ແມ່ນຫຍັງທີ່ເປັນ pigi edlestatic (Esc)?

The Electrostatic Chuck (ESC), ເຊິ່ງເປັນທີ່ຮູ້ຈັກກັນໃນຂະນະທີ່ Chuck Electrostatic (E-chuck), ແມ່ນອຸປະກອນເສີມທີ່ໃຊ້ຫຼັກການຂອງ Electrostatic Adsorption ເພື່ອຖືແລະແກ້ໄຂອຸປະກອນການໂຄສະນາ. ມັນເຫມາະສົມກັບສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດແລະ plasma. ຫນ້າທີ່ຕົ້ນຕໍຂອງມັນແມ່ນເພື່ອ ADSOB Ultra-ຜ້າປູທີ່ສະອາດ (ເຊັ່ນ: ເຄື່ອງປັ່ນນ້ໍາຊິລິໂຄນ) ແລະຮັກສາເອກະສານທີ່ດີຂື້ນໃນບ່ອນທີ່ມີຄວາມຜິດປົກກະຕິ, ເຊິ່ງສາມາດປັບອຸນຫະພູມໄດ້ໃນລະຫວ່າງຂັ້ນຕອນຂອງ ADSORBATE.

ເປັນ chuck electrostatic (ESC) ແມ່ນປະເພດພິເສດຂອງ chuck ທີ່ໃຊ້ກໍາລັງໄຟຟ້າທີ່ຈະຖື, ກົດແລະເລືອກເອົາວັດຖຸ (Workpieces). ອຸປະກອນໃດກໍ່ໄດ້ຮັບຄ່າບໍລິການໃນແງ່ບວກແລະລົບທີ່ເບິ່ງບໍ່ເຫັນກັບຕາເປົ່າ. ໃນເວລາທີ່ອຸປະກອນການຖືກຈັດໃສ່ໃນ ESC ແລະແຮງດັນໄຟຟ້າ bipolar ແມ່ນໃຊ້ກັບຄ່າໃຊ້ຈ່າຍພາຍໃນຂອງ ESC, ດ້ານບວກແລະລົບຈະກົງກັບຄວາມໂປ່ງໃສຂອງ electrodes ພາຍໃນຂອງ ESC. ຄວາມດຶງດູດໃນລະຫວ່າງ ESC ແລະວັດສະດຸທີ່ມີຊື່ວ່າ Electrostatic Force ແລະຍັງເປັນຫຼັກການພື້ນຖານທີ່ຢູ່ເບື້ອງຫຼັງຂອງພວກເຮົາ.

ຂໍ້ໄດ້ປຽບຜະລິດຕະພັນ

ມັນມີລະດັບອຸນຫະພູມທີ່ກ້ວາງຂວາງ (-50 ເຖິງ 700 ℃)

ຖ້ວຍດູດທີ່ມີຄຸນນະພາບຂອງໄຟຟ້າທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ, ຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນແລະຄວາມຮ້ອນຂອງຄວາມຮ້ອນ, ແລະສາມາດປັບຕົວເຂົ້າກັບລະດັບອຸນຫະພູມກວ້າງໂດຍຜ່ານການຄວບຄຸມການຕ້ານທານຂອງ NGK.

ຄວາມຕ້ານທານການກັດທາງ Corrosion ສູງ

ຖ້ວຍດູດທີ່ມີໄຟຟ້າເຫຼົ່ານີ້ມີຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນທີ່ດີເລີດຕໍ່ກັບທາດອາຍຜິດ.

ການປຸງແຕ່ງອະນຸພາກຕ່ໍາ

ການຮັກສາສ່ວນຕ່ໍາສາມາດບັນລຸໄດ້ໂດຍຜ່ານການຮັກສາພື້ນຜິວແລະການເຮັດຄວາມສະອາດພິເສດ

ຄວາມບໍລິສຸດ

ຜະລິດຕະພັນທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດຂອງ 99,9% ຫຼືສູງກວ່ານັ້ນກໍ່ມີຢູ່.

ຫນ້າທີ່ໃຫ້ຄວາມຮ້ອນ

ເຕັກໂນໂລຢີການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນຂອງຄວາມຮ້ອນສູງສາມາດປະສົມປະສານກັບການເຮັດວຽກເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ, ແລະອຸນຫະພູມ Wafer ສາມາດຄວບຄຸມໄດ້ພາຍໃນ± 1%.

ຫນ້າທີ່ເຢັນ

ຖ້ວຍດູດທີ່ມີໄຟຟ້າທີ່ມີຄວາມເຢັນທີ່ສຸດໂດຍການຜູກມັດແຜ່ນດິນເຊລາມິກດ້ວຍການເຮັດຄວາມຮ້ອນແລະແຜ່ນເຢັນ.

ໄຟຟ້າຄວາມຖີ່ຂອງວິທະຍຸ

Electrodes ໂລຫະຫຼາຍສ່ວນສາມາດພ້ອມພ້ອມກັນສະຫນອງເຄື່ອງປະດັບທີ່ຫມັ້ນຄົງທີ່ຫນີບແລະການຜະລິດຄວາມຖີ່ຂອງວິທະຍຸ.

Pເຮືອບິນ

1.ໃນຂົງເຂດການຜະລິດ semicondorcector ແລະເອເລັກໂຕຣນິກ: ໃນລະຫວ່າງ semiconductor ຈອກການຜະລິດແລະເຄື່ອງໃຊ້ໄຟຟ້າທີ່ມີຄວາມກົດດັນ, ແລະການປະຕິບັດງານງ່າຍດາຍ, ເຊິ່ງມີປະສິດຕິຜົນສູງທີ່ສຸດແລະມີຄຸນນະພາບຜະລິດຕະພັນ.

2. ອຸດສະຫະກໍາແກ້ວແລະເຄື່ອງປັ້ນດິນເຜົາ

3. ການຜະລິດເຄື່ອງຈັກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາແລະສ່ວນປະກອບຂອງ optical: ສໍາລັບເຄື່ອງຈັກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາ, ການດູດຊືມໄຟຟ້າສາມາດປ້ອງກັນກໍາລັງທີ່ມີຊີວິດຊີວາ, ປ້ອງກັນການຜິດປົກກະຕິຫຼືການຂູດໃນລະຫວ່າງການປຸງແຕ່ງ.

4.