ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ມີຄວາມຫຼາກຫຼາຍຂອງ Quartz ໃນການຜະລິດ Semiconductor ແມ່ນຫຍັງ?

ວັດສະດຸ quartz ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງມີບົດບາດສໍາຄັນໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor. ຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງ, ຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ການກັດກ່ອນ, ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນ, ແລະຄຸນສົມບັດການສົ່ງຜ່ານແສງສະຫວ່າງເຮັດໃຫ້ພວກເຂົາບໍລິໂພກທີ່ສໍາຄັນ.ຜະລິດຕະພັນ Quartzຖືກນໍາໃຊ້ສໍາລັບອົງປະກອບທັງສອງເຂດອຸນຫະພູມສູງແລະອຸນຫະພູມຕ່ໍາຂອງການຜະລິດ wafer, ຮັບປະກັນຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະຄວາມສະອາດຂອງຂະບວນການຜະລິດ. ໃນຂະນະທີ່ອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ພັດທະນາ, ຄວາມຕ້ອງການສໍາລັບ quartz ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງຍັງສືບຕໍ່ເຕີບໂຕ, ຊຸກຍູ້ຄວາມກ້າວຫນ້າໃນການຜະລິດແລະເຕັກໂນໂລຢີ. ບົດຄວາມນີ້ສະຫນອງການເບິ່ງລະອຽດຢູ່ໃນຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຫຼັກແລະແນວໂນ້ມຕະຫຼາດຂອງ quartz ໃນການຜະລິດ semiconductor.

ຄຸນສົມບັດຂອງ Quartz

• Quartz (Silicon Dioxide, SiO₂) ແມ່ນ irreplaceable ໃນພາກສະຫນາມ semiconductor ເນື່ອງຈາກລັກສະນະທາງກາຍະພາບແລະເຄມີເກືອບທີ່ສົມບູນແບບຂອງມັນ8:
• ຄວາມບໍລິສຸດທີ່ສຸດ: ໂດຍປົກກະຕິ quartz ລະດັບ semiconductor ຕ້ອງການຄວາມບໍລິສຸດ 99.99% (4N) ຫຼືສູງກວ່າ, ບາງຄັ້ງເຖິງ 5N. ນີ້ຮັບປະກັນວ່າ ions ໂລຫະ (ເຊັ່ນ: sodium, potassium, ແລະທາດເຫຼັກ) ບໍ່ເຄື່ອນຍ້າຍແລະປົນເປື້ອນ wafers ຊິລິໂຄນໃນລະຫວ່າງການປະມວນຜົນອຸນຫະພູມສູງ.
• ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນ: ດ້ວຍຈຸດອ່ອນຂອງປະມານ 1730 ° C, quartz ສາມາດເຮັດວຽກໄດ້ຢ່າງຫມັ້ນຄົງເປັນເວລາດົນນານໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງລະຫວ່າງ 1100 ° C ແລະ 1250 ° C. ນີ້ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະທີ່ສົມບູນແບບສໍາລັບການແຜ່ກະຈາຍແລະຂະບວນການຜຸພັງ.
• Inertness ທາງເຄມີ: Quartz ແມ່ນເກືອບບໍ່ມີປະຕິກິລິຍາກັບອາຊິດໃດໆຍົກເວັ້ນອາຊິດ hydrofluoric ແລະ phosphoric ຮ້ອນ. ມັນເຮັດຫນ້າທີ່ເປັນຜູ້ໃຫ້ບໍລິການທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບການທໍາຄວາມສະອາດປຽກແລະຂະບວນການ etching.
• ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຕໍ່າ: ຄຸນສົມບັດນີ້ຮັບປະກັນວ່າອົງປະກອບຂອງ quartz ບໍ່ແຕກໄດ້ງ່າຍໃນລະຫວ່າງວົງຈອນຄວາມຮ້ອນທີ່ຮຸນແຮງ, ຮັກສາຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງມິຕິສໍາລັບການຜະລິດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາ.

2. ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຕົ້ນຕໍຂອງອົງປະກອບ Quartz ໃນການຜະລິດ Semiconductor

A. ການຂະຫຍາຍຕົວຂອງ Crystal: Quartz Crucibles

ໃນຂັ້ນຕອນທໍາອິດຂອງການຜະລິດ wafer - Czochralski (CZ) Method - polysilicon ຕ້ອງໄດ້ຮັບການ melted ພາຍໃນ crucible quartz.

ຟັງຊັນຫຼັກ: ແກນ quartz ຕິດຕໍ່ໂດຍກົງກັບຊິລິຄອນ molten. crucibles ຄຸນນະພາບສູງຫຼຸດຜ່ອນການປ່ອຍອອກຊິເຈນຫຼາຍເກີນໄປ, ຮັບປະກັນວ່າລະດັບ impurity ໃນ monocrystalline silicon ingot ໄດ້ຖືກເກັບຮັກສາໄວ້ຕໍາ່ສຸດທີ່.

B. ຂະບວນການຄວາມຮ້ອນ: ເຮືອ Quartz & Furnace Tubes

ໃນການແຜ່ກະຈາຍ, ການຜຸພັງ, ແລະຂະບວນການຫມູນວຽນ, wafers ແມ່ນຖືກຈັດໃສ່ໃນ batches ພາຍໃນ quartz carriers ເພື່ອເຂົ້າໄປໃນ furnace ການແຜ່ກະຈາຍ.

ຟັງຊັນຫຼັກ: ເຮືອ Quartz Wafer ແມ່ນຮັບຜິດຊອບສໍາລັບການປະຕິບັດຢ່າງແນ່ນອນຂອງ wafers, ໃນຂະນະທີ່ Quartz Furnace Tube ສະຫນອງສະພາບແວດລ້ອມຕິກິຣິຍາອຸນຫະພູມສູງທີ່ສະອາດ, ຄວບຄຸມ.

C. Thin Film Deposition: ຫົວ Shower Quartz & Chamber Parts

ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການ CVD (ການປ່ອຍອາຍພິດທາງເຄມີ) ແລະ ALD (ຊັ້ນປະລໍາມະນູ) ຂະບວນການ, ພາກສ່ວນ quartz ຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອນໍາພາແລະແຈກຢາຍທາດອາຍຜິດປະຕິກິລິຢາ.

ຟັງຊັນຫຼັກ: ຫົວອາບນ້ໍາ Quartz ຮັບປະກັນວ່າອາຍແກັສຖືກສີດຢ່າງເທົ່າທຽມກັນໃສ່ຫນ້າ wafer, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງສໍາຄັນສໍາລັບການປັບປຸງຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງຮູບເງົາບາງໆ nanometer.

D. ການເຮັດຄວາມສະອາດປຽກ: ອາບນ້ໍາ Quartz

ໃນລະຫວ່າງຂັ້ນຕອນການທໍາຄວາມສະອາດກ່ອນແລະຫຼັງຈາກ photolithography, wafers ຕ້ອງໄດ້ຮັບການ immersed ໃນ reagents ສານເຄມີຕ່າງໆ.

ຫນ້າທີ່ຫຼັກ: ອາບນ້ໍາ Quartz ແມ່ນທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນຂອງອາຊິດທີ່ເຂັ້ມແຂງແລະບໍ່ຜະລິດການປົນເປື້ອນຂອງອະນຸພາກ, ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນມາດຕະຖານໃນຂະບວນການທໍາຄວາມສະອາດ RCA.

3. ການວິເຄາະຕະຫຼາດຂອງອົງປະກອບ Quartz Semiconductor

ອີງຕາມຂໍ້ມູນອຸດສາຫະກໍາຫລ້າສຸດ, ຕະຫຼາດ semiconductor quartz ທົ່ວໂລກກໍາລັງປະສົບກັບການຂະຫຍາຍຕົວຢ່າງໄວວາ:

4. ແນວໂນ້ມອຸດສາຫະກໍາ

ການເຮັດຊ້ໍາກັນຂອງຂະບວນການ semiconductor ວາງຄວາມຕ້ອງການທີ່ຕ້ອງການກ່ຽວກັບຄວາມບໍລິສຸດຂອງວັດສະດຸ. ຂັບເຄື່ອນໂດຍ 7nm ແລະຂະບວນການທີ່ກ້າວຫນ້າທາງດ້ານຫຼາຍ, Synthetic Fused Silica ກໍາລັງປ່ຽນແທນ quartz ທໍາມະຊາດແບບດັ້ງເດີມຢ່າງໄວວາໃນຂະບວນການ etching ແລະ lithography ເນື່ອງຈາກຄວາມບໍ່ສະອາດຂອງໂລຫະຕ່ໍາທີ່ສຸດແລະການຕໍ່ຕ້ານ plasma ທີ່ດີເລີດ. ໃນເວລາດຽວກັນ, ອຸດສາຫະກໍາກໍາລັງຫັນໄປສູ່ເຄື່ອງຈັກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາປະສົມປະສານ. ຜູ້ຜະລິດທີ່ມີຄວາມສາມາດ CNC ທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງແລະການລວມເອົາວັດຖຸດິບທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງຈະຖືພື້ນທີ່ສູງໃນການແຂ່ງຂັນໃນອະນາຄົດ.

ຍິ່ງໄປກວ່ານັ້ນ, ການລິເລີ່ມສີຂຽວແລະການລີໄຊເຄີນແມ່ນກາຍເປັນເສັ້ນທາງສໍາຄັນສໍາລັບ fabs ເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍແລະເພີ່ມປະສິດທິພາບ. ເນື່ອງຈາກມາດຕະຖານ ESG ໄດ້ຮັບນ້ໍາຫນັກໃນລະບົບຕ່ອງໂສ້ການສະຫນອງ semiconductor, ການປັບປຸງໃຫມ່ແລະການນໍາມາໃຊ້ໃຫມ່ຂອງອົງປະກອບ quartz ລະດັບສູງຈະກາຍເປັນຮູບແບບທຸລະກິດຕົ້ນຕໍ. ນີ້ຊ່ວຍໃຫ້ບໍລິສັດຫຼຸດລົງຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການຜະລິດແລະເປັນທາງເລືອກທີ່ຈໍາເປັນເພື່ອຕອບສະຫນອງເປົ້າຫມາຍຄວາມເປັນກາງຂອງຄາບອນທົ່ວໂລກ. ໃນຂະບວນການນີ້, ບໍລິສັດ quartz ທີ່ມີເຕັກໂນໂລຢີທໍາຄວາມສະອາດກ້າວຫນ້າແລະຄວາມສາມາດໃນການສ້ອມແປງ flame-processing ຈະປະເຊີນກັບໂອກາດທາງກາລະຕະຫຼາດທີ່ສໍາຄັນ.

ໃນຖານະເປັນຜູ້ສະຫນອງວັດສະດຸ semiconductor ຊັ້ນນໍາ, VeTek Semiconductor ສະຫນອງການແກ້ໄຂອັນເຕັມທີ່ຈາກ quartz crucibles ກັບເຮືອ quartz ຄວາມແມ່ນຍໍາ. ຜະລິດຕະພັນຂອງພວກເຮົາໄດ້ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໂດຍ OEMs ທົ່ວໂລກທີ່ສໍາຄັນແລະ fabs wafer, ອຸທິດຕົນເພື່ອຊ່ວຍເຫຼືອລູກຄ້າປັບປຸງຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການແລະຜົນຜະລິດໂດຍຜ່ານອຸປະກອນການທີ່ດີກວ່າແລະຝີມື.