ເຮືອໄຕມາດແມ່ນຫຍັງ?

ເຮືອ quartz ແມ່ນສ່ວນປະກອບທີ່ສໍາຄັນທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການຜະລິດ semiconductor, ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ສໍາລັບການປຸງແຕ່ງອຸນຫະພູມຂອງ wafers ສູງ, ເຊັ່ນການແຜ່ກະຈາຍ, ການຜຸພັງແລະ annealing. ສະຖຽນລະພາບຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ, ຄຸນລັກສະນະມົນລະພິດທີ່ຕໍ່າແລະຄວາມຕ້ານທານການກັດຂອງການກັດທາງເຮັດໃຫ້ມັນເປັນວັດສະດຸທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້ໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor. ບົດຂຽນນີ້ຈະແຈ້ງໃຫ້ລະອຽດກ່ຽວກັບວັດສະດຸ, ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບ, ການຈັດປະເພດ, ສະຖານະການການນໍາໃຊ້ແລະຄວາມແຕກຕ່າງລະຫວ່າງເຮືອ Graphite Plankz ແລະ Pecvd Graphite.

Ⅰ. ວັດສະດຸຂອງເຮືອ quartz

ສ່ວນປະກອບຕົ້ນຕໍຂອງຜູ້ໃຫ້ບໍລິການ Quartz ແມ່ນຊິລິໂຄນທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ (SIO₂), ແລະຄວາມບໍລິສຸດມັກຈະຕ້ອງມີຫຼາຍກ່ວາ 99,99% (ຊັ້ນຮຽນປະເພດ semiconductor). ວັດສະດຸ Quartz ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງນີ້ຮັບປະກັນວ່າຜູ້ໃຫ້ບໍລິການ Quartz ຈະບໍ່ແນະນໍາຄວາມບໍ່ສະອາດໃນຊ່ວງຂັ້ນຕອນການຜະລິດ semiconductor ເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນການປົນເປື້ອນຂອງຄວາມບໍ່ສະອາດຂອງໂລຫະໃນ wafer.

ອີງຕາມຂະບວນການກະກຽມ, ວັດສະດຸ Quartz ສາມາດແບ່ງອອກເປັນສອງປະເພດ:

●ທໍາມະຊາດ Quartz: ຜະລິດຈາກການເຮັດໃຫ້ບໍລິສຸດຈາກ Crystal Content, ມີເນື້ອໃນ hydroxyl ສູງ (ປະມານ 100-200 ppm), ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍຕ່ໍາ, ແຕ່ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ.

quartz synthetic: ສັງເຄາະໂດຍການຝາກເງິນທີ່ມີຄວາມສາມາດທາງເຄມີ (CVD) ຫຼື Electrofusion, ດ້ວຍເນື້ອໃນ hydroxyl ຕ່ໍາ (<1 ppm), ແລະເຫມາະສົມກັບຂະບວນການຄວາມຮ້ອນສູງ (ເຊັ່ນ: ການຜຸພັງແລະການຜຸພັງ).

ນອກຈາກນັ້ນ, ເຮືອປະຈໍາເຂດບາງຫນ່ວຍຖືກ doped ກັບໂລຫະເຊັ່ນ: titanium (ti) ຫຼືອາລູມີນຽມເພື່ອປັບປຸງການສົ່ງຕໍ່ແກ້ໄຂຄວາມຕ້ອງການຂອງຂະບວນການ UV.

Ⅱ. ຄຸນລັກສະນະທາງກາຍະພາບຕົ້ນຕໍຂອງເຮືອລໍາພັນແມ່ນຫຍັງ?

●ຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງ: ຈຸດລະລາຍຂອງ Quartz ແມ່ນສູງເຖິງ 1713 ° C, ແລະມັນສາມາດເຮັດວຽກໄດ້ຢ່າງສະຫມໍ່າສະເຫມີໃນເວລາດົນນານແລະທົນໄດ້ 1500 ° C ໃນເວລາສັ້ນໆ.

●ຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຕ່ໍາຕົວຄູນການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນແມ່ນພຽງແຕ່ 0.55 ×10⁻⁶ / ° C. ການປະຕິບັດງານທີ່ດີເລີດນີ້ຮັບປະກັນຄວາມຫມັ້ນຄົງມິຕິໃນອຸນຫະພູມສູງແລະຫລີກລ້ຽງຄວາມຂັດແຍ້ງຍ້ອນຄວາມກົດດັນຄວາມຮ້ອນ.

intorness inertness ເຄມີ: ຍົກເວັ້ນອາຊິດ hydrofluoric (hf) ແລະການ phosphoric ຮ້ອນສາມາດຕ້ານທານກັບອາຊິດທີ່ແຂງແຮງ, alkalis ທີ່ແຂງແຮງແລະອາຍແກັສທີ່ແຂງແຮງ (ເຊັ່ນcl₂, ₂).

●ການສນວນກັບໄຟຟ້າ: ການຕ້ານທານແມ່ນສູງເທົ່າກັບ10¹⁶ω ach, ຫລີກລ້ຽງການແຊກແຊງກັບການແຈກຢາຍສະຫນາມໄຟຟ້າ.

●ການສົ່ງຕໍ່ໄຟຟ້າ: ການສົ່ງຕໍ່ທີ່ດີເລີດໃນ ultraviolet ໃນວົງດົນຕີ (> 90%), ເຫມາະສໍາລັບຂະບວນການທີ່ດີກວ່າ (ເຊັ່ນ: ultraviolet curing).

III. ການຈັດປະເພດຂອງເຮືອ quartz

ອີງຕາມໂຄງສ້າງທີ່ແຕກຕ່າງກັນແລະການນໍາໃຊ້ສະຖານະການ, ເຮືອໄຕມາດສາມາດແບ່ງອອກເປັນປະເພດຕໍ່ໄປນີ້:

●ເຮືອ Quartoont ແບບແນວນອນ

ໃຊ້ໄດ້ກັບເຕົາໄຟສາຍຕາມລວງນອນ (ເຕົາໄຟຟ້າທີ່ແຜ່ກະຈາຍອອກຕາມລວງນອນ), ໃຊ້ສໍາລັບການຜຸພັງ, ການແຜ່ກະຈາຍ, ການເຊື່ອມຕໍ່ແລະຂະບວນການອື່ນໆ.

ຄຸນນະສົມບັດ: ສາມາດໃສ່ wafers 100-200, ໂດຍປົກກະຕິມີການອອກແບບທີ່ເປີດຫຼືເຄິ່ງ.

●ເຮືອ quartical ແນວຕັ້ງ

ໃຊ້ໄດ້ກັບເຕົາໄຟຕັ້ງ (ເຕົາໄຟຕັ້ງ), ໃຊ້ສໍາລັບຂະບວນການ LPCVD, ການຜຸພັງແລະຂະບວນການ annealation.

ຄຸນນະສົມບັດ: ໂຄງສ້າງທີ່ຫນາແຫນ້ນຫລາຍຂື້ນ, ສາມາດເພີ່ມຄວາມສາມາດໃນການບັນທຸກ wafer, ແລະຫຼຸດຜ່ອນການປົນເປື້ອນຂອງສ່ວນໃນລະຫວ່າງຂັ້ນຕອນ.

barbare drom mustomized

ອອກແບບຕາມຄວາມຕ້ອງການໃນຂະບວນການທີ່ແຕກຕ່າງກັນ, ໂຄງສ້າງການສະຫນັບສະຫນູນພິເສດຫຼືການກະທໍາພິເສດອາດຈະຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອເຮັດໃຫ້ເກີດຜົນກະທົບໃນການປຸງແຕ່ງ wafer.

ເປັນຜູ້ຜະລິດເຮືອແລະຜູ້ສະຫນອງເຮືອຊັ້ນນໍາຂອງຈີນ,Veteksemicon ສາມາດອອກແບບແລະຜະລິດຜະລິດຕະພັນບັນທຸກ Quartz Quartz ທີ່ຕ້ອງການຕາມຄວາມຕ້ອງການຕົວຈິງຂອງທ່ານ. ສໍາລັບລາຍລະອຽດກ່ຽວກັບຜະລິດຕະພັນເພີ່ມເຕີມ, ກະລຸນາເບິ່ງໃຫ້:

iv. ສະຖານະການການນໍາໃຊ້ເຮືອໄຕມາດໃນການຜະລິດ semiconductor ແມ່ນຫຍັງ?

ເຮືອ quartz ແມ່ນຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຫຼາຍຂະບວນການຜະລິດທີ່ສໍາຄັນຂອງ semiconductor semiconductor, ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນລວມທັງສະຖານະການການສະຫມັກ:

4.1 ການຜຸພັງຄວາມຮ້ອນ

●ລະຫັດອະນຸມັດ: Wafer ແມ່ນຄວາມຮ້ອນໃນສະພາບແວດລ້ອມ oxygen ອຸນຫະພູມສູງຫຼືຮູບເງົາ vapor ນໍ້າທີ່ມີຊິລິໂຄນທີ່ມີຊິລິໂຄນ (SiO₂).

●ຄຸນລັກສະນະຂອງເຮືອ Quartz:

1) ຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນສູງ, ສາມາດຕ້ານທານກັບອຸນຫະພູມສູງຂອງ 1000 ~ 1200 ° C.

2) ຄວາມບໍ່ມີອາການທາງເຄມີ, ເຮືອລໍາແມ່ນທົນທານຕໍ່ກັບອາຊິດທີ່ແຂງແຮງ, ເປັນທາດອາຍທີ່ແຂງແຮງແລະທາດອາຍຜິດທີ່ແຂງແຮງ, ສະນັ້ນມັນສາມາດຫລີກລ້ຽງໄດ້ທີ່ມີຜົນຂອງຮູບເງົາຜຸພັງ.

4.2 ຂະບວນການພິກ

●ລະຫັດລາຍລະອຽດ: ຄວາມບໍ່ສະອາດ (ເຊັ່ນ: phosphorus ແລະ boron) ແມ່ນແຜ່ກະຈາຍເຂົ້າໄປໃນຊິລິໂຄນທີ່ເຮັດໃຫ້ເປັນ wafer silicon ພາຍໃຕ້ສະພາບອຸນຫະພູມສູງເພື່ອປະກອບເປັນຊັ້ນ doping.

●ປະດັບຄຸນນະສົມບັດເຮືອ quartz:

1) ການປົນເປື້ອນຕ່ໍາ, ປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນໂລຫະຈາກຜົນກະທົບຕໍ່ການແຈກຢາຍຄວາມເຂັ້ມຂົ້ນ.

2) ສະຖຽນລະພາບຄວາມຮ້ອນສູງ, ມີຕົວຄູນການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຂອງພຽງແຕ່ 0.55 ×10⁻⁶ / ° C, ຮັບປະກັນຂະບວນການແຜ່ກະຈາຍເປັນເອກະພາບ.

4.3 ຂະບວນການ annealing

●ການປະຕິບັດລາຍລະອຽດ: ການຮັກສາອຸນຫະພູມສູງແມ່ນໃຊ້ເພື່ອກໍາຈັດຄວາມກົດດັນ, ປັບປຸງໂຄງສ້າງໄປເຊຍກັນດ້ານວັດຖຸ, ຫຼືກະຕຸ້ນຊັ້ນ Implantation ion.

●ປະດັບຄຸນນະສົມບັດເຮືອ quartz:

1) ດ້ວຍຈຸດທີ່ລະລາຍສູງເທົ່າກັບປີ 1713 ° C, ມັນສາມາດຕ້ານທານກັບຄວາມຮ້ອນແລະຄວາມເຢັນຢ່າງໄວວາເພື່ອຫລີກລ້ຽງການແຕກແຍກທີ່ເກີດຈາກຄວາມກົດດັນ.

2) ຄວບຄຸມຂະຫນາດທີ່ຊັດເຈນເພື່ອຮັບປະກັນການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນທີ່ເປັນເອກະພາບ.

4.4 ເງິນຝາກລະບາຍຄວາມກົດດັນຕໍ່າ (LPCVD)

●ລະຫັດລາຍລະອຽດ: ໃນສະພາບແວດລ້ອມຄວາມກົດດັນຕ່ໍາ, ຮູບເງົາບາງໆທີ່ເປັນເອກະພາບເຊັ່ນຊິລິໂຄນ nitride (si₃n₄) ຖືກສ້າງຕັ້ງຂື້ນໂດຍຜ່ານປະຕິກິລິຍາໃນໄລຍະອາຍແກັສ.

●ຄຸນລັກສະນະຂອງເຮືອ Quartz:

1) ເຫມາະສໍາລັບທໍ່ເຕົາໄຟຕັ້ງ, ສາມາດເພີ່ມປະສິດທິພາບຄວາມເປັນເອກະພາບລວມຫນັງ.

2) ການປົນເປື້ອນສ່ວນປະກອບທີ່ຕໍ່າ, ປັບປຸງຄຸນນະພາບຂອງຮູບເງົາ.

Ⅴ. ແມ່ນຫຍັງທີ່ແຕກຕ່າງກັນລະຫວ່າງເຮືອລໍາປະດັບເຮືອແລະເຮືອ Pecvd Graphite?

ສະຖານະການທີ່ແຕກຕ່າງກັນຕາມປົກກະຕິ:

●ຂະບວນການ Pecvd: ເຮືອ Graphite ສາມາດເພີ່ມປະສິດທິພາບຄຸນສົມບັດ plasma ເນື່ອງຈາກການປະຕິບັດຂອງພວກເຂົາ, ແລະບໍ່ຕ້ອງການການປະຕິບັດງານທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງຂອງ Quartz ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມ (300-400 ° C).

furnace ເຕົາອົບຜຸພັງອຸນຫະພູມສູງ: ເຮືອ Veteksemicon Quartz Truplaceze ແມ່ນຕ້ານທານກັບຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງຂອງພວກມັນທີ່ຈະສ້າງ Co / Co₂ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອົກຊີເຈນເຊິ່ງເປັນສະມາຊິກສະພາ.