ສ່ວນປະທັບຕາ SIC

ພາກສ່ວນການປະທັບຕາຂອງ Sic ມີບົດບາດສໍາຄັນໃນການປຸງແຕ່ງ semiconductor. ຄຸນສົມບັດວັດສະດຸທີ່ດີເລີດຂອງມັນແລະຜົນກະທົບຂອງການປະທັບຕາທີ່ຫນ້າເຊື່ອຖືບໍ່ພຽງແຕ່ປັບປຸງປະສິດທິພາບການຜະລິດເທົ່ານັ້ນ, ແຕ່ຍັງຮັບປະກັນຄຸນນະພາບແລະຄວາມປອດໄພຂອງຜະລິດຕະພັນ.

ຂໍ້ໄດ້ປຽບຕົ້ນຕໍຂອງພາກສ່ວນຜະລິດ Silicon Carbide:

ຄວາມຕ້ານທານການກັດທາງທີ່ດີເລີດ: ໃນບັນດາວັດສະດຸທີ່ຝັງສົບທີ່ກ້າວຫນ້າ, ສ່ວນປະທັບຕາຂອງ veteksemi sic ອາດຈະມີຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນແລະເປັນກົດ. ຄວາມຕ້ານທານການກັດພັນທີ່ບໍ່ມີການທຽບເທົ່ານີ້ບາງສ່ວນການປະທັບຕາຂອງ SICE ສາມາດດໍາເນີນງານຢ່າງມີປະສິດຕິຜົນໃນສະພາບແວດລ້ອມທາງເຄມີ, ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນວັດຖຸທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້ໃນອຸດສະຫະກໍາທີ່ມັກຈະຖືກວັດ.

ເບົາບາງລົງແລະແຂງແຮງ: Silicon Carbide ມີຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງປະມານ 3.2 g / cm³, ແລະເຖິງວ່າຈະເປັນອຸປະກອນການເຊລາມິກທີ່ມີນ້ໍາຫນັກເບົາ, ຄວາມເຂັ້ມແຂງຂອງ carbide silicon ແມ່ນທຽບເທົ່າກັບເພັດ. ການປະສົມປະສານຂອງຄວາມສະຫວ່າງແລະຄວາມແຮງປະສົມປະສານນີ້ປັບປຸງປະສິດທິພາບຂອງອົງປະກອບກົນຈັກ, ເຮັດໃຫ້ປະສິດທິພາບເພີ່ມຂື້ນແລະການຫຼຸດຜ່ອນການນຸ່ງຖືໃນການນໍາໃຊ້ອຸດສາຫະກໍາ. ລັກສະນະທີ່ມີນ້ໍາຫນັກຂອງພາກສ່ວນປະທັບຕາຂອງ SIC ຍັງຊ່ວຍເລັ່ງການຈັດການໄດ້ງ່າຍແລະຕິດຕັ້ງສ່ວນປະກອບຕ່າງໆ.

ຄວາມແຂງແຮງສູງແລະຄວາມຮ້ອນສູງ: ຊິລິໂຄນ Carbide ມີຄວາມແຂງກະດ້າງຂອງ Mohs 9 ~ 10, ທຽບກັບເພັດ. ຊັບສິນນີ້, ປະສົມປະສານກັບການປະຕິບັດຄວາມຮ້ອນສູງ (ປະມານ 120-200 w / M · k ໃນອຸນຫະພູມຫ້ອງ), ເຮັດໃຫ້ປະທັບຕາ SIC ເພື່ອເຮັດໃຫ້ວັດສະດຸທີ່ຕໍ່າກວ່າ. ຄຸນລັກສະນະຂອງກົນຈັກທີ່ດີເລີດຂອງ SIC ຖືກຮັກສາໄວ້ໃນອຸນຫະພູມສູງເຖິງ 1600 ° C, ຮັບປະກັນວ່າ SICE ປະທັບຕາຍັງແຂງແຮງແລະເຊື່ອຖືໄດ້ເຖິງແມ່ນວ່າໃນການນໍາໃຊ້ອຸນຫະພູມສູງ.

ແຂງສູງແລະການຕໍ່ຕ້ານ: ຊິລິໂຄນ Carbide ແມ່ນມີລັກສະນະໂດຍພັນທະບັດທີ່ແຂງແຮງຢູ່ໃນສະຖານທີ່ຈອດລົດໄປເຊຍກັນຂອງມັນ, ໃຫ້ມັນແຂງແລະມີຮູບແບບທີ່ເຫມາະສົມ. ຄຸນສົມບັດເຫຼົ່ານີ້ໄດ້ແປເປັນຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່ທີ່ດີເລີດ, ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມເປັນໄປໄດ້ຂອງການໂຄ້ງຫລືຜິດປົກກະຕິກໍ່ຕາມການນໍາໃຊ້ໄລຍະຍາວ. ນີ້ເຮັດໃຫ້ sic ເປັນທາງເລືອກທີ່ດີເລີດສໍາລັບພາກສ່ວນການປະທັບຕາຂອງ Sic ທີ່ຖືກກົດດັນໃຫ້ມີຄວາມກົດດັນກົນຈັກແລະສະພາບ abrasive.

ການປ້ອງກັນຊິລິໂຄນ Silicon Dioxide: ໃນເວລາທີ່ປະສົບກັບອຸນຫະພູມປະມານ 1300 ° C ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ອຸດົມສົມບູນ, carbide silicon ປະກອບເປັນ silicon dioxide ປ້ອງກັນ (sio₂) ຊັ້ນຢູ່ເທິງພື້ນຜິວຂອງມັນ. ຊັ້ນນີ້ເຮັດຫນ້າທີ່ເປັນອຸປະສັກ, ປ້ອງກັນການຜຸພັງແລະການພົວພັນທາງເຄມີຕື່ມອີກ. ເປັນ sio ໄດ້₂ຫນາຊັ້ນ, ມັນປົກປ້ອງຕື່ມອີກດ້ານການທີ່ຕິດພັນກັບປະຕິກິລິຍາອື່ນໆ. ຂະບວນການຜຸພັງທີ່ຈໍາກັດຕົວເລກຕົວຈິງນີ້ໃຫ້ສານເຄມີທີ່ດີເລີດແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງ, ການເຮັດໃຫ້ປະທັບຕາທີ່ເຫມາະສົມກັບການນໍາໃຊ້ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີປະສິດຕິພາບແລະສູງ.

Versatility ໃນການນໍາໃຊ້ທີ່ມີປະສິດຕິພາບສູງ:ຄຸນສົມບັດທີ່ເປັນເອກະລັກສະເພາະຂອງ Silicon Carbide ເຮັດໃຫ້ມັນມີຄວາມຄ່ອງແຄ້ວແລະມີປະສິດທິພາບໃນການສະຫມັກທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງ. ຈາກການປະທັບຕາແລະເຄື່ອງບູຊາດ້ານກົນຈັກແລະເຄື່ອງປະດັບທີ່ມີຄວາມຮ້ອນ, ສ່ວນປະທັບຕາຂອງ Sic

ເຄື່ອງຈັກ vetek semiconductor ໄດ້ມີຄວາມມຸ້ງຫມັ້ນທີ່ຈະໃຫ້ວິທີແກ້ໄຂເຕັກໂນໂລຢີທີ່ກ້າວຫນ້າແລະວິທີແກ້ໄຂຜະລິດຕະພັນສໍາລັບອຸດສາຫະກໍາ semiconductor. ນອກຈາກນັ້ນ, ຜະລິດຕະພັນ SIC ຂອງພວກເຮົາຍັງປະກອບມີການເຄືອບຊິລິໂຄນ Carbide, carbide carbide carbideແລະSIC ຂະບວນການ Epitaxyຜະລິດຕະພັນ. ຍິນດີຕ້ອນຮັບການປຶກສາຫາລືຂອງທ່ານ.

ຂໍ້ມູນ SEM ຂອງໂຄງສ້າງ CVD SIC：