ຊິລິໂຄນໄນທຣິກ

VeTek Semiconductor ສຸມໃສ່ການຜະລິດຂອງ Silicon Nitride ແລະມີທີມງານຄົ້ນຄ້ວາແລະການພັດທະນາທີ່ປະກອບດ້ວຍຜູ້ຊ່ຽວຊານຊັ້ນສູງແລະພອນສະຫວັນດ້ານວິຊາການຊັ້ນນໍາ. Silicon nitride ceramics ມີຄວາມໄດ້ປຽບຂອງຄວາມແຂງ, ຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນ, ການຕໍ່ຕ້ານການສວມໃສ່ແລະການຕໍ່ຕ້ານ corrosion ຂອງວັດສະດຸເຊລາມິກທົ່ວໄປ, ແລະມີຄວາມໄດ້ປຽບຂອງການຕ້ານການຊ໊ອກຄວາມຮ້ອນທີ່ດີ, ຄວາມຕ້ານທານກັບ creep ອຸນຫະພູມສູງ, ການຫລໍ່ລື່ນຕົນເອງທີ່ດີ, ແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງທາງເຄມີທີ່ດີ, ແລະຢ່າງກວ້າງຂວາງ. ນຳໃຊ້ໃນຂົງເຂດພະລັງງານໃໝ່, ອຸດສາຫະກຳເຄມີ, ການບິນອະວະກາດ ແລະ ຂະແໜງ semiconductor.

ວັດສະດຸ Silicon Nitride ຂອງ VeTek Semiconductor ມີຂໍ້ໄດ້ປຽບທີ່ໂດດເດັ່ນ:

1. ສະຖຽນລະພາບທາງເຄມີທີ່ດີເລີດ

Silicon nitride ceramics ມີຄວາມຫມັ້ນຄົງທາງເຄມີທີ່ດີເລີດແລະສາມາດທົນທານຕໍ່ຄວາມຫລາກຫລາຍຂອງອາຊິດທີ່ເຂັ້ມແຂງ, ເປັນດ່າງແລະທາດອາຍຜິດ corrosive. ໃນຂະບວນການຜະລິດ semiconductor ມັກຈະຕ້ອງຈັດການກັບສານເຄມີ corrosive, Silicon nitride ceramics ສາມາດສະຫນອງການຮັບປະກັນປະສິດທິພາບທີ່ຫມັ້ນຄົງໃນໄລຍະຍາວ.

2. ຄຸນສົມບັດກົນຈັກທີ່ດີເລີດ

Silicon nitride ceramics ມີຄວາມແຂງສູງ, ມີຄວາມເຂັ້ມແຂງບີບອັດທີ່ດີເລີດແລະການຕໍ່ຕ້ານການສວມໃສ່, ສາມາດທົນທານຕໍ່ຄວາມກົດດັນກົນຈັກແລະການສວມໃສ່ຫນ້າດິນ, ບໍ່ງ່າຍທີ່ຈະຜິດປົກກະຕິຫຼື rupture. ຄຸນສົມບັດກົນຈັກນີ້ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມຫຼາຍເປັນວັດສະດຸສໍາລັບໂຄງສ້າງແລະພາກສ່ວນຂະບວນການໃນອຸປະກອນ semiconductor.

3. ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງອຸນຫະພູມສູງ

Silicon nitride ceramics ສາມາດຮັກສາຄວາມຫມັ້ນຄົງໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ, ບໍ່ງ່າຍທີ່ຈະອ່ອນລົງຫຼືລະລາຍ, ແລະສາມາດທົນທານຕໍ່ການປຸງແຕ່ງແລະການຈັດການທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງໃນຂະບວນການຜະລິດ semiconductor. ນີ້ອະນຸຍາດໃຫ້ນໍາໃຊ້ໃນການຜະລິດຂອງອຸປະກອນຂະບວນການອຸນຫະພູມສູງອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນ, ເຊັ່ນ grippers, ອົງປະກອບຫ້ອງຕິກິຣິຍາແລະອື່ນໆ.

4. ຄຸນສົມບັດ insulating ທີ່ດີເລີດ

ຄຸນສົມບັດຂອງ insulating ແມ່ນສໍາຄັນໃນການຜະລິດອຸປະກອນ semiconductor. Silicon nitride ceramics ມີຄຸນສົມບັດ insulating ທີ່ດີ, ເຊິ່ງປະສິດທິພາບສາມາດແຍກອອກແລະປ້ອງກັນອົງປະກອບຂອງວົງຈອນຈາກການຮົ່ວໄຫລຫຼືການແຊກແຊງໄຟຟ້າໃນປະຈຸບັນ, ຊ່ວຍປັບປຸງຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງອຸປະກອນ.

5. ການນໍາຄວາມຮ້ອນແລະການນໍາຄວາມຮ້ອນ

Silicon nitride ceramics ມີ conductivity ຄວາມຮ້ອນສູງ, ປະສິດທິພາບສາມາດດໍາເນີນການແລະ dissipate ຄວາມຮ້ອນທີ່ຜະລິດໂດຍອຸປະກອນ, ຊ່ວຍຮັກສາສະຖຽນລະພາບອຸນຫະພູມຂອງອຸປະກອນໃນຂະບວນການປະຕິບັດງານ. ນີ້ແມ່ນສໍາຄັນຕໍ່ກັບການດໍາເນີນງານທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງຂອງອຸປະກອນ semiconductor.

ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຂອງວັດສະດຸ Silicon Nitride ຂອງ VeTek Semiconductor ໃນອຸດສາຫະກໍາແສງຕາເວັນແລະ semiconductor ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນປະກອບມີ:

1. chucks electrostatic ແລະອົງປະກອບຂອງສະພາການ etching

ເຊລາມິກ Silicon nitride ມັກຈະຖືກນໍາໃຊ້ເປັນວັດສະດຸສໍາລັບ chucks electrostatic ແລະ etching chamber ອົງປະກອບໃນການຜະລິດ semiconductor ເນື່ອງຈາກຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງສານເຄມີທີ່ດີເລີດແລະທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ. chucks electrostatic ຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອແກ້ໄຂແລະສະຖຽນລະພາບ wafers ຫຼື substrates, ໃນຂະນະທີ່ etching chamber ອົງປະກອບຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອທົນທານຕໍ່ທາດອາຍຜິດ corrosive ແລະສະພາບແວດລ້ອມອຸນຫະພູມສູງ.

2. ແຜ່ນກະຈາຍອາຍແກັສ ແລະເຄື່ອງສະທ້ອນແສງ

Silicon nitride ceramics ຍັງຖືກໃຊ້ໃນການຜະລິດອຸປະກອນ semiconductor ໃນແຜ່ນກະຈາຍອາຍແກັສແລະເຄື່ອງສະທ້ອນແສງ. ແຜ່ນກະຈາຍອາຍແກັສຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອແຈກຢາຍທາດອາຍຜິດປະຕິກິລິຢາຢ່າງເປັນເອກະພາບຫຼືປ້ອງກັນເຂົ້າໄປໃນຫ້ອງຕິກິຣິຍາ, ໃນຂະນະທີ່ເຄື່ອງສະທ້ອນແສງຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອເພີ່ມປະສິດທິພາບການແຈກຢາຍແລະການສະທ້ອນຂອງແສງສະຫວ່າງພາຍໃນຫ້ອງຕິກິຣິຍາເພື່ອປັບປຸງປະສິດທິພາບຕິກິຣິຍາແລະຄວາມເປັນເອກະພາບ.

3. ຜູ້ຖືແລະອົງປະກອບຄວາມຮ້ອນ

ເຊລາມິກຊິລິໂຄນ nitride ມັກຈະຖືກນໍາໃຊ້ເປັນຜູ້ຖືແລະອົງປະກອບການຄຸ້ມຄອງຄວາມຮ້ອນໃນອຸປະກອນການຜະລິດ semiconductor. ອົງປະກອບເຫຼົ່ານີ້ຕ້ອງມີຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກທີ່ດີ, ການຕໍ່ຕ້ານການສວມໃສ່ແລະການນໍາຄວາມຮ້ອນເພື່ອຮັບປະກັນການດໍາເນີນງານອຸປະກອນທີ່ຫມັ້ນຄົງແລະຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການປຸງແຕ່ງອຸປະກອນ.

4. ແຜ່ນຂັດດ້ວຍກົນຈັກເຄມີ (CMP).

Silicon Nitride ceramic ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງເປັນວັດສະດຸ pad ໃນຂະບວນການຂັດກົນຈັກເຄມີ (CMP). ມັນມີຄວາມຮາບພຽງດີເລີດແລະການຕໍ່ຕ້ານການສວມໃສ່, ແລະສາມາດສະຫນອງການສະຫນັບສະຫນູນທີ່ຫມັ້ນຄົງໃນລະຫວ່າງຂະບວນການຂັດເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມຮາບພຽງແລະຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງຫນ້າດິນ wafer semiconductor.