ຜະລິດຕະພັນ

Halfmoon ແມ່ນອົງປະກອບ graphite ທີ່ໃຊ້ພາຍໃນເຕົາປະຕິກອນ LPE SiC, ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນຕິດຕັ້ງຢູ່ອ້ອມຮອບຫ້ອງຮ້ອນ. ເຖິງແມ່ນວ່າມັນບໍ່ໄດ້ຕິດຕໍ່ໂດຍກົງກັບ wafer, ມັນຍັງມີບົດບາດໃນສະຖຽນລະພາບການໄຫຼຂອງອາຍແກັສແລະການດໍາເນີນງານຂອງເຕົາປະຕິກອນໃນລະຫວ່າງການເຕີບໃຫຍ່ຂອງ epitaxial. ເພື່ອຈັດການກັບອຸນຫະພູມສູງແລະສະພາບຂະບວນການ reactive, ອົງປະກອບມັກຈະຖືກປົກປ້ອງດ້ວຍການເຄືອບ CVD SiC, ໃນຂະນະທີ່ການເຄືອບ TaC ຍັງມີສໍາລັບບາງຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ. VETEK ຍັງສະຫນອງ insulation graphite ແລະພາກສ່ວນ graphite ເຄືອບອື່ນໆສໍາລັບລະບົບ SiC epitaxy.

ວົງແຫວນ SiC epi ຂະໜາດ 8 ນິ້ວແມ່ນສ່ວນໜຶ່ງຂອງຮາດແວສຳລັບເຄື່ອງປະຕິກອນ semiconductor. ມັນເຮັດວຽກຢູ່ໃນລະບົບ Si/SiC epitaxy ແລະ MOCVD/CVD. ວົງແຫວນນີ້ເຮັດໃຫ້ຄວາມຮ້ອນພາຍໃນຫ້ອງມີສະຖຽນລະພາບ. ມັນຍັງຄວບຄຸມການໄຫຼຂອງອາຍແກັສ. ວັດສະດຸແມ່ນ CVD Silicon Carbide ຄວາມບໍລິສຸດສູງ. ມັນບໍ່ມີບັນຫາ outgassing ຂອງ graphite. ມັນຍັງຫຼຸດຜ່ອນການປົນເປື້ອນ particle ໃນລະຫວ່າງການຜະລິດ. ພວກເຮົາຍິນດີຕ້ອນຮັບການສອບຖາມຂອງທ່ານ.

VETEK ໄດ້ພັດທະນາຄວາມຮູ້ສຶກອ່ອນຂອງເສັ້ນໄຍກາກບອນຂອງພວກເຮົາໂດຍນໍາໃຊ້ການປະສົມປະສານຂອງບັດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາແລະເຕັກໂນໂລຢີ air-jet. ພວກເຮົາສາມາດຮັບປະກັນໂຄງສ້າງເສັ້ນໄຍທີ່ມີຄວາມເປັນເອກະພາບສູງໃນທົ່ວວັດສະດຸ. ມັນຖືກສ້າງຂຶ້ນເພື່ອທົນທານຕໍ່ຄວາມຮ້ອນທີ່ຮຸນແຮງຂອງ furnaces ອຸດສາຫະກໍາໃນຂະນະທີ່ຍັງມີນ້ໍາຫນັກເບົາທີ່ບໍ່ຫນ້າເຊື່ອ. ດ້ວຍມວນຄວາມຮ້ອນທີ່ຕໍ່າ ແລະໂຄງສ້າງທີ່ມີຄວາມຍືດຫຍຸ່ນ, ມັນງ່າຍທີ່ຈະຕິດຕັ້ງ ແລະເຂົ້າກັນໄດ້ຢ່າງສະດວກສະບາຍໃນມຸມເຕົາ, ຊ່ວຍເພີ່ມປະສິດທິພາບພະລັງງານໃຫ້ສູງສຸດໃນທຸກໆຮອບ.

ຄຸນນະພາບຂອງວັດສະດຸແຫຼ່ງເບື້ອງຕົ້ນແມ່ນປັດໃຈຕົ້ນຕໍທີ່ຈໍາກັດຜົນຜະລິດຂອງ wafer ໃນການຜະລິດໄປເຊຍກັນ SiC ດຽວ. 7N ຄວາມບໍລິສຸດສູງ CVD SiC Bulk ຂອງ VETEK ສະເຫນີທາງເລືອກ polycrystalline ທີ່ມີຄວາມຫນາແຫນ້ນສູງໃຫ້ກັບຝຸ່ນພື້ນເມືອງ, ວິສະວະກໍາໂດຍສະເພາະສໍາລັບການຂົນສົ່ງ Vapor ທາງດ້ານຮ່າງກາຍ (PVT). ໂດຍການນໍາໃຊ້ແບບຟອມ CVD ຈໍານວນຫລາຍ, ພວກເຮົາກໍາຈັດຄວາມບົກຜ່ອງດ້ານການເຕີບໂຕທົ່ວໄປແລະປັບປຸງການສະຫນອງຂອງເຕົາເຜົາຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ. ລໍຖ້າການສອບຖາມຂອງທ່ານ.

ໃນການຜະລິດທີ່ກ້າວຫນ້າເຊັ່ນ: ການແຜ່ກະຈາຍ, ການຜຸພັງ, ຫຼື LPCVD, ເຮືອ wafer ບໍ່ພຽງແຕ່ເປັນຜູ້ຖື - ມັນເປັນສ່ວນຫນຶ່ງທີ່ສໍາຄັນຂອງສະພາບແວດລ້ອມຄວາມຮ້ອນ. ໃນອຸນຫະພູມທີ່ຕີ 1000 ° C ຫາ 1400 ° C, ວັດສະດຸມາດຕະຖານມັກຈະລົ້ມເຫລວເນື່ອງຈາກການ warping ຫຼື outgassing. ການແກ້ໄຂ SiC-on-SiC ຂອງ VETEK (ຊັ້ນໃຕ້ດິນທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງທີ່ມີການເຄືອບ CVD ຫນາແຫນ້ນ) ໄດ້ຖືກອອກແບບໂດຍສະເພາະເພື່ອສະຖຽນລະພາບຕົວແປຄວາມຮ້ອນສູງເຫຼົ່ານີ້.

ສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງແລະປະຕິກິລິຍາທາງເຄມີຂອງ MOCVD, ການປົກປ້ອງຫ້ອງຕິກິຣິຍາແລະຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງການຄວບຄຸມຂະບວນການແມ່ນສໍາຄັນທີ່ສຸດ. VETEK ສະຫນອງອົງປະກອບ Quartz Opaque (Milky White) ທີ່ນິຍົມ, ອອກແບບໂດຍສະເພາະເພື່ອເຮັດຫນ້າທີ່ເປັນ "ຫ້ອງເຮັດຄວາມສະອາດ" ແລະ "ປະຕູຄວາມຊັດເຈນ" ພາຍໃນອຸປະກອນ semiconductor ຂອງທ່ານ. ອົງປະກອບເຫຼົ່ານີ້ສະຫນອງການແກ້ໄຂຄ່າໃຊ້ຈ່າຍທີ່ມີປະສິດທິພາບແຕ່ມີປະສິດທິພາບສູງສໍາລັບການຄຸ້ມຄອງຮັງສີຄວາມຮ້ອນແລະປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນ.