ຜະລິດຕະພັນ
Solid Silicon Carbide Focusing Ring
  • Solid Silicon Carbide Focusing RingSolid Silicon Carbide Focusing Ring

Solid Silicon Carbide Focusing Ring

Veteksemicon Solid Silicon Carbide (SiC) Focusing Ring ເປັນອົງປະກອບທີ່ບໍລິໂພກທີ່ສໍາຄັນທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການ Epitaxy semiconductor ແລະ plasma etching ຂັ້ນສູງ, ບ່ອນທີ່ການຄວບຄຸມທີ່ຊັດເຈນຂອງການແຜ່ກະຈາຍ plasma, ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຄວາມຮ້ອນ, ແລະຜົນກະທົບຂອງຂອບ wafer ເປັນສິ່ງຈໍາເປັນ. ຜະລິດຈາກ silicon carbide ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ວົງເນັ້ນນີ້ສະແດງໃຫ້ເຫັນຄວາມຕ້ານທານການເຊາະເຈື່ອນຂອງ plasma ພິເສດ, ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງອຸນຫະພູມສູງ, ແລະ inertness ສານເຄມີ, ເຮັດໃຫ້ການປະຕິບັດທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂຂະບວນການຮຸກຮານ. ພວກເຮົາຫວັງວ່າຈະໄດ້ສອບຖາມຂອງທ່ານ.

ວົງການສຸມໃສ່ການ Veteksemicon Solid Silicon Carbide ເປັນອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນໃນການຜະລິດ semiconductor, ວາງຍຸດທະສາດຢູ່ນອກ wafer ເພື່ອຮັກສາການຕິດຕໍ່ໂດຍກົງ. ໂດຍການນໍາໃຊ້ແຮງດັນໄຟຟ້າ, ວົງແຫວນນີ້ສຸມໃສ່ການ plasma ຜ່ານມັນ, ດັ່ງນັ້ນການເພີ່ມຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຂະບວນການໃນ wafer. ສ້າງຂຶ້ນແຕ່ພຽງຢ່າງດຽວຈາກ Chemical Vapor Deposition Silicon Carbide (CVD SiC), ແຫວນທີ່ເນັ້ນນີ້ embodies ຄຸນນະພາບພິເສດທີ່ຕ້ອງການໂດຍອຸດສາຫະກໍາ semiconductor. ພວກເຮົາຢູ່ Veteksemicon ແມ່ນອຸທິດຕົນເພື່ອການຜະລິດແລະສະຫນອງແຫວນທີ່ເນັ້ນໃສ່ Silicon Carbide ທີ່ມີປະສິດຕິພາບສູງທີ່ປະສົມປະສານຄຸນນະພາບທີ່ນິຍົມກັບຄ່າໃຊ້ຈ່າຍທີ່ມີປະສິດທິພາບ.


ຂໍ້ໄດ້ປຽບຂອງຜະລິດຕະພັນ

ເມື່ອປຽບທຽບກັບແບບດັ້ງເດີມວົງແຫວນຈຸດສຸມຂອງ Silicon (Si) ຫຼື Sintered Silicon Carbide (Sintered SiC), ຜະລິດຕະພັນຂອງພວກເຮົາດີເລີດໃນຂະຫນາດທີ່ສໍາຄັນ:


ຂະໜາດຄຸນສົມບັດ
Veteksemicon CVD SiC Focus Ring
ແບບດັ້ງເດີມ Silicon (Si) Focus Ring
Sintered SiC Focus Ring
Plasma Etch Resistance
ພິເສດ (ອັດຕາການບໍລິໂພກຕໍ່າກວ່າ Si)
ບໍ່ດີ (ການບໍລິໂພກຢ່າງໄວວາ, ການທົດແທນເລື້ອຍໆ)
ປານກາງ (ດີກວ່າ Si, ແຕ່ຕໍ່າກວ່າ CVD SiC)
ການຄວບຄຸມການຜະລິດອະນຸພາກ
ພິເສດ (ໂຄງສ້າງ CVD ຫນາແຫນ້ນ, ບໍ່ມີການໂຕ້ຕອບ sidewall ທີ່ອ່ອນແອ)
ຄວບຄຸມໄດ້ (ແຕ່ການບໍລິໂພກວັດສະດຸຕົວມັນເອງແມ່ນແຫຼ່ງອະນຸພາກ)
ຂ້ອນຂ້າງສູງ (ເນື່ອງມາຈາກ porosity ວັດສະດຸແລະ micro particles ທ່າແຮງ)
ການຈັບຄູ່ການນໍາ ແລະໄຟຟ້າ
ດີເລີດ (ການຈັບຄູ່ໄຟຟ້າທີ່ດີກັບ wafer)
ດີ
ດີ
ການຄຸ້ມຄອງຄວາມຮ້ອນ
ທີ່​ດີ​ເລີດ (ການ​ນໍາ​ໃຊ້​ຄວາມ​ຮ້ອນ​ສູງ​, CTE ຕ​່​ໍ​າ​, ຕ້ານ​ການ​ຊ໊ອກ​ຄວາມ​ຮ້ອນ​ທີ່​ດີກ​ວ່າ​)
ປານກາງ
ດີ
ຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກ & ຊີວິດການບໍລິການ
ຍາວພິເສດ (ຄວາມແຂງສູງ, ການສວມໃສ່ແລະການຕໍ່ຕ້ານ corrosion)
ສັ້ນ
ຍາວ
ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍທັງໝົດຂອງການເປັນເຈົ້າຂອງ (TCO)
ຕ່ໍາກວ່າ (ຊີວິດຍາວຫຼາຍຫຼຸດຜ່ອນການຢຸດເວລາສໍາລັບການທົດແທນແລະປັບປຸງຜົນຜະລິດ)
ສູງ
ປານກາງ

ເປັນທີ່ຫນ້າສັງເກດ, ການນໍາຂອງ silicon carbide ແລະຄວາມຕ້ານທານກັບການ etching ion ແມ່ນຄ້າຍຄືກັນກັບຊິລິໂຄນ, ຮັບປະກັນຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ກັບຂະບວນການຜະລິດ semiconductor ທີ່ມີຢູ່ແລ້ວໃນຂະນະທີ່ການເພີ່ມປະສິດທິພາບການປັບປຸງ - ເຮັດໃຫ້ Veteksemicon Solid Silicon Carbide Focusing Ring ເປັນທາງເລືອກວັດສະດຸທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ສໍາຄັນນີ້.


ວົງການສຸມໃສ່ການ Veteksemicon Solid Silicon Carbide ຢືນເປັນການແກ້ໄຂທີ່ທັນສະໄຫມໃນຂອບເຂດຂອງການຜະລິດ semiconductor. ມັນໃຊ້ປະໂຫຍດຢ່າງເຕັມທີ່ຂອງວັດສະດຸທີ່ເປັນເອກະລັກຂອງ CVD SiC ເພື່ອອໍານວຍຄວາມສະດວກໃຫ້ແກ່ຂະບວນການ etching ທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້, ຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ, ແລະປະສິດທິພາບສູງ, ປະກອບສ່ວນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍຕໍ່ຄວາມກ້າວຫນ້າຂອງເຕັກໂນໂລຊີ semiconductor ຮຸ່ນຕໍ່ໄປ.


Veteksemicon-products-warehouse

Hot Tags: Solid Silicon Carbide Focusing Ring
ສົ່ງສອບຖາມ
ຂໍ້​ມູນ​ຕິດ​ຕໍ່
  • ທີ່ຢູ່

    Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, ເມືອງ Jinhua, ແຂວງ Zhejiang, ຈີນ

  • ອີເມລ

    anny@veteksemi.com

For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, ກະລຸນາປ່ອຍອີເມວຂອງທ່ານໃຫ້ພວກເຮົາແລະພວກເຮົາຈະຕິດຕໍ່ກັບພາຍໃນ 24 ຊົ່ວໂມງ.
X
ພວກເຮົາໃຊ້ cookies ເພື່ອສະເຫນີໃຫ້ທ່ານມີປະສົບການການຊອກຫາທີ່ດີກວ່າ, ວິເຄາະການເຂົ້າຊົມເວັບໄຊທ໌ແລະປັບແຕ່ງເນື້ອຫາ. ໂດຍການນໍາໃຊ້ເວັບໄຊທ໌ນີ້, ທ່ານຕົກລົງເຫັນດີກັບການນໍາໃຊ້ cookies ຂອງພວກເຮົາ. ນະໂຍບາຍຄວາມເປັນສ່ວນຕົວ
ປະຕິເສດ ຍອມຮັບ