AMAT Cover Top Quartz 8 ນິ້ວ PCII

The AMAT Cover Top Quartz 8 inch PCII (Part No. 0200-00218) ເປັນອົງປະກອບ quartz ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງທີ່ອອກແບບມາເພື່ອໃຊ້ໃນຫ້ອງຂະບວນການ PVD ຂະໜາດ 200mm (8-inch), ໂດຍສະເພາະເຂົ້າກັນໄດ້ກັບ Applied Materials Endura® platform (PCII chamber).

ຜະລິດຈາກ quartz fused ຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ອົງປະກອບນີ້ມີບົດບາດສໍາຄັນໃນການຮັກສາສະພາບແວດລ້ອມການຊຶມເຊື້ອທີ່ສະອາດແລະຫມັ້ນຄົງໂດຍການຫຼຸດຜ່ອນການປົນເປື້ອນແລະຮັບປະກັນພຶດຕິກໍາ plasma ທີ່ສອດຄ່ອງ.

ທີ່ Vetek Semiconductor, ພວກເຮົາສະຫນອງເຄື່ອງຈັກ quartz ທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາທີ່ມີການຄວບຄຸມວັດສະດຸຢ່າງເຂັ້ມງວດແລະຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງມິຕິລະດັບ, ສະເຫນີທາງເລືອກທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ສໍາລັບ semiconductor fabs ແລະຜູ້ໃຫ້ບໍລິການອຸປະກອນ.

ຂໍ້ມູນຈໍາເພາະ:

ຂະບວນການຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ & ຕໍາແຫນ່ງ Chamber

ການປົກຫຸ້ມຂອງ quartz ນີ້ໄດ້ຖືກອອກແບບໂດຍສະເພາະສໍາລັບຂະບວນການ sputtering PVD, ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນການຜະລິດ semiconductor ສໍາລັບໂລຫະບາງໆ deposition ເຊັ່ນອາລູມິນຽມ (Al), titanium (Ti), ແລະທອງແດງ (Cu).

ຕໍາແໜ່ງ Chamber

ອົງປະກອບແມ່ນຕິດຕັ້ງຢູ່ໃນສ່ວນເທິງຂອງສະພາການ PVD, ໂດຍທົ່ວໄປເອີ້ນວ່າພາກພື້ນປົກຫຸ້ມເທິງ, ບ່ອນທີ່ມັນສໍາຜັດກັບ:

● ເຂດປ່ອຍ plasma

● ຂະບວນການໄຫຼຂອງອາຍແກັສ

● ສະພາບແວດລ້ອມການຝາກອະນຸພາກໂລຫະ

ບົດບາດໜ້າທີ່ໃນສະພາ

ພາຍໃນໂຄງສ້າງສະພາ, Cover Top Quartz ເຮັດຫນ້າທີ່ເປັນສິ່ງກີດຂວາງປ້ອງກັນທີ່ບໍ່ແມ່ນໂລຫະແລະອົງປະກອບ insulating, ຕັ້ງຢູ່ເທິງ wafer ແລະຢູ່ໃກ້ກັບພາກພື້ນເປົ້າຫມາຍ.

ການຈັດວາງຂອງມັນແມ່ນສໍາຄັນສໍາລັບ:

● ປ້ອງກັນອົງປະກອບຫ້ອງທີ່ລະອຽດອ່ອນຈາກການຊຶມເຊື້ອຂອງໂລຫະ

●ຮັກສາການສນວນໄຟຟ້າໃນສະພາບແວດລ້ອມ RF plasma

●ສະຫນັບສະຫນູນເງື່ອນໄຂຂະບວນການທີ່ຫມັ້ນຄົງແລະເຮັດຊ້ໍາອີກ

ຟັງຊັນຫຼັກ ແລະຂໍ້ໄດ້ປຽບປະສິດທິພາບ

1) ການຄວບຄຸມການປົນເປື້ອນ

ໃນລະຫວ່າງການຂະບວນການ PVD, ປະລໍາມະນູໂລຫະ sputtered ມີແນວໂນ້ມທີ່ຈະຝາກບໍ່ພຽງແຕ່ຢູ່ໃນ wafers, ແຕ່ຍັງຢູ່ໃນຫນ້າຫ້ອງພາຍໃນ.

ການປົກຫຸ້ມຂອງ quartz ນີ້:

●ເຮັດຫນ້າທີ່ເປັນຊັ້ນປ້ອງກັນການເສຍສະລະ

● ປ້ອງກັນການສ້າງໂລຫະໃນໂຄງສ້າງຫ້ອງທີ່ສໍາຄັນ

● ຫຼຸດຜ່ອນການສ້າງອະນຸພາກແລະການປົນເປື້ອນຂ້າມ

ຜົນໄດ້ຮັບ: ການປັບປຸງຜົນຜະລິດຂອງ wafer ແລະຄວາມສະອາດຂະບວນການ

2) Plasma Stability & ການສນວນໄຟຟ້າ

ຂໍຂອບໃຈກັບຄຸນສົມບັດ dielectric ທີ່ດີເລີດ, quartz ຄວາມບໍລິສຸດສູງຮັບປະກັນ:

● ການແຜ່ກະຈາຍພາກສະຫນາມ RF ທີ່ຫມັ້ນຄົງ

● ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການລົບກວນໄຟຟ້າ

● ຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງ plasma ທີ່ສອດຄ່ອງໃນທົ່ວວົງຈອນຂະບວນການ

ຜົນໄດ້ຮັບ: ປັບປຸງຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຮູບເງົາແລະເຮັດຊ້ໍາອີກ

3) ຄວາມບໍລິສຸດຂອງວັດສະດຸຊັ້ນສູງ

Vetek Semiconductor ໃຊ້ວັດສະດຸ quartz ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງທີ່ສຸດເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນການແນະນໍາຄວາມບໍ່ສະອາດ.

● ການປົນເປື້ອນຂອງໂລຫະຕ່ໍາ

● ການປ່ອຍອາຍພິດໜ້ອຍສຸດພາຍໃຕ້ສະພາບສູນຍາກາດ

● ເຫມາະສໍາລັບ nodes semiconductor ຂັ້ນສູງ

ຜົນໄດ້ຮັບ: ຕອບສະຫນອງມາດຕະຖານຄວາມສະອາດລະດັບ fab ທີ່ເຂັ້ມງວດ

4) Plasma ທີ່ດີເລີດ & ຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນ

ອົງປະກອບແມ່ນອອກແບບມາເພື່ອທົນທານຕໍ່:

● ການເຊາະເຈື່ອນຂອງ Plasma ແລະການລະເບີດຂອງ ion

● ຮອບວຽນຄວາມຮ້ອນຊ້ຳໆ

ຜົນໄດ້ຮັບ: ຊີວິດການບໍລິການທີ່ຍາວນານແລະຄວາມຖີ່ຂອງການບໍາລຸງຮັກສາຫຼຸດລົງ

5) ການອອກແບບການບໍລິໂພກທີ່ປະຫຍັດຄ່າໃຊ້ຈ່າຍ

ໃນ​ຖາ​ນະ​ເປັນ​ຫ້ອງ​ການ​ທົດ​ແທນ​ການ​ບໍ​ລິ​ໂພກ​, ສ່ວນ​ນີ້​:

● ປົກປ້ອງຮາດແວຫ້ອງລາຄາແພງ

● ເຮັດໃຫ້ວົງຈອນການບໍາລຸງຮັກສາງ່າຍຂຶ້ນ

● ຫຼຸດຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການເປັນເຈົ້າຂອງທັງໝົດ (TCO)

ເປັນຫຍັງຕ້ອງເລືອກ Vetek Semiconductor?

ທີ່ Vetek Semiconductor, ພວກເຮົາສົມທົບຄວາມຊໍານານດ້ານວິທະຍາສາດວັດສະດຸກັບຄວາມເຂົ້າໃຈຂະບວນການ semiconductor ເພື່ອສະຫນອງອົງປະກອບ quartz ທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງ.

ຂໍ້ດີຂອງພວກເຮົາ:

● ເຄື່ອງຈັກທີ່ມີຄວາມຊັດເຈນດ້ວຍຄວາມທົນທານທີ່ແຫນ້ນຫນາ

● ການຄັດເລືອກວັດຖຸດິບທີ່ເຂັ້ມງວດ ແລະສາມາດຕິດຕາມໄດ້

● ພິສູດຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ກັບເວທີ AMAT Endura

● ການສະຫນອງທີ່ຫມັ້ນຄົງສໍາລັບລູກຄ້າ semiconductor ທົ່ວໂລກ

● ສະຫນັບສະຫນູນວິສະວະກໍາສໍາລັບການປັບແຕ່ງແລະການເພີ່ມປະສິດທິພາບ