ຜູ້ຂົນສົ່ງ Werllite Satellon Satellon

ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການ werellon ດາວທຽມ Aixtron ແມ່ນສ່ວນຫນຶ່ງຂອງອຸປະກອນທີ່ມີອຸປະກອນ Aixtron Mocvd, ເປັນພິເສດທີ່ໃຊ້ໃນການເຕີບໃຫຍ່ຂອງການເຕີບໂຕຂອງ Epitaxial. ມັນເຫມາະສົມໂດຍສະເພາະສໍາລັບການເຕີບໂຕຂອງ Epitaxialຂະບວນການຂອງ Gan ແລະ Silicon Carbide (SIC) (SIC). ການອອກແບບ "ດາວທຽມ" ທີ່ບໍ່ເປັນເອກະລັກບໍ່ພຽງແຕ່ຮັບປະກັນຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງກະແສແກ gas ດ

Aixtron ແມ່ນຜູ້ຂົນສົ່ງ Waferປົກກະຕິແລ້ວແມ່ນເຮັດດ້ວຍcarbide silicon (sic)ຫຼື graphite ເຄືອບ cvd. ໃນບັນດາພວກມັນ, ຊິລິໂຄນ Carbide (SIC) ມີຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ, ຄວາມຕ້ານທານສູງອຸນຫະພູມແລະຕົວຄູນການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຕໍ່າ. CVD Coated Graphite ແມ່ນຮູບເງົາ carbide carbide carbide ໂດຍຜ່ານຂັ້ນຕອນການເງິນຝາກສານເຄມີ (CVD), ເຊິ່ງສາມາດຊ່ວຍເພີ່ມຄວາມຕ້ານທານການກັດທາງແລະກົນຈັກ. ວັດສະດຸ Graphite STIC ແລະເຄືອບສາມາດຕ້ານທານກັບອຸນຫະພູມໄດ້ເຖິງ 1,600 ° C-1,600 ° C ແລະມີສະຖຽນລະພາບທີ່ດີເລີດໃນອຸນຫະພູມສູງສຸດ.

ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການ wafer atellron ດາວທຽມແມ່ນຖືກນໍາໃຊ້ສ່ວນໃຫຍ່ແລ້ວທີ່ຈະປະຕິບັດແລະຫມູນວຽນໃນຂະບວນການ Mocvdເພື່ອຮັບປະກັນການໄຫລວຽນຂອງອາຍແກັສທີ່ເປັນເອກະພາບແລະການຝາກເງິນທີ່ເປັນເອກະພາບໃນລະຫວ່າງການເຕີບໃຫຍ່ຂອງ Epitaxial.ຫນ້າທີ່ສະເພາະແມ່ນດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້:

● Wafer ຫມູນວຽນແລະການຝາກເງິນທີ່ເປັນເອກະພາບ: ໂດຍຜ່ານການຫມູນວຽນຂອງຜູ້ໃຫ້ບໍລິການ Satellon, Wafer ສາມາດຮັກສາຄວາມເປັນເອກະລັກໃນລະຫວ່າງການເຕີບໃຫຍ່ຂອງ Epitaxial, ໃຫ້ນ້ໍາມັນໄຫຼເຂົ້າໄປໃນພື້ນທີ່ wafer ເພື່ອຮັບປະກັນວັດສະດຸທີ່ເປັນເອກະພາບ.

●ອຸນຫະພູມສູງແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງ: Silicon Carbide ຫຼືວັດສະດຸ Graphite ເຄືອບສາມາດຕ້ານທານກັບອຸນຫະພູມສູງເຖິງ 1,400 ° C-1,600 ° C-1,600 ° C.,0000 ° C. ຄຸນນະສົມບັດນີ້ຮັບປະກັນວ່າ Wafer ຈະບໍ່ຜິດປົກກະຕິໃນລະຫວ່າງການເຕີບໃຫຍ່ຂອງອຸນຫະພູມສູງ, ໃນຂະນະທີ່ປ້ອງກັນການຮັກສາຄວາມຮ້ອນຂອງຜູ້ໃຫ້ບໍລິການແມ່ນຜົນກະທົບຕໍ່ຂະບວນການ.

●ການຜະລິດອະນຸພາກທີ່ຫຼຸດລົງ: ວັດສະດຸບັນທຸກທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ (ເຊັ່ນ SIC) ມີພື້ນຜິວທີ່ລຽບງ່າຍທີ່ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມເປັນໄປໄດ້ໃນການປົນເປື້ອນ, ເຊິ່ງມີຄວາມສໍາຄັນສໍາລັບການຜະລິດວັດສະດຸທີ່ມີປະສິດຕິພາບສູງ.

ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການ werellon ດາວທຽມ veteksemicon ມີຢູ່ໃນ 100 ມມ, 15,mm, 200mm ແລະແມ້ແຕ່ຂະຫນາດທີ່ມີຂະຫນາດໃຫຍ່ກວ່າ, ແລະສາມາດໃຫ້ບໍລິການຜະລິດຕະພັນທີ່ກໍາຫນົດເອງໂດຍອີງໃສ່ຄວາມຕ້ອງການຂອງອຸປະກອນແລະຂະບວນການຂອງທ່ານ. ພວກເຮົາຫວັງຢ່າງຈິງໃຈທີ່ຈະເປັນຄູ່ຮ່ວມງານໄລຍະຍາວຂອງທ່ານໃນປະເທດຈີນ.

ຂໍ້ມູນ SEM ຂອງໂຄງສ້າງ CVD SIC：

ຮ້ານຂາຍເຄື່ອງຜະລິດດາວທຽມ Aixtron Werellite: