ແຜ່ນຫມູນວຽນການຫມູນວຽນຂອງດາວເຄາະ VlinAlle Corbide ເຄືອບ

ເຄື່ອງປະດັບທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ Carbide Corbide ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ Carbide Corbide ໄດ້ຖືກສະເຫນີໂດຍປະເທດຈີນຜູ້ຜະລິດຂາຍເຄື່ອງຈັກ semetonductor. ຊື້tantalum carbide ເຄືອບPlanetary rotation Disk ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງໂດຍກົງກັບລາຄາຕໍ່າ.

ແຜ່ນການຫມຸນດາວເຄາະທີ່ເຄືອບ tantalum carbide ແມ່ນອຸປະກອນເສີມທີ່ຖືກອອກແບບມາສໍາລັບລະບົບ AIXTRON G10 MOCVD, ເພື່ອແນໃສ່ເພີ່ມປະສິດທິພາບແລະຄຸນນະພາບໃນການຜະລິດ semiconductor. ຜະລິດຈາກວັດສະດຸທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງແລະຜະລິດດ້ວຍຄວາມແມ່ນຍໍາ, ແຜ່ນມ້ວນດາວເຄາະທີ່ເຄືອບ tantalum carbide ສະຫນອງການປະຕິບັດທີ່ໂດດເດັ່ນແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືສໍາລັບທາດອາຍພິດເຄມີຂອງໂລຫະ-ອິນຊີ (ໂມເດວ) ຂະ​ບວນ​ການ​.

ແຜ່ນ Planetary ແມ່ນການກໍ່ສ້າງໂດຍໃຊ້ substrate graphite ເຄືອບດ້ວຍCVD TAC, ສະຖຽນລະພາບຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ, ຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ແລະການຕໍ່ຕ້ານກັບອຸນຫະພູມສູງ.

ສາມາດປັບແຕ່ງໄດ້ເພື່ອຮອງຮັບຂະຫນາດ wafer semiconductor ທີ່ແຕກຕ່າງກັນ, Planetary Disk ແມ່ນເຫມາະສົມສໍາລັບຄວາມຕ້ອງການການຜະລິດຕ່າງໆ. ການກໍ່ສ້າງທີ່ເຂັ້ມແຂງຂອງມັນຖືກອອກແບບໂດຍສະເພາະເພື່ອທົນທານຕໍ່ເງື່ອນໄຂການດໍາເນີນງານທີ່ຕ້ອງການຂອງລະບົບ MOCVD, ຮັບປະກັນການປະຕິບັດທີ່ຍາວນານແລະຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການຢຸດພັກແລະບໍາລຸງຮັກສາທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບຜູ້ຂົນສົ່ງ wafer ແລະ susceptors.

ດ້ວຍແຜ່ນ Planetary, ໄດ້ລະບົບ AIXTron G10 Mocvdສາມາດບັນລຸປະສິດທິພາບສູງແລະຜົນໄດ້ຮັບທີ່ດີກວ່າໃນການຜະລິດ semiconductor. ຄວາມຫມັ້ນຄົງດ້ານຄວາມຮ້ອນພິເສດ, ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ກັບຂະຫນາດ wafer ທີ່ແຕກຕ່າງກັນ, ແລະການປະຕິບັດທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນເຄື່ອງມືທີ່ສໍາຄັນສໍາລັບການເພີ່ມປະສິດທິພາບການຜະລິດແລະບັນລຸຜົນໄດ້ຮັບທີ່ໂດດເດັ່ນໃນສະພາບແວດລ້ອມ MOCVD ທີ່ທ້າທາຍ.