ຜ້າຄຸມດາວທຽມ SIC ສໍາລັບ Mocvd

ເປັນຜູ້ຜະລິດຜູ້ຜະລິດທີ່ມີການເຮັດວຽກຂອງ SICELIPSIB ແມ່ນມີຄວາມມຸ້ງຫມັ້ນໃນການສະຫນອງວິທີແກ້ໄຂຂະແຫນງການຂອງ semiconductor. ການປົກຫຸ້ມຂອງ SICCVD SIC ຖືກອອກແບບຢ່າງລະມັດລະວັງແລະໂດຍປົກກະຕິໃນລະບົບດາວທຽມ Susceptor (SSS) ເພື່ອສະຫນັບສະຫນູນແລະປົກປິດສະພາບແວດລ້ອມການເຕີບໃຫຍ່ແລະປັບປຸງຄຸນນະພາບການເຕີບໃຫຍ່.

ວັດສະດຸແລະໂຄງສ້າງທີ່ສໍາຄັນ

● ຍ່ອຍ: ການປົກຫຸ້ມຂອງ SIC ເຄືອບແມ່ນເຮັດດ້ວຍຊັ້ນຕົ້ນໄມ້ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງຫຼືຊັ້ນໃຕ້ດິນ, ເຊັ່ນ: ຮູບພາບທີ່ເປັນໂລກສະເພາະ, ເພື່ອໃຫ້ມີຄວາມແຂງແຮງກົນຈັກແລະນ້ໍາຫນັກເບົາ.

●  ການເຄືອບດ້ານອຸປະກອນ Silicon ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ (SIC) ເຄືອບໂດຍໃຊ້ຂະບວນການຜະລິດສານເຄມີ (CVD) ເພື່ອເສີມຂະຫຍາຍຄວາມຕ້ານທານແລະການປົນເປື້ອນແລະອະນຸພາກ.

●  ແບບຟອມ: ຮູບຊົງທີ່ເປັນຮູບແບບປົກກະຕິຫຼືດ້ວຍການອອກແບບໂຄງສ້າງພິເສດເພື່ອຮອງຮັບຕົວແບບທີ່ແຕກຕ່າງກັນຂອງອຸປະກອນ Mocvd (ເຊັ່ນ: Veeco, Aixtron).

ການນໍາໃຊ້ແລະບົດບາດສໍາຄັນໃນຂະບວນການ Mocvd:

ຜ້າຄຸມດາວທຽມ SIC ເຄືອບສໍາລັບ Mocvd ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ໃນສະພາການເພີ່ມເຕີມຂອງການເຕີບໂຕຂອງ MocvD, ແລະຫນ້າທີ່ຂອງມັນປະກອບມີ:

(1) ການປົກປ້ອງ wafers ແລະການເພີ່ມປະສິດທິພາບໃນການແຈກຢາຍອຸນຫະພູມ

ໃນຖານະເປັນສ່ວນປະກອບທີ່ປ້ອງກັນຄວາມຮ້ອນທີ່ສໍາຄັນໃນອຸປະກອນ Mocvd, ມັນກວມເອົາຂອບເຂດຂອງ wafer ເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຮ້ອນທີ່ບໍ່ແມ່ນເອກະພາບແລະປັບປຸງຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງອຸນຫະພູມການເຕີບໂຕ.

ຄຸນລັກສະນະ: ການເຄືອບຊິລິໂຄນ Carbide ມີຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງອຸນຫະພູມສູງແລະຄວາມຮ້ອນ (300W.M^-1ໂຢ^-1), ເຊິ່ງຊ່ວຍປັບປຸງຄວາມຫນາຊັ້ນຂອງ Epitaxial ແລະຄວາມເປັນເອກະພາບ.

(2) ປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນຂອງອະນຸພາກແລະປັບປຸງຄຸນນະພາບຊັ້ນຂອງ Epitaxial

ພື້ນຜິວຂອງ SIC ທີ່ດົກຫນາແລະຄວາມທົນທານຕໍ່ການເຄືອບຂອງ SIC ປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ທາດອາຍຜິດ (E.g. TMGA, TMER, NH₃) ຈາກ SWEBD

ຄຸນລັກສະນະ: ຄຸນລັກສະນະການໂຄສະນາຂອງມັນຕໍ່າຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນສິ່ງເສດເຫຼືອຂອງເງິນຝາກ, ປັບປຸງຜົນຜະລິດຂອງ Gan, Sic Sic Wafer.

(3) ຄວາມຕ້ານທານທີ່ອຸນຫະພູມສູງ, ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ, ຍືດຍາວຊີວິດການບໍລິການຂອງອຸປະກອນ

ອຸນຫະພູມສູງ (> 1000 ° C) ແລະອາຍແກັສທີ່ຖືກກັດ (ເຊັ່ນ: .g. nh, h₂) ແມ່ນໃຊ້ໃນຂະບວນການ Mocvd. ການເຄືອບ SIC ມີປະສິດທິຜົນໃນການຕ້ານທານກັບການເຊາະເຈື່ອນຂອງສານເຄມີແລະການຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການບໍາລຸງຮັກສາອຸປະກອນ.

ຄຸນລັກສະນະ: ເນື່ອງຈາກມີຕົວຄູນຕ່ໍາຂອງມັນຂອງການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ (4.5 × 10^-6K^-1), SIC ຮັກສາຄວາມຫມັ້ນຄົງມິຕິແລະຫລີກລ້ຽງການບິດເບືອນໃນສະພາບແວດລ້ອມຮອບວຽນຄວາມຮ້ອນ.

ໂຄງປະກອບການເຄືອບ CVD CVD:

ຄຸນລັກສະນະທາງກາຍະພາບຂັ້ນພື້ນຖານຂອງ CVD SIC CATING

ການປົກຫຸ້ມຂອງດາວທຽມທີ່ເຄືອບຂອງ veteksemicon ຂອງຮ້ານສໍາລັບຮ້ານຄ້າ Mocvd: