TaC coated wafer susceptor

VeTek Semiconductor TaC coated susceptor wafer ເປັນອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນທີ່ໃຊ້ໃນທາດອາຍພິດທາງເຄມີຂອງໂລຫະ-ອິນຊີ (MOCVD)ເຕົາປະຕິກອນສໍາລັບsemiconductor epitaxial (epi) ຂະບວນການ. ພື້ນຖານຮອບພິເສດນີ້ແມ່ນຜະລິດຈາກ graphite ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງແລະຖືກເຄືອບດ້ວຍຊັ້ນຂອງ Tantalum Carbide (TaC), ເຊິ່ງເປັນທີ່ຮູ້ຈັກດີສໍາລັບຄຸນສົມບັດຄວາມຮ້ອນແລະສານເຄມີພິເສດ.

ຫນ້າທີ່ຕົ້ນຕໍຂອງການເຄືອບ TaC ແມ່ນເພື່ອປັບປຸງປະສິດທິພາບແລະຄວາມທົນທານຂອງ susceptor wafer ພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂທີ່ຮຸນແຮງຂອງການຜະລິດ semiconductor. Tantalum Carbide ແມ່ນມີຊື່ສຽງຍ້ອນຄວາມແຂງ, ຈຸດລະລາຍສູງ, ແລະຄວາມທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່ທີ່ໂດດເດັ່ນ, ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນຊັ້ນປ້ອງກັນທີ່ເຫມາະສົມ. ການເຄືອບນີ້ປົກປ້ອງພື້ນຖານ graphite ຈາກປະຕິກິລິຍາທາງເຄມີ corrosive ແລະຄວາມກົດດັນກົນຈັກທີ່ເກີດຂຶ້ນພາຍໃນ.ເຕົາປະຕິກອນ MOCVD, ຂະຫຍາຍອາຍຸການອຸປະກອນແລະການປັບປຸງຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖື.

ໃນລະຫວ່າງການເຕີບໃຫຍ່ຂອງ epitaxial ຂອງວັດສະດຸ semiconductor, TaC coated wafer susceptor ມີບົດບາດສໍາຄັນໂດຍການຮັບປະກັນການຝາກຮູບເງົາທີ່ຊັດເຈນ. ຄວາມຕ້ານທານກັບອຸນຫະພູມສູງແລະສະພາບແວດລ້ອມທາງເຄມີທີ່ຮຸນແຮງແມ່ນສໍາຄັນຕໍ່ການຜະລິດອຸປະກອນ semiconductor ທີ່ຖືກຕ້ອງ, ຊ່ວຍໃຫ້ອຸປະກອນເຮັດວຽກໄດ້ຢ່າງຫມັ້ນຄົງໃນເງື່ອນໄຂຂະບວນການທີ່ຕ້ອງການ.

ການປະສົມປະສານຂອງ ກແກນ graphiteແລະການເຄືອບ TaCຮັບປະກັນການແຜ່ກະຈາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ເປັນເອກະພາບໃນທົ່ວ susceptor, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງຈໍາເປັນສໍາລັບການປັບປຸງການເຮັດເລື້ມຄືນແລະຄຸນນະພາບຂອງຊັ້ນ semiconductor ທີ່ປູກໃນລະຫວ່າງຂະບວນການ MOCVD. ການອອກແບບວັດສະດຸທີ່ກ້າວຫນ້ານີ້ບໍ່ພຽງແຕ່ສະຫນອງຄວາມທົນທານ, ແຕ່ຍັງຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ເຂັ້ມງວດຂອງການຜະລິດ semiconductor ທີ່ທັນສະໄຫມສໍາລັບອົງປະກອບເອເລັກໂຕຣນິກທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງ.

ໃນຖານະເປັນຜູ້ສະຫນອງແລະຜູ້ຜະລິດຊັ້ນນໍາຂອງ TaC coated wafer susceptors, VeTek Semiconductor ມຸ່ງຫມັ້ນທີ່ຈະສະຫນອງການແກ້ໄຂດ້ານວິຊາການທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງສໍາລັບອຸດສາຫະກໍາ semiconductor. ພວກເຮົາຫວັງວ່າຈະກາຍມາເປັນຄູ່ຮ່ວມງານທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ໃນໄລຍະຍາວຂອງທ່ານໃນປະເທດຈີນ, ສະເຫນີຜະລິດຕະພັນທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້, ປັບແຕ່ງ.

VeTek Semiconductor TaC coated wafer susceptor ຮ້ານຄ້າ: