການເຊາະເຈື່ອນດ້ວຍສານເຄມີໃນບັນຍາກາດໃນຂະບວນການແລະຫຼຸດຜ່ອນການປົນເປື້ອນຂອງອຸປະກອນຂອງມັນເອງ.

4. ຄວາມຮ້ອນ: ການປະຕິບັດຄວາມຮ້ອນ: ຄວາມຮ້ອນທີ່ດີຊ່ວຍໃຫ້ບັນລຸຄວາມຮ້ອນແລະຄວາມເຢັນຂອງຜູ້ຂົນສົ່ງແລະລົດເປົ່າທີ່ວ່ອງໄວແລະປັບປຸງປະສິດທິພາບຂອງຂະບວນການແລະປັບປຸງຄວາມເປັນເອກະພາບ.

.. ຄວາມບໍລິສຸດສູງ: ບັນທຸກທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງສາມາດຜະລິດໄດ້ເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ເຂັ້ມງວດໃນຂໍ້ກ້າວຫນ້າສໍາລັບການຄວບຄຸມທີ່ບໍ່ສະອາດ.


ມູນຄ່າຜູ້ໃຊ້:


ປັບປຸງສະຖຽນລະພາບໃນຂະບວນການ, ເພີ່ມຜົນຜະລິດຜະລິດຕະພັນ, ຫຼຸດຜ່ອນເວລາຫຼຸດລົງທີ່ເກີດຈາກຄວາມລົ້ມເຫຼວຫຼືການປົນເປື້ອນແລະຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍຂອງຄວາມເປັນເຈົ້າຂອງໃນໄລຍະຍາວ.


2) ຫົວອາບນ້ໍາທີ່ມີຮູບຊົງ / ອາຍແກັສທີ່ແຂງແກ່ນ:


ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ:


ຕິດຕັ້ງຢູ່ເທິງສຸດຂອງພາສາປະຕິກິລິຍາຂອງອຸປະກອນຕ່າງໆເຊັ່ນ Plasma atching, Papor dailition (CVD), ແລະອື່ນໆ), ແລະອື່ນໆ), ແລະອື່ນໆ.


Solid SiC Disc-shaped Shower Head

ການວິເຄາະປະໂຫຍດ:


1. ສະພາບແວດລ້ອມຂອງ plasma: ໃນສະພາບແວດລ້ອມຂອງ plasma ທີ່ມີພະລັງງານສູງ, ສານເຄມີທີ່ມີຄວາມສາມາດໃນການຕັດສິນໃຈທີ່ແຂງແຮງແລະການກັດກ່ອນ.


2. ຫົວຫນ້າຫ້ອງນ້ໍາທີ່ມີຄວາມເປັນເອກະພາບແລະມີຄວາມເປັນເອກະພາບສາມາດແຈກຢາຍໄດ້ວ່າກະແສອາຍແກັສແມ່ນຖືກແຈກຢາຍຢູ່ທົ່ວຫນ້ານ້ໍາທັງຫມົດ, ຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງຄວາມຫນາຂອງຮູບເງົາ, ຫລືອັດຕາການປະກອບ. ມັນມີສະຖຽນລະພາບໄລຍະຍາວທີ່ດີແລະບໍ່ແມ່ນເລື່ອງງ່າຍທີ່ຈະຜິດປົກກະຕິຫຼືອຸດຕັນ.


3. ການບໍລິຫານຄວາມຮ້ອນ: ການສະຫນັບສະຫນູນຄວາມຮ້ອນ: ການເຮັດຄວາມຮ້ອນທີ່ດີຊ່ວຍຮັກສາຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງອຸນຫະພູມໃນຫນ້າຈໍອາບນ້ໍາ, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງທີ່ສໍາຄັນສໍາລັບການຝາກຄວາມຮ້ອນຫຼືຂະບວນການ etching.


. 4. ຄວາມບໍລິສຸດທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ: ຄວາມບໍ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງແລະຄວາມບໍ່ມີປະໂຫຍດທາງເຄມີຫຼຸດຜ່ອນການປົນເປື້ອນຂອງວັດສະດຸຂອງອາບນ້ໍາຂອງເຄື່ອງນຸ່ງຂອງຕົນເອງ.


ມູນຄ່າຜູ້ໃຊ້:


ປັບປຸງຄວາມເປັນເອກະພາບຢ່າງຫຼວງຫຼາຍແລະການເຮັດວຽກຄືນໃຫມ່ຂອງຜົນໄດ້ຮັບ, ຂະຫຍາຍຊີວິດການບໍລິການຂອງອາບນ້ໍາແລະບັນຫາໃນຂະແຫນງການບໍາລຸງຮັກສາແລະສະຫນັບສະຫນູນສະພາບປຸງແຕ່ງທີ່ກ້າວຫນ້າແລະເຂັ້ມແຂງກວ່າເກົ່າ.


3) ແຫວນຈຸດສຸມຂອງ SCTE SICT STECTED ALD (ການສຸມໃສ່ການຕັ້ງໃຈທີ່ແຂງແຮງ / ແຫວນແຂບ):


ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ:


ສ່ວນໃຫຍ່ໃຊ້ໃນສະພາເຄື່ອງຈັກ plasma ອຸປະກອນ apsma ຫນ້າທີ່ຂອງມັນແມ່ນການຈໍາກັດແລະນໍາພາ plasma ເພື່ອໃຫ້ມັນປະຕິບັດໃຫ້ເປັນທີ່ຍິ້ມແຍ້ມແຈ່ມໃສໃນດ້ານ wafer ໃນຂະນະທີ່ປົກປ້ອງສ່ວນປະກອບອື່ນໆຂອງຫ້ອງ.


ການວິເຄາະປະໂຫຍດ:


Solid SiC Etching Focusing Ring

1. ການຕໍ່ຕ້ານທີ່ແຂງແຮງຕໍ່ການເຊາະເຈື່ອນຂອງ plasma: ນີ້ແມ່ນປະໂຫຍດທີ່ໂດດເດັ່ນທີ່ສຸດຂອງແຫວນທີ່ສຸມໃສ່ SIs. ໃນ plasmas eching ທີ່ມີຄວາມຮຸນແຮງທີ່ສຸດ


2. ການຮັກສາຂະຫນາດທີ່ສໍາຄັນ: ຄວາມແຂງແຮງແລະຄວາມເຄັ່ງຄັດສູງອະນຸຍາດໃຫ້ມີການສຸມໃສ່ການນໍາໃຊ້ sic ແລະການຮັບປະກັນຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງ plasma.


3. ການຜະລິດອະນຸພາກທີ່ຕ່ໍາ: ເນື່ອງຈາກການຕໍ່ຕ້ານການສວມໃສ່ຂອງມັນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ, ມັນຈະຊ່ວຍໃຫ້ອະນຸພາກທີ່ຜະລິດອອກໂດຍອົງປະກອບຂອງຜູ້ສູງອາຍຸ, ເຮັດໃຫ້ມີຜົນຜະລິດ.


4. ຄວາມບໍລິສຸດສູງ: ຫລີກລ້ຽງການແນະນໍາໂລຫະຫຼືຄວາມບໍ່ສະອາດອື່ນໆ.


ມູນຄ່າຜູ້ໃຊ້:


ຮອບວຽນທົດແທນການທົດແທນສ່ວນປະກອບຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ, ຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການບໍາລຸງຮັກສາແລະເວລາທີ່ພັກຜ່ອນ; ປັບປຸງຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະການເຮັດຊ້ໍາຂອງຂະບວນການ Etching; ຫຼຸດຜ່ອນຂໍ້ບົກຜ່ອງແລະປັບປຸງຜົນຜະລິດຂອງການຜະລິດຊິບທີ່ສູງ.


ⅲ.ສະຫຼຸບຄວາມ


ຊິລິໂຄນທີ່ແຂງໄດ້ກາຍເປັນຫນຶ່ງໃນວັດສະດຸທີ່ໃຊ້ໃນການຜະລິດທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້ເນື່ອງຈາກຄຸນສົມບັດທາງດ້ານຮ່າງກາຍເນື່ອງຈາກມີຄວາມຫມັ້ນຄົງສູງ, ຄວາມຫມັ້ນຄົງດ້ານເຄມີທີ່ດີເລີດແລະຄວາມຕ້ານທານການກັດສານເຄມີທີ່ດີເລີດ. ບໍ່ວ່າຈະເປັນຜູ້ຂົນສົ່ງສໍາລັບຜູ້ທີ່ຕ້ອງການອາບນ້ໍາ, ຜະລິດຕະພັນທີ່ມີປະສິດຕິພາບສູງ, ແລະໃຫ້ຜົນຜະລິດທີ່ແຂງແຮງ, ແລະສົ່ງເສີມການພັດທະນາອຸດສາຫະກໍາທີ່ມີສຸຂະພາບທີ່ຍືນຍົງ.


ເປັນຜູ້ຜະລິດແລະຜູ້ສະຫນອງຜະລິດຕະພັນ Silicon Carbide ທີ່ແຂງໃນປະເທດຈີນ,semiconຜະລິດຕະພັນເຊັ່ນ: ຜະລິດຕະພັນເຊັ່ນບັນທຸກເຄື່ອງບັນທຸກ Sic Sic Sic ແຂງ / ເຮືອ, ຫົວອາບນ້ໍາທີ່ມີຮູບຊົງ SIC, ແຫວນ stching sic ແຂງແຮງ / ແຫວນແຂບໄດ້ຖືກຂາຍຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນເອີຣົບແລະສະຫະລັດອາເມລິກາ, ແລະໄດ້ຮັບການຍ້ອງຍໍແລະການຮັບຮູ້ສູງຈາກລູກຄ້າເຫຼົ່ານີ້. ພວກເຮົາຫວັງວ່າຈະໄດ້ກາຍເປັນຄູ່ຮ່ວມງານໄລຍະຍາວຂອງທ່ານໃນປະເທດຈີນ. ຍິນດີຕ້ອນຮັບສູ່ປຶກສາ.


MOB / whatsapp: + 86-180 6922 0752

ອີເມວ: anny@veteksemi.com


ຂ່າວທີ່ກ່ຽວຂ້ອງ
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept