ການເຄືອບ Silicon Carbide

VeTek Semiconductor ຊ່ຽວຊານໃນການຜະລິດຜະລິດຕະພັນການເຄືອບ Silicon Carbide ບໍລິສຸດ ultra, ການເຄືອບເຫຼົ່ານີ້ຖືກອອກແບບມາເພື່ອນໍາໃຊ້ກັບ graphite ບໍລິສຸດ, ceramics, ແລະອົງປະກອບໂລຫະ refractory.

ການເຄືອບທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງຂອງພວກເຮົາແມ່ນເປົ້າຫມາຍຕົ້ນຕໍສໍາລັບການນໍາໃຊ້ໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ແລະເອເລັກໂຕຣນິກ. ພວກມັນເຮັດຫນ້າທີ່ເປັນຊັ້ນປ້ອງກັນສໍາລັບຜູ້ຂົນສົ່ງ wafer, susceptors, ແລະອົງປະກອບຄວາມຮ້ອນ, ປົກປ້ອງພວກເຂົາຈາກສະພາບແວດລ້ອມທີ່ກັດກ່ອນແລະປະຕິກິລິຍາທີ່ພົບໃນຂະບວນການເຊັ່ນ MOCVD ແລະ EPI. ຂະບວນການເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນສໍາຄັນຕໍ່ການປຸງແຕ່ງ wafer ແລະການຜະລິດອຸປະກອນ. ນອກຈາກນັ້ນ, ການເຄືອບຂອງພວກເຮົາແມ່ນເຫມາະສົມສໍາລັບການນໍາໃຊ້ໃນ furnace ສູນຍາກາດແລະການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນຕົວຢ່າງ, ບ່ອນທີ່ສູນຍາກາດສູງ, reactive, ແລະອົກຊີເຈນທີ່ສະພາບແວດລ້ອມໄດ້ພົບ.

ທີ່ VeTek Semiconductor, ພວກເຮົາສະເຫນີການແກ້ໄຂທີ່ສົມບູນແບບດ້ວຍຄວາມສາມາດຂອງຮ້ານເຄື່ອງທີ່ກ້າວຫນ້າຂອງພວກເຮົາ. ນີ້ເຮັດໃຫ້ພວກເຮົາສາມາດຜະລິດອົງປະກອບພື້ນຖານໂດຍໃຊ້ graphite, ceramics, ຫຼືໂລຫະ refractory ແລະນໍາໃຊ້ SiC ຫຼື TaC ເຄືອບເຊລາມິກໃນເຮືອນ. ພວກເຮົາຍັງໃຫ້ບໍລິການເຄືອບສໍາລັບພາກສ່ວນທີ່ລູກຄ້າສະຫນອງ, ຮັບປະກັນຄວາມຍືດຫຍຸ່ນເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ຫຼາກຫຼາຍ.

ຜະລິດຕະພັນການເຄືອບ Silicon Carbide ຂອງພວກເຮົາຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນ Si epitaxy, SiC epitaxy, ລະບົບ MOCVD, ຂະບວນການ RTP / RTA, ຂະບວນການ etching, ICP / PSS etching, ຂະບວນການຂອງປະເພດ LED ຕ່າງໆ, ລວມທັງ LED ສີຟ້າແລະສີຂຽວ, UV LED ແລະ deep-UV. LED ແລະອື່ນໆ, ເຊິ່ງປັບຕົວເຂົ້າກັບອຸປະກອນຈາກ LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI ແລະອື່ນໆ.

ພາກສ່ວນເຄື່ອງປະຕິກອນພວກເຮົາສາມາດເຮັດໄດ້:

ການເຄືອບ Silicon Carbide ມີຂໍ້ດີທີ່ເປັນເອກະລັກຫຼາຍ:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor ຕົວກໍານົດການເຄືອບ Silicon Carbide

ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບພື້ນຖານຂອງການເຄືອບ CVD SiC
ຊັບສິນ	ຄ່າປົກກະຕິ
ໂຄງປະກອບການໄປເຊຍກັນ	FCC βໄລຍະ polycrystalline, ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນ (111) ຮັດກຸມ
ຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງເຄືອບ SiC	3.21 g/cm³
SiC coating ຄວາມແຂງ	ຄວາມແຂງຂອງ Vickers 2500 (ໂຫຼດ 500g)
ເມັດ SiZe	2-10 ມມ
ຄວາມບໍລິສຸດທາງເຄມີ	99.99995%
ຄວາມອາດສາມາດຄວາມຮ້ອນ	640 J·kg^-1· ຄ^-1
ອຸນຫະພູມ sublimation	2700℃
ຄວາມເຂັ້ມແຂງ Flexural	415 MPa RT 4 ຈຸດ
ໂມດູລຂອງໜຸ່ມ	430 Gpa 4pt ໂຄ້ງ, 1300 ℃
ການນໍາຄວາມຮ້ອນ	300W·m^-1· ຄ^-1
ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ (CTE)	4.5×10-6K^-1

CVD SIC FILM CRYSTAL ໂຄງສ້າງ

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Silicon Carbide ເຄືອບ Epi susceptor SiC Coating Wafer Carrier SiC coated Satellite cover ສໍາລັບ MOCVD CVD SiC Coating Wafer Epi Susceptor ອົງປະກອບຄວາມຮ້ອນເຄືອບ CVD SiC ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການ wafer ດາວທຽມ Aixtron ເຄື່ອງຮັບ Epi Coating SiC SiC coating halfmoon graphite ພາກສ່ວນ

CVD Silicon Carbide (SiC) ເຄືອບ Graphite RTP RTA Carrier

VETEK CVD Silicon Carbide (SiC) Coated Graphite RTP RTA Carrier ຖືກອອກແບບມາສໍາລັບການປຸງແຕ່ງຄວາມຮ້ອນຢ່າງໄວວາ (RTP) ແລະລະບົບການຫມຸນຄວາມຮ້ອນຢ່າງໄວວາ (RTA) ທີ່ໃຊ້ໃນການຜະລິດ semiconductor. ຜະລິດຈາກ graphite isostatic ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງທີ່ມີການເຄືອບ CVD SiC ທີ່ຫນາແຫນ້ນ, ມັນສະຫນອງຄວາມຫມັ້ນຄົງຄວາມຮ້ອນທີ່ໂດດເດັ່ນ, ຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງອຸນຫະພູມທີ່ດີເລີດ, ການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີທີ່ເຫນືອກວ່າ, ແລະການຜະລິດອະນຸພາກຕ່ໍາສຸດ. ວິສະວະກໍາເພື່ອທົນທານຕໍ່ວົງຈອນຄວາມຮ້ອນແລະການເຮັດຄວາມເຢັນຊ້ໍາອີກຄັ້ງ, ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການຮັບປະກັນການສະຫນັບສະຫນູນ wafer ທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ແລະການປະຕິບັດຂະບວນການທີ່ຫມັ້ນຄົງສໍາລັບການ annealing wafer silicon ແລະຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ semiconductor ອຸນຫະພູມສູງອື່ນໆ.

CVD Silicon Carbide (SiC) ເຄືອບ RTP Susceptor

The CVD SiC coated RTP susceptor ຈາກ VeTek Semiconductor ໃຫ້ບໍລິການການປະມວນຜົນຄວາມຮ້ອນຢ່າງໄວວາ (RTP) ແລະອຸປະກອນ annealing ຄວາມຮ້ອນຢ່າງໄວວາ (RTA) ນໍາໃຊ້ຕະຫຼອດການຜະລິດ semiconductor. ແຜ່ນຮອງແມ່ນເຄື່ອງຈັກຈາກກຼາຟ໌ isostatic ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ເຊິ່ງຊັ້ນເທິງຂອງຊັ້ນ CVD silicon carbide (SiC) ມີຄວາມໜາແໜ້ນ. ການກໍ່ສ້າງນີ້ໃຫ້ຜົນການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງ, inertness ສານເຄມີທີ່ເຂັ້ມແຂງ, ແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງມິຕິມິຕິທີ່ຍືນຍົງພາຍໃຕ້ວົງຈອນອຸນຫະພູມສູງຊ້ໍາ.

ຫົວອາບນ້ຳ CVD Silicon Carbide(SiC) ເຄືອບ Graphite

ຖ້າທ່ານເຄີຍຈັດການກັບການໄຫຼຂອງອາຍແກັສທີ່ບໍ່ສະເຫມີພາບຫຼືການປົນເປື້ອນຂອງອະນຸພາກຢູ່ໃນຫ້ອງນ້ໍາ, ຫົວອາບນ້ໍາ VETEK CVD SiC ເຄືອບ Graphite ຖືກອອກແບບເພື່ອແກ້ໄຂບັນຫານັ້ນ. ມັນເລີ່ມຕົ້ນດ້ວຍ graphite isostatic ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງສໍາລັບຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນແລະເຄື່ອງຈັກທີ່ງ່າຍດາຍ, ຫຼັງຈາກນັ້ນໄດ້ຮັບການເຄືອບ CVD Silicon Carbide (SiC) ຫນາແຫນ້ນທີ່ປິດຫນ້າດິນ, ຕ້ານກັບທາດອາຍຜິດ corrosive (ເຊັ່ນ: HCl ຫຼື NF₃), ແລະປ້ອງກັນການໄຫຼອອກ. ຜົນໄດ້ຮັບແມ່ນແຜ່ນຈໍາຫນ່າຍອາຍແກັສທີ່ສະຫນອງການໄຫຼເປັນເອກະພາບໃນທົ່ວ wafer, ຈັດການ epitaxy ອຸນຫະພູມສູງ, ແລະຢູ່ໄກກ່ວາ graphite ເປົ່າຫຼື quartz - ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນອົງປະກອບທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ສໍາລັບຂະບວນການ CVD, PECVD, MOCVD, silicon epitaxy, ແລະ SiC epitaxy. ພວກເຮົາຍັງສະເຫນີຮູບແບບແລະຂະຫນາດຂຸມທີ່ກໍາຫນົດເອງ, ເພາະວ່າບໍ່ມີເຕົາປະຕິກອນສອງອັນແມ່ນຄືກັນ.

Solid SiC Focus Rings

ອອກແບບມາເພື່ອອ້ອມຮອບເຂດຕິດຕາມ wafer, Solid SiC Focus Ring ຮັບປະກັນການແຜ່ກະຈາຍ plasma ເສັ້ນ ແລະ profile etch edge-to-center ທີ່ແນ່ນອນ. ອົງປະກອບ β-SiC ທີ່ນິຍົມເຫຼົ່ານີ້ຖືກສ້າງຂື້ນໂດຍ Vetek Semiconductor (Wuyi Tianyao New Material Technology Co., LTD) ໂດຍໃຊ້ເທກໂນໂລຍີ Chemical Vapor Deposition (CVD) ທີ່ເປັນເຈົ້າຂອງ. ໂດຍ vaporizing ວັດຖຸດິບເຂົ້າໄປໃນ matrix ຫນາແຫນ້ນ, binderless, Vetek ກໍາຈັດຊ່ອງຫວ່າງ micro-porous ທົ່ວໄປໃນວັດສະດຸເກົ່າ. ເມື່ອປຽບທຽບກັບ quartz ຫຼື silicon shielding ມາດຕະຖານ, ອົງປະກອບ CVD SiC ຂອງພວກເຮົາຢືນຢູ່ໄກດີກວ່າກັບອາຍແກັສ halogen corrosive, ປ້ອງກັນ wafer ໃນເຫດຜົນ sub-7nm ເລິກແລະການຜະລິດຊິບຫນ່ວຍຄວາມຈໍາຫນາແຫນ້ນ. ລໍຖ້າການສອບຖາມເພີ່ມເຕີມຂອງທ່ານ.

AMAT 0200-03201 CVD SiC Wafer Lift Pin

ນີ້ AMAT 0200-03201 Wafer Lift Pin ຈາກ VeTek ເລີ່ມຕົ້ນດ້ວຍ graphite ຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ຫຼັງຈາກນັ້ນພວກເຮົາເພີ່ມການເຄືອບ CVD SiC ຫນາແຫນ້ນເທິງ. ມັນຖືກສ້າງຂຶ້ນສໍາລັບລະບົບ epitaxy 300mm ແລະເຄື່ອງປະຕິກອນ EPI ວັດສະດຸ. ເປັນຫຍັງ graphite ແລະ SiC? Graphite ຈັດການຄວາມຮ້ອນໄດ້ດີ. ຊັ້ນ SiC ໃຊ້ອາຍແກັສທີ່ກັດກ່ອນ ແລະບໍ່ເສື່ອມໄວ. ການອອກແບບຝາບາງ? ນັ້ນແມ່ນສໍາລັບການຍົກແລະການຈັດຕໍາແຫນ່ງຂອງ wafer ທີ່ສະອາດ, ອະນຸພາກຫນ້ອຍລົງ, ແລະຊີວິດສ່ວນທີ່ຍາວກວ່າພາຍໃຕ້ອຸນຫະພູມສູງ. ພວກເຮົາຍັງເຮັດພາກສ່ວນ graphite ເຄືອບ SiC ທີ່ຄ້າຍຄືກັນສໍາລັບລະບົບ ASM, Aixtron, ແລະ LPE. ລໍຖ້າການສອບຖາມຂອງທ່ານ.

Wafer Carrier ສໍາລັບ VEECO MOCVD (LED Epitaxy)

Vetek Semiconductor ເຮັດໃຫ້ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການ wafer ສໍາລັບລະບົບ VEECO MOCVD, ສ້າງຂຶ້ນໂດຍສະເພາະສໍາລັບການເຮັດວຽກຂອງ LED epitaxy ເຊັ່ນ GaN LEDs, LEDs ສີຟ້າສີຂຽວ, ແລະການຂະຫຍາຍຕົວ LED UV ເລິກ. ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການເຫຼົ່ານີ້ເລີ່ມຕົ້ນດ້ວຍ graphite ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງແລະໄດ້ຮັບການເຄືອບ CVD silicon carbide (SiC). ການປະສົມປະສານດັ່ງກ່າວຮັກສາໄດ້ດີພາຍໃຕ້ອຸນຫະພູມສູງທີ່ທ່ານເຫັນໃນ MOCVD - ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນທີ່ດີ, ການຕໍ່ຕ້ານ corrosion, ແລະການເຄືອບທົນທານ.

ລະຫັດ QR

ກ່ຽວກັບພວກເຮົາ

ຜະລິດຕະພັນ

ຕິດຕໍ່ພວກເຮົາ

ໂທລະສັບ
+86-18069220752
+86-15988690905
ແຟັກ
+86-579-87223657
ອີເມລ
anny@veteksemi.com
ທີ່ຢູ່
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, ເມືອງ Jinhua, ແຂວງ Zhejiang, ຈີນ

ເມນູເວັບ

ຄົ້ນຫາຜະລິດຕະພັນ

ພາສາ

ອອກຈາກເມນູ

ການເຄືອບ Silicon Carbide

ພາກສ່ວນເຄື່ອງປະຕິກອນພວກເຮົາສາມາດເຮັດໄດ້:

ການເຄືອບ Silicon Carbide ມີຂໍ້ດີທີ່ເປັນເອກະລັກຫຼາຍ: