SiC coated graphite susceptor ສໍາລັບ ASM

ຂໍ້ມູນຜະລິດຕະພັນທົ່ວໄປ

ເງື່ອນໄຂທຸລະກິດຜະລິດຕະພັນ

✔ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ: Veteksemicon SiC-coated graphite substrate ເປັນການບໍລິໂພກທີ່ສໍາຄັນສໍາລັບອຸປະກອນ epitaxial ຊຸດ ASM. ມັນສະຫນັບສະຫນູນໂດຍກົງຂອງ wafer ແລະສະຫນອງພື້ນທີ່ຄວາມຮ້ອນທີ່ເປັນເອກະພາບແລະມີຄວາມຫມັ້ນຄົງໃນລະຫວ່າງການ epitaxy ອຸນຫະພູມສູງ, ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນອົງປະກອບຫຼັກສໍາລັບການຮັບປະກັນການຂະຫຍາຍຕົວທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງຂອງວັດສະດຸ semiconductor ກ້າວຫນ້າເຊັ່ນ GaN ແລະ SiC.

✔ບໍລິການທີ່ສາມາດສະຫນອງໄດ້: ການວິເຄາະສະຖານະການຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຂອງລູກຄ້າ, ອຸປະກອນການຈັບຄູ່, ການແກ້ໄຂບັນຫາດ້ານວິຊາການ. 

✔ຂໍ້ມູນຂອງບໍລິສັດ： Veteksemicon ມີ 2 ຫ້ອງທົດລອງ, ທີມງານຜູ້ຊ່ຽວຊານທີ່ມີປະສົບການ 20 ປີຂອງວັດສະດຸ, ມີ R & D ແລະຄວາມສາມາດໃນການຜະລິດ, ການທົດສອບແລະການກວດສອບ.

ຕົວກໍານົດການດ້ານວິຊາການ

Veteksemicon SiC coated graphite susceptor ສໍາລັບຂໍ້ໄດ້ປຽບຫຼັກ ASM

1. ຄວາມບໍລິສຸດທີ່ສຸດແລະອັດຕາການຜິດປົກກະຕິຕ່ໍາ

ການນໍາໃຊ້ຊັ້ນນໍາ graphite ພິເສດທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ລະອຽດອ່ອນ, ສົມທົບກັບຂະບວນການເຄືອບສານເຄມີທີ່ຄວບຄຸມຢ່າງເຂັ້ມງວດຂອງພວກເຮົາ (CVD), ພວກເຮົາຮັບປະກັນວ່າການເຄືອບມີຄວາມຫນາແຫນ້ນ, ບໍ່ມີ pinholes, ແລະບໍ່ມີ impurities. ນີ້ຫຼຸດລົງຢ່າງຫຼວງຫຼາຍຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການປົນເປື້ອນຂອງອະນຸພາກໃນລະຫວ່າງຂະບວນການ epitaxial, ສະຫນອງສະພາບແວດລ້ອມ substrate ທີ່ສະອາດສໍາລັບການຂະຫຍາຍຕົວຂອງຊັ້ນ epitaxial ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ.

2. ການຕໍ່ຕ້ານ corrosion ທີ່ດີເລີດແລະການຕໍ່ຕ້ານການສວມໃສ່

ການເຄືອບ silicon carbide pyrolytic ມີຄວາມແຂງສູງແລະ inertness ສານເຄມີ, ປະສິດທິພາບຕ້ານການເຊາະເຈື່ອນຂອງແຫຼ່ງຊິລິຄອນ (ເຊັ່ນ: SiH4, SiHCl3), ແຫຼ່ງກາກບອນ (ເຊັ່ນ: C3H8), ແລະທາດອາຍຜິດ etching (ເຊັ່ນ: HCl, H2) ໃນອຸນຫະພູມສູງ. ນີ້ຂະຫຍາຍວົງຈອນການບໍາລຸງຮັກສາພື້ນຖານຢ່າງຫຼວງຫຼາຍແລະຫຼຸດຜ່ອນການຢຸດເຄື່ອງທີ່ເກີດຈາກການທົດແທນອົງປະກອບ.

3. ຄວາມສອດຄ່ອງຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງ

ພວກເຮົາເພີ່ມປະສິດທິພາບການແຜ່ກະຈາຍຂອງພາກສະຫນາມຄວາມຮ້ອນພາຍໃນຂອບເຂດອຸນຫະພູມການດໍາເນີນງານໂດຍຜ່ານການອອກແບບໂຄງສ້າງ substrate ທີ່ຊັດເຈນແລະການຄວບຄຸມຄວາມຫນາຂອງເຄືອບ. ນີ້ໂດຍກົງແປເປັນຄວາມຫນາທີ່ດີເລີດແລະການຕໍ່ຕ້ານຄວາມເປັນເອກະພາບໃນ wafer epitaxial, ປະກອບສ່ວນເຂົ້າໃນການປັບປຸງຜົນຜະລິດການຜະລິດຊິບ.

4. ທົນທານຕໍ່ການເຄືອບທີ່ດີເລີດ

ເທກໂນໂລຍີການຮັກສາພື້ນຜິວທີ່ເປັນເອກະລັກ ແລະ ເທັກໂນໂລຍີການເຄືອບສີເຮັດໃຫ້ການເຄືອບຊິລິຄອນຄາໄບເປັນຊັ້ນຜູກມັດທີ່ເຂັ້ມແຂງກັບຊັ້ນຍ່ອຍ graphite, ປ້ອງກັນການປອກເປືອກ, ຮອຍແປ້ວ, ຫຼືຮອຍແຕກຂອງສານເຄືອບທີ່ອາດເກີດຂຶ້ນໃນລະຫວ່າງການວົງຈອນຄວາມຮ້ອນໃນໄລຍະຍາວ.

5. ຂະຫນາດທີ່ຊັດເຈນແລະການຈໍາລອງໂຄງສ້າງ

ພວກເຮົາມີຄວາມສາມາດເຄື່ອງຈັກແລະການທົດສອບ CNC ທີ່ແກ່ແລ້ວ, ຊ່ວຍໃຫ້ພວກເຮົາສາມາດເຮັດເລື້ມຄືນເລຂາຄະນິດທີ່ສັບສົນ, ຂະຫນາດຂອງຝາອັດປາກຂຸມ, ແລະຕົວເຊື່ອມຕໍ່ຂອງພື້ນຖານຕົ້ນສະບັບ, ຮັບປະກັນການຈັບຄູ່ທີ່ສົມບູນແບບແລະຟັງຊັນ plug-and-play ກັບເວທີຂອງລູກຄ້າ.

6. ການຮັບຮອງລະບົບຕ່ອງໂສ້ລະບົບນິເວດ

Veteksemicon SiC coated graphite susceptor ສໍາລັບການກວດສອບລະບົບຕ່ອງໂສ້ນິເວດຂອງ ASM ກວມເອົາວັດຖຸດິບໃນການຜະລິດ, ໄດ້ຜ່ານການຢັ້ງຢືນມາດຕະຖານສາກົນ, ແລະມີເຕັກໂນໂລຢີທີ່ມີສິດທິບັດຈໍານວນຫນຶ່ງເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືແລະຄວາມຍືນຍົງໃນ semiconductor ແລະຂົງເຂດພະລັງງານໃຫມ່.

ສໍາລັບລາຍລະອຽດດ້ານວິຊາການ, ເອກະສານສີຂາວ, ຫຼືການຈັດການການທົດສອບຕົວຢ່າງ, ກະລຸນາຕິດຕໍ່ທີມງານສະຫນັບສະຫນູນດ້ານວິຊາການຂອງພວກເຮົາເພື່ອຄົ້ນຫາວິທີການ Veteksemicon ສາມາດເພີ່ມປະສິດທິພາບຂະບວນການຂອງທ່ານ.

ຂົງເຂດຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຕົ້ນຕໍ

ຮ້ານຂາຍຜະລິດຕະພັນ Veteksemicon