Silicon Nitride

1. ສະຖຽນລະພາບເຄມີທີ່ດີເລີດ

ເຄື່ອງປັ້ນດິນເຜົາ Silicon Nitride ມີຄວາມຫມັ້ນຄົງທາງເຄມີທີ່ດີເລີດແລະສາມາດຕ້ານທານກັບອາຊິດທີ່ແຂງແຮງ, ເປັນດ່າງແລະອາຍແກັສທີ່ເປັນດ່າງ. ໃນຂະບວນການຜະລິດ semiconductor ມັກຈະຕ້ອງຈັດການກັບສານເຄມີທີ່ສົມເຫດສົມຜົນ, ຊິລິໂຄນ coramics ສາມາດໃຫ້ການຄ້ໍາປະກັນທີ່ມີຄວາມຫມັ້ນຄົງໃນໄລຍະຍາວ.

2. ຄຸນລັກສະນະກົນຈັກທີ່ດີເລີດ

ເຄື່ອງປັ້ນດິນເຜົາຊິລິໂຄນມີຄວາມແຂງສູງ, ມີຄວາມເຂັ້ມແຂງທີ່ສົມບູນແບບທີ່ດີເລີດແລະການສວມໃສ່ຄວາມກົດດັນແລະການສວມໃສ່ແບບກົນຈັກ, ບໍ່ແມ່ນເລື່ອງງ່າຍຕໍ່ການຜິດປົກກະຕິຫຼືຄວາມຜິດປົກກະຕິ. ຊັບສິນກົນຈັກນີ້ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມທີ່ສຸດເປັນວັດສະດຸສໍາລັບພາກສ່ວນທີ່ມີໂຄງສ້າງແລະຂະບວນການໃນອຸປະກອນ semiconductor.

3. ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງອຸນຫະພູມສູງ

ເຄື່ອງປັ້ນດິນເຜົາຊິລິໂຄນສາມາດຮັກສາຄວາມຫມັ້ນຄົງໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ, ບໍ່ແມ່ນງ່າຍທີ່ຈະເຮັດໃຫ້ອ່ອນໂຍນຫຼືລະລາຍ, ແລະສາມາດຄວບຄຸມໄດ້ແລະຈັດການກັບຂະບວນການຜະລິດທີ່ມີ semiconductor. ນີ້ຊ່ວຍໃຫ້ມັນໄດ້ຖືກນໍາໃຊ້ໃນການຜະລິດຂອງຂະບວນການທີ່ມີຂະບວນການສູງອຸປະກອນສ່ວນປະກອບສໍາລັບ, ເຊັ່ນ: grippers, ສ່ວນປະກອບຂອງຕິກິຣິຍາແລະອື່ນໆ.

4. ຄຸນລັກສະນະທີ່ບໍ່ມີປະສິດຕິພາບດີເລີດ

ຄຸນສົມບັດ insulating ແມ່ນສໍາຄັນໃນການຜະລິດອຸປະກອນ semiconductor. ເຄື່ອງປັ້ນດິນເຜົາ Silicon Nitride ມີຄຸນສົມບັດທີ່ລະບຸດີ, ເຊິ່ງສາມາດປົກປ້ອງສ່ວນປະກອບຂອງວົງຈອນໄດ້ຢ່າງມີປະສິດຕິພາບຈາກການຮົ່ວໄຫຼໃນປະຈຸບັນຫຼືການຊ່ວຍເຫຼືອໄຟຟ້າໃນປະຈຸບັນ, ຊ່ວຍປັບປຸງຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງອຸປະຕິເຫດ.

5. ການປະຕິບັດຄວາມຮ້ອນແລະຄວາມຮ້ອນ

ເຄື່ອງປັ່ນປ່ວນຊິລິໂຄນມີການປະຕິບັດຄວາມຮ້ອນສູງ, ສາມາດເຮັດໄດ້ແລະອະທິບາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ຜະລິດໂດຍອຸປະກອນ, ຊ່ວຍຮັກສາຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງອຸປະກອນໃນຂະບວນການປະຕິບັດງານ. ນີ້ແມ່ນສິ່ງທີ່ສໍາຄັນຕໍ່ການປະຕິບັດງານທີ່ມີປະສິດຕິພາບສູງຂອງອຸປະກອນ semiconductor.

1. chucks electrostatic ແລະສ່ວນປະກອບຫ້ອງການສະຫນັບສະຫນູນ

ເຄື່ອງປັ້ນດິນເຜົາຊິລິໂຄນມັກຈະຖືກໃຊ້ເປັນວັດສະດຸສໍາລັບເຄື່ອງຈັກໄຟຟ້າແລະສ່ວນປະກອບຫ້ອງການສະຫນັບສະຫນູນດ້ານ semiconductor ຍ້ອນວ່າມີຄວາມຫມັ້ນຄົງດ້ານເຄມີທີ່ດີເລີດແລະມີຄວາມຕ້ານທານສູງ. Cucks Electrostatic ແມ່ນໃຊ້ເພື່ອແກ້ໄຂແລະສະຖຽນລະພາບຂອງ wafers ຫຼື slectrates, ໃນຂະນະທີ່ສ່ວນປະກອບຫ້ອງການສະຫະລັດອາກາດຖືກໃຊ້ເພື່ອເຮັດໃຫ້ທາດອາຍຜິດແລະສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອາການສູງ.

2. ປ້າຍທີ່ແຈກຢາຍກ gas າຊແລະການສະທ້ອນອາຍແກັສ

ເຄື່ອງປັ້ນດິນເຜົາຊິລິໂຄນຍັງຖືກນໍາໃຊ້ໃນການຜະລິດອຸປະກອນ semiconductor ໃນແຜ່ນແລະການສະທ້ອນອາຍແກັສ. ແຜ່ນຈໍານວນເງິນທີ່ມີການປະຕິເສດກ gas າຊແມ່ນໃຊ້ເພື່ອປ້ອງກັນທີ່ມີປະຕິກິລິຍາຫຼືປ້ອງກັນຢ່າງເປັນເອກະພາບໃນການສະທ້ອນແສງທີ່ມີປະສິດຕິກິລິຍາເພື່ອປັບປຸງປະສິດຕິກິລິຍາແລະຄວາມເປັນເອກະພາບ.

3. ຜູ້ຖືແລະສ່ວນປະກອບຄວາມຮ້ອນ

ເຄື່ອງປັ້ນດິນເຜົາຊິລິໂຄນມັກຈະຖືກນໍາໃຊ້ເປັນຜູ້ຖືແລະສ່ວນປະກອບການບໍລິຫານຄວາມຮ້ອນໃນອຸປະກອນຜະລິດ semiconductor. ສ່ວນປະກອບເຫລົ່ານີ້ຈໍາເປັນຕ້ອງມີຄວາມເຂັ້ມແຂງທາງກົນຈັກທີ່ດີ, ໃສ່ຄວາມຕ້ານທານແລະຄວາມຮ້ອນເພື່ອຮັບປະກັນການດໍາເນີນງານຂອງອຸປະກອນແລະຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງອຸປະກອນທີ່ຫມັ້ນຄົງ.

4. ສານເຄມີເຕັກນິກເຄມີທີ່ມີສານເຄມີ (CMP)

ຊິລິໂຄນ nitride ເຊລາມິກແມ່ນຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງເປັນອຸປະກອນການ pad ໃນຂະບວນການທາງເຄມີທີ່ມີການຂັດຂວາງທາງເຄມີ. ມັນມີຄວາມວຸ້ນວາຍທີ່ດີເລີດແລະການຕໍ່ຕ້ານ, ແລະສາມາດສະຫນັບສະຫນູນທີ່ຫມັ້ນຄົງໃນລະຫວ່າງຂັ້ນຕອນການຂັດເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມກວ້າງແລະຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງຫນ້າດິນ semiconductor.