ສິ່ງທີ່ເຮັດໃຫ້ SiC coated graphite susceptor ສໍາລັບ ASM ເປັນສິ່ງຈໍາເປັນສໍາລັບຜົນໄດ້ຮັບ Epitaxy ຫມັ້ນຄົງ?

ເປັນຫຍັງອົງປະກອບນີ້ຈຶ່ງສໍາຄັນໃນອຸປະກອນ ASM Epitaxy?

ໃນຂະບວນການ epitaxy, susceptor ເຮັດຫຼາຍກ່ວາຖື wafer ຢູ່ໃນສະຖານທີ່. ມັນເຮັດຫນ້າທີ່ເປັນການໂຕ້ຕອບທາງດ້ານຮ່າງກາຍລະຫວ່າງ wafer, ພາກສະຫນາມຄວາມຮ້ອນ, ສະພາບແວດລ້ອມອາຍແກັສ reactive, ແລະເວທີອຸປະກອນ. ເມື່ອ ກSiC coated graphite susceptor ສໍາລັບ ASMປະຕິບັດໄດ້ດີ, wafer ໄດ້ຮັບການຖ່າຍທອດຄວາມຮ້ອນທີ່ຫມັ້ນຄົງຫຼາຍ, ສະພາບແວດລ້ອມສະພາການຍັງຄົງສະອາດ, ແລະຂະບວນການສາມາດດໍາເນີນການດ້ວຍການຂັດຂວາງຫນ້ອຍ.

ໃນສາຍການຜະລິດຈໍານວນຫຼາຍ, ວິສະວະກອນເລີ່ມສັງເກດເຫັນບັນຫາ susceptor ໂດຍທາງອ້ອມ. ສັນຍານທໍາອິດອາດຈະບໍ່ເປັນສ່ວນທີ່ເສຍຫາຍຢ່າງເຫັນໄດ້ຊັດ. ມັນອາດຈະປາກົດເປັນຄວາມບໍ່ສອດຄ່ອງຂອງ wafer-to-wafer, particles ຜິດປົກກະຕິ, ຄວາມຫນາຂອງຮູບເງົາ drifting, ການປ່ຽນແປງຄວາມຕ້ານທານ, ຫຼືວົງຈອນການບໍາລຸງຮັກສາສັ້ນກວ່າທີ່ຄາດໄວ້. ໃນເວລາທີ່ພາກສ່ວນສະແດງໃຫ້ເຫັນການຮອຍແຕກຢ່າງຈະແຈ້ງ, ການປອກເປືອກ, ຫຼືການເຊາະເຈື່ອນຂອງຫນ້າດິນ, ຂະບວນການອາດຈະໄດ້ຮັບຄວາມເສຍຫາຍຊ້ໍາຊ້ອນ.

ນີ້ແມ່ນເຫດຜົນທີ່ວ່າການຕັດສິນໃຈຊື້ບໍ່ຄວນສຸມໃສ່ພຽງແຕ່ລາຄາຫຼືຄວາມຄ້າຍຄືກັນທາງສາຍຕາ. ມີຄຸນວຸດທິSiC coated graphite susceptor ສໍາລັບ ASMຕ້ອງກົງກັບໂຄງສ້າງອຸປະກອນ ASM, ລອດຊີວິດຂອງວົງຈອນຄວາມຮ້ອນຊ້ໍາຊ້ອນ, ຕ້ານກັບທາດອາຍຜິດຂອງຂະບວນການ, ແລະຮັກສາສະພາບພື້ນຜິວທີ່ສະອາດພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂ epitaxial ທີ່ຕ້ອງການ. ສໍາລັບການຜະລິດ semiconductor, ອົງປະກອບທີ່ມີຄ່າໃຊ້ຈ່າຍຕ່ໍາທີ່ເຮັດໃຫ້ downtime ບໍ່ຄ່ອຍມີຄ່າໃຊ້ຈ່າຍຕ່ໍາໃນທີ່ສຸດ.

ບັນຫາໃດແດ່ທີ່ຜູ້ຊື້ມັກຈະປະເຊີນກັບຜູ້ອ່ອນໄຫວແບບທໍາມະດາ?

ຜູ້ຊື້ຫຼາຍຄົນຕິດຕໍ່ຜູ້ສະຫນອງພຽງແຕ່ຫຼັງຈາກທີ່ພວກເຂົາປະສົບບັນຫາການຜະລິດແລ້ວ. susceptor ທີ່ຜ່ານມາຂອງພວກເຂົາອາດຈະໄດ້ຮັບການຍອມຮັບໃນຕອນເລີ່ມຕົ້ນ, ແຕ່ລົ້ມເຫລວຫຼັງຈາກວົງຈອນການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນແລະຄວາມເຢັນຫຼາຍຄັ້ງ. ບັນຫາທົ່ວໄປທີ່ສຸດແມ່ນມັກຈະກ່ຽວຂ້ອງກັບຄຸນນະພາບການເຄືອບ, ຄວາມບໍລິສຸດ graphite, ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງເຄື່ອງຈັກ, ຫຼືຄວາມເຂົ້າໃຈບໍ່ພຽງພໍຂອງສະພາບແວດລ້ອມຂະບວນການຂອງລູກຄ້າ.

susceptor ທີ່ມີຄຸນນະພາບທີ່ບໍ່ດີສາມາດສ້າງປະຕິກິລິຍາລະບົບຕ່ອງໂສ້. ຖ້າການເຄືອບບໍ່ຫນາແຫນ້ນພຽງພໍ, ທາດອາຍຜິດ corrosive ສາມາດໂຈມຕີຖານ graphite ໄດ້. ຖ້າການຍຶດເກາະອ່ອນລົງ, ວົງຈອນຄວາມຮ້ອນສາມາດເຮັດໃຫ້ເກີດ microcracks ຫຼືປອກເປືອກ. ຖ້າຂະຫນາດບໍ່ໄດ້ຖືກຄວບຄຸມຢ່າງຖືກຕ້ອງ, ພາກສ່ວນອາດຈະບໍ່ນັ່ງຢ່າງຖືກຕ້ອງໃນເຄື່ອງມື. ຖ້າການສໍາເລັດຮູບຂອງຫນ້າດິນແມ່ນ rough ເກີນໄປຫຼືບໍ່ສະເຫມີກັນ, ຄວາມສ່ຽງຂອງອະນຸພາກສາມາດເພີ່ມຂຶ້ນໃນລະຫວ່າງການປະຕິບັດງານ.

• ການປົນເປື້ອນ particle:ການເຄືອບວ່າງ, ຄວາມຜິດປົກກະຕິຂອງພື້ນຜິວ, ຫຼື graphite ເປີດເຜີຍອາດຈະແນະນໍາອະນຸພາກທີ່ບໍ່ຕ້ອງການເຂົ້າໄປໃນຫ້ອງ.
• ອາຍຸການບໍລິການສັ້ນ:ການຍຶດເກາະທີ່ອ່ອນແອສາມາດນໍາໄປສູ່ການແຕກ, ການປອກເປືອກຫຼືການກັດກ່ອນໄວອັນຄວນ.
• ຄວາມ​ຮ້ອນ​ບໍ່​ເປັນ​ປົກ​ກະ​ຕິ​:ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງວັດສະດຸທີ່ບໍ່ດີ ຫຼືເລຂາຄະນິດທີ່ບໍ່ຖືກຕ້ອງອາດລົບກວນການແຜ່ກະຈາຍຄວາມຮ້ອນໃນທົ່ວ wafer.
• ອຸປະກອນບໍ່ກົງກັນ:ຄວາມຜິດພາດຂະຫນາດຂະຫນາດນ້ອຍສາມາດເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມຫຍຸ້ງຍາກໃນການຕິດຕັ້ງຫຼືການສະຫນັບສະຫນູນ wafer ບໍ່ຫມັ້ນຄົງ.
• ເວລາຢຸດເຮັດວຽກທີ່ບໍ່ຄາດຄິດ:ການທົດແທນເລື້ອຍໆຈະເພີ່ມຄວາມກົດດັນໃນການບໍາລຸງຮັກສາແລະຫຼຸດຜ່ອນຄວາມພ້ອມຂອງອຸປະກອນ.
• ການສື່ສານຂອງຜູ້ສະໜອງທີ່ບໍ່ຊັດເຈນ:ຜູ້ສະຫນອງບາງຄົນຂາຍຜະລິດຕະພັນທົ່ວໄປໂດຍບໍ່ມີການຖາມພຽງພໍກ່ຽວກັບເງື່ອນໄຂຂະບວນການ, ຂະຫນາດ wafer, ຮູບແບບອຸປະກອນ, ຫຼືຄວາມຕ້ອງການການເຄືອບ.

ເມື່ອເລືອກ ກSiC coated graphite susceptor ສໍາລັບ ASM, ຈຸດເຈັບປວດເຫຼົ່ານີ້ຄວນໄດ້ຮັບການປຶກສາຫາລືກ່ອນທີ່ຈະວາງຄໍາສັ່ງ. ຜູ້ສະຫນອງທີ່ຈິງຈັງຄວນຈະສາມາດເວົ້າກ່ຽວກັບການເລືອກວັດສະດຸ, ຂະບວນການເຄືອບ, ວິທີການກວດກາ, ແລະທາງເລືອກໃນການປັບແຕ່ງໃນແບບທີ່ກົງກັບສະພາບແວດລ້ອມການຜະລິດທີ່ແທ້ຈິງຂອງລູກຄ້າ.

ສິ່ງທີ່ຫນ້າເຊື່ອຖືໄດ້ Coated Graphite Susceptor ຄວນຈະເຮັດມາຈາກ?

ເຊື່ອຖືໄດ້SiC coated graphite susceptor ສໍາລັບ ASMປົກກະຕິແລ້ວຜະສົມຜະສານຊັ້ນຍ່ອຍ graphite ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງດ້ວຍການເຄືອບຊິລິຄອນຄາໄບທີ່ຫນາແຫນ້ນ. ຖານ graphite ສະຫນອງ machinability, ປະສິດທິພາບຄວາມຮ້ອນ, ແລະສະຫນັບສະຫນູນໂຄງສ້າງ. ການເຄືອບ silicon carbide ປົກປ້ອງພື້ນຜິວ graphite ຈາກການສໍາຜັດໂດຍກົງກັບສະພາບແວດລ້ອມທາງເຄມີທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ.

ວັດສະດຸພື້ນຖານແມ່ນສໍາຄັນເພາະວ່າ graphite ແມ່ນບໍ່ຄືກັນ. susceptor ລະດັບ semiconductor ຕ້ອງການຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ຄວາມຫນາແຫນ້ນທີ່ຫມັ້ນຄົງ, ໂຄງປະກອບການອັນດີງາມ, ແລະພຶດຕິກໍາເຄື່ອງຈັກທີ່ສອດຄ່ອງ. ຖ້າ graphite ມີ impurities ຫຼາຍເກີນໄປຫຼືມີໂຄງສ້າງພາຍໃນທີ່ບໍ່ສະເຫມີກັນ, ມັນອາດຈະສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄຸນນະພາບການເຄືອບແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງໃນໄລຍະຍາວ.

ການເຄືອບແມ່ນມີຄວາມສໍາຄັນເທົ່າທຽມກັນ. ການເຄືອບ SiC ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງຄວນມີຄວາມຫນາແຫນ້ນ, ຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ, ມີຄວາມຜູກມັດທີ່ດີ, ແລະເຫມາະສົມສໍາລັບການວົງຈອນຄວາມຮ້ອນຊ້ໍາຊ້ອນ. ໃນການນໍາໃຊ້ຕົວຈິງ, ການເຄືອບຕ້ອງຕ້ານການເຊາະເຈື່ອນຈາກທາດອາຍຜິດຂະບວນການຮຸກຮານແລະຫຼຸດຜ່ອນໂອກາດຂອງອະນຸພາກເຂົ້າໄປໃນສະພາບແວດລ້ອມ wafer. ພື້ນຜິວເຄືອບຍັງຕ້ອງໄດ້ຮັບການຄວບຄຸມຢ່າງລະມັດລະວັງ, ເພາະວ່າຄວາມຫຍາບຂອງຫນ້າດິນແລະຄວາມບົກຜ່ອງຂອງທ້ອງຖິ່ນສາມາດສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມສະອາດແລະການເຮັດຊ້ໍາອີກ.

WuYi TianYao Advanced Material Tech.Co., Ltd.ເຂົ້າໃຈວ່າລູກຄ້າ semiconductor ບໍ່ພຽງແຕ່ຊື້ສ່ວນ graphite ທີ່ມີຮູບຮ່າງ. ພວກເຂົາກໍາລັງຊອກຫາວິທີແກ້ໄຂວັດສະດຸທີ່ຄວບຄຸມທີ່ສາມາດສະຫນັບສະຫນູນການເຕີບໂຕຂອງ epitaxial ທີ່ສະອາດ, ຜົນໄດ້ຮັບຂອງຂະບວນການທີ່ຄາດເດົາໄດ້ຫຼາຍຂຶ້ນ, ແລະໄລຍະການບໍາລຸງຮັກສາທີ່ຍາວກວ່າ.

ປັດໃຈດ້ານວິຊາການອັນໃດຄວນຖືກປຽບທຽບກ່ອນທີ່ຈະສັ່ງຊື້?

ກ່ອນທີ່ຈະຊື້ aSiC coated graphite susceptor ສໍາລັບ ASM, ຜູ້ຊື້ຄວນປຽບທຽບຫຼາຍກວ່າຊື່ຜະລິດຕະພັນແລະລາຄາ. ຕາຕະລາງຕໍ່ໄປນີ້ໃຫ້ທັດສະນະພາກປະຕິບັດຂອງຈຸດທີ່ປົກກະຕິແລ້ວສໍາຄັນທີ່ສຸດໃນລະຫວ່າງການປະເມີນຜູ້ສະຫນອງ.

ການປະເມີນຜົນດ້ານວິຊາຊີບຄວນເຊື່ອມຕໍ່ປັດໃຈເຫຼົ່ານີ້ກັບເປົ້າຫມາຍຂະບວນການຕົວຈິງ. ຕົວຢ່າງ, ລູກຄ້າທີ່ໃຊ້ SiC homoepitaxy ອາດຈະເນັ້ນຫນັກໃສ່ຄວາມທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນຂອງອຸນຫະພູມສູງແລະຊີວິດການບໍລິການທີ່ຍາວນານ. ລູກຄ້າທີ່ເນັ້ນໃສ່ GaN-on-Si ອາດຈະສົນໃຈຢ່າງເລິກເຊິ່ງກ່ຽວກັບຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຄວາມຮ້ອນ ແລະການຄວບຄຸມອະນຸພາກ. ສິດທິSiC coated graphite susceptor ສໍາລັບ ASMຄວນໄດ້ຮັບການຄັດເລືອກຕາມຄວາມເປັນຈິງຂອງຂະບວນການ, ບໍ່ພຽງແຕ່ຄໍາທີ່ໃຊ້ໃນລາຍການ.

ມັນປັບປຸງຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການແລະຄຸນນະພາບ Wafer ແນວໃດ?

Epitaxy ມີຄວາມອ່ອນໄຫວຕໍ່ກັບການປ່ຽນແປງຂະຫນາດນ້ອຍ. ການແຜ່ກະຈາຍຂອງອຸນຫະພູມ, ການໄຫຼຂອງອາຍແກັສ, ສະພາບພື້ນຜິວ, ບ່ອນນັ່ງ wafer, ແລະຄວາມສະອາດຫ້ອງສາມາດມີອິດທິພົນຕໍ່ຄຸນນະພາບຊັ້ນສຸດທ້າຍ. ໝັ້ນຄົງSiC coated graphite susceptor ສໍາລັບ ASMຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຕົວແປທີ່ວິສະວະກອນບໍ່ຕ້ອງການຕໍ່ສູ້ກັບທຸກໆມື້.

ກ່ອນອື່ນ ໝົດ, ຄວາມເປັນເອກະພາບດ້ານຄວາມຮ້ອນແມ່ນຄວາມກັງວົນທີ່ ສຳ ຄັນ. ຖ້າຕົວຍຶດມີໂຄງສ້າງທີ່ບໍ່ສອດຄ່ອງ, ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງເຄື່ອງຈັກທີ່ບໍ່ດີ, ຫຼືການເຄືອບບໍ່ສະຫມໍ່າສະເຫມີ, ການຖ່າຍທອດຄວາມຮ້ອນອາດຈະບໍ່ຄົງທີ່. ຄວາມບໍ່ສະຖຽນລະພາບນັ້ນສາມາດສະແດງໃຫ້ເຫັນເຖິງການປ່ຽນແປງໃນທົ່ວ wafer ຫຼືຈາກ batch ກັບ batch. susceptor ທີ່ຜະລິດຢ່າງລະມັດລະວັງສະຫນັບສະຫນູນພາກສະຫນາມຄວາມຮ້ອນທີ່ຄາດເດົາໄດ້ຫຼາຍຂຶ້ນ, ເຊິ່ງຊ່ວຍໃຫ້ວິສະວະກອນຮັກສາປ່ອງຢ້ຽມຂະບວນການຢ່າງຫມັ້ນໃຈຫຼາຍຂຶ້ນ.

ອັນທີສອງ, ຄວາມສົມບູນຂອງການເຄືອບມີຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ຄວາມສະອາດ. ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ, ແກຟໄຟທີ່ເປີດເຜີຍ, microcracks, ພື້ນທີ່ປອກເປືອກ, ຫຼືເຂດການເຄືອບທີ່ອ່ອນແອສາມາດເພີ່ມຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການປົນເປື້ອນ. ການເຄືອບ SiC ທີ່ມີຄວາມຫນາແຫນ້ນແລະຕິດກັນດີຊ່ວຍປົກປ້ອງພື້ນຖານກາຟເຟດໃນຂະນະທີ່ຫຼຸດຜ່ອນການສ້າງອະນຸພາກທີ່ເກີດຈາກການເຊື່ອມໂຊມຂອງພື້ນຜິວ.

ອັນທີສາມ, ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງມິຕິລະດັບສະຫນັບສະຫນູນການຈັດວາງ wafer ຊ້ໍາຊ້ອນ. ຖ້າ wafer ບໍ່ໄດ້ນັ່ງຢ່າງຖືກຕ້ອງ, ຫຼືຖ້າ susceptor ບໍ່ກົງກັບການໂຕ້ຕອບຂອງອຸປະກອນ, ຂະບວນການອາດຈະບໍ່ຄົງທີ່ເຖິງແມ່ນວ່າວັດສະດຸຂອງມັນເອງແມ່ນຍອມຮັບ. ນີ້ແມ່ນເຫດຜົນທີ່ວ່າເຄື່ອງຈັກທີ່ຊັດເຈນແລະການຈໍາລອງໂຄງສ້າງແມ່ນສໍາຄັນສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບ ASM.

ສຸດທ້າຍ, ຄວາມທົນທານຊ່ວຍຫຼຸດຄ່າໃຊ້ຈ່າຍທີ່ເຊື່ອງໄວ້. ພາກສ່ວນຫນຶ່ງທີ່ຍາວກວ່າສາມາດຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຖີ່ຂອງການທົດແທນ, ຄວາມກົດດັນການວາງແຜນການບໍາລຸງຮັກສາ, ການຢຸດເວລາຫ້ອງ, ແລະການຊື້ສຸກເສີນ. ສໍາລັບໂຮງງານຈໍານວນຫຼາຍ, susceptor ລາຄາແພງທີ່ສຸດບໍ່ແມ່ນຫນຶ່ງທີ່ມີວົງຢືມສູງສຸດ. ມັນແມ່ນຫນຶ່ງທີ່ລົ້ມເຫລວໃນລະຫວ່າງການຜະລິດແລະບັງຄັບໃຫ້ເຄື່ອງມືອອຟໄລ.

ທີມຊື້ຄວນຢືນຢັນຫຍັງກັບຜູ້ສະຫນອງ?

ທີມງານຈັດຊື້ມັກຈະໄດ້ຮັບການສະເຫນີລາຄາທີ່ຄ້າຍຄືກັນຈາກຜູ້ສະຫນອງທີ່ແຕກຕ່າງກັນ, ແຕ່ມູນຄ່າຕົວຈິງຂອງແຕ່ລະວົງຢືມອາດຈະແຕກຕ່າງກັນຫຼາຍ. ຜູ້ສະຫນອງທີ່ຈິງຈັງຄວນຊ່ວຍໃຫ້ຜູ້ຊື້ຊີ້ແຈງເງື່ອນໄຂການສະຫມັກ, ບໍ່ຟ້າວໃຫ້ຜູ້ຊື້ເຂົ້າໄປໃນພາກສ່ວນມາດຕະຖານໂດຍບໍ່ມີການສົນທະນາດ້ານວິຊາການ.

ກ່ອນທີ່ຈະຢືນຢັນຄໍາສັ່ງສໍາລັບ aSiC coated graphite susceptor ສໍາລັບ ASM, ຜູ້ຊື້ຄວນກະກຽມຂໍ້ມູນພື້ນຖານຂ້າງລຸ່ມນີ້:

• ຮູບແບບອຸປະກອນ ASM ຫຼືຂໍ້ມູນເວທີທີ່ເຂົ້າກັນໄດ້
• ຂະຫນາດ wafer ແລະຄວາມຕ້ອງການສະຫນັບສະຫນູນ wafer
• ການແຕ້ມສ່ວນຕົ້ນສະບັບ, ຕົວຢ່າງ, ຫຼືຂະຫນາດທີ່ສໍາຄັນຖ້າມີ
• ລະດັບອຸນຫະພູມປະຕິບັດງານແລະສະພາບແວດລ້ອມອາຍແກັສຂະບວນການ
• ຄວາມຫນາຂອງການເຄືອບທີ່ຄາດວ່າຈະຫຼືຄວາມຕ້ອງການສໍາເລັດຮູບດ້ານ
• ຈຸດເຈັບປວດໃນປະຈຸບັນ, ເຊັ່ນ: ການປອກເປືອກ, ອະນຸພາກ, corrosion, ຫຼືຊີວິດການບໍລິການສັ້ນ
• ເອກະສານກວດກາທີ່ຈໍາເປັນ, ຄວາມຄາດຫວັງຂອງການຫຸ້ມຫໍ່, ແລະຕາຕະລາງການຈັດສົ່ງ

ລາຍລະອຽດເຫຼົ່ານີ້ຊ່ວຍໃຫ້ຜູ້ສະຫນອງເຂົ້າໃຈວ່າຜູ້ຊື້ຕ້ອງການການທົດແທນມາດຕະຖານ, ເລຂາຄະນິດທີ່ກໍາຫນົດເອງ, ຄວາມຫນາຂອງເຄືອບສະເພາະ, ຫຼືການແກ້ໄຂທີ່ມີຂະບວນການຫຼາຍ. ສໍາລັບລະບົບ epitaxy ທີ່ມີຄຸນຄ່າສູງ, ການສື່ສານເບື້ອງຕົ້ນນີ້ສາມາດປ້ອງກັນຄວາມຜິດພາດທີ່ມີລາຄາແພງ.

ຜູ້ສະຫນອງທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ຄວນຈະສາມາດອະທິບາຍວິທີທີ່ມັນຄວບຄຸມຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງເຄື່ອງຈັກ, ຄຸນນະພາບການເຄືອບ, ສະພາບຫນ້າດິນ, ການປ້ອງກັນການຫຸ້ມຫໍ່, ແລະການກວດກາຂັ້ນສຸດທ້າຍ. ເມື່ອຜູ້ຊື້ບໍ່ສາມາດໄປຢ້ຽມຢາມໂຮງງານໄດ້ທັນທີ, ການສື່ສານດ້ານວິຊາການທີ່ຊັດເຈນຈະກາຍເປັນຄວາມສໍາຄັນຫຼາຍຂຶ້ນ.

Susceptor ນີ້ຖືກນໍາໃຊ້ທົ່ວໄປຢູ່ໃສ?

A SiC coated graphite susceptor ສໍາລັບ ASMສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ໃນຂະບວນການ epitaxial ທີ່ wafers ຕ້ອງການການສະຫນັບສະຫນູນທີ່ຫມັ້ນຄົງພາຍໃຕ້ອຸນຫະພູມສູງແລະເງື່ອນໄຂອາຍແກັສຄວບຄຸມ. ມັນມີຄວາມກ່ຽວຂ້ອງໂດຍສະເພາະສໍາລັບວັດສະດຸ semiconductor ກ້າວຫນ້າທາງດ້ານແລະອຸປະກອນທີ່ຕ້ອງການສະພາບແວດລ້ອມການຂະຫຍາຍຕົວທີ່ສະອາດ, ຊ້ໍາກັນ.

ຊື່ພາກສ່ວນດຽວກັນອາດຈະປາກົດຢູ່ໃນສະຖານະການຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ແຕກຕ່າງກັນ, ແຕ່ຄວາມຕ້ອງການທີ່ແນ່ນອນອາດຈະບໍ່ຄືກັນ. ໂຮງງານທີ່ເຮັດວຽກໃນການຜະລິດປະລິມານສູງອາດຈະສົນໃຈຫຼາຍທີ່ສຸດກ່ຽວກັບຊີວິດແລະຄວາມສອດຄ່ອງ. ທີມງານຄົ້ນຄວ້າອາດຈະຕ້ອງການການປັບແຕ່ງແບບຍືດຫຍຸ່ນ. ທີມງານບໍາລຸງຮັກສາອາດຈະຈັດລໍາດັບຄວາມສໍາຄັນຂອງການທົດແທນທີ່ໄວແລະເຫມາະສົມທີ່ຖືກຕ້ອງ. ນີ້ແມ່ນເຫດຜົນທີ່ວ່າການສື່ສານຂອງຜູ້ສະຫນອງຄວນຈະເລີ່ມຕົ້ນດ້ວຍສະພາບແວດລ້ອມຂອງຂະບວນການທີ່ແທ້ຈິງ.

ຜູ້ໃຊ້ສາມາດຂະຫຍາຍຊີວິດການບໍລິການໃນການດໍາເນີນງານປະຈໍາວັນໄດ້ແນວໃດ?

ເຖິງແມ່ນວ່າເປັນທີ່ດີທີ່ເຮັດSiC coated graphite susceptor ສໍາລັບ ASMຕ້ອງການການຈັດການທີ່ເຫມາະສົມ. ອົງປະກອບຂອງ Semiconductor ມີຄວາມອ່ອນໄຫວຕໍ່ການປົນເປື້ອນ, ຜົນກະທົບ, ການປ່ຽນແປງອຸນຫະພູມຢ່າງກະທັນຫັນ, ແລະວິທີການທໍາຄວາມສະອາດທີ່ບໍ່ຖືກຕ້ອງ. ນິໄສການດໍາເນີນງານທີ່ດີສາມາດຍືດອາຍຸການບໍລິການແລະປົກປ້ອງຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການ.

• ຈັບ​ຖົງ​ມື​ທີ່​ສະ​ອາດ​:ຫຼີກເວັ້ນການສໍາຜັດກັບມືໂດຍກົງທີ່ອາດຈະໂອນນໍ້າມັນ, ຝຸ່ນ, ຫຼືສິ່ງປົນເປື້ອນອື່ນໆ.
• ຫຼີກ​ລ້ຽງ​ການ​ຜົນ​ກະ​ທົບ​ກົນ​ຈັກ​:ການເຄືອບແມ່ນແຂງ, ແຕ່ການຂັດກັນແຫຼມຫຼື stacking ທີ່ບໍ່ຖືກຕ້ອງຍັງສາມາດເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມເສຍຫາຍໃນທ້ອງຖິ່ນ.
• ກວດ​ສອບ​ກ່ອນ​ການ​ຕິດ​ຕັ້ງ​:ກວດເບິ່ງຮອຍແຕກທີ່ເຫັນໄດ້, ປອກເປືອກ, ແຕກ, ຫຼືຮອຍທີ່ຜິດປົກກະຕິ.
• ປະຕິບັດຕາມວິທີການທໍາຄວາມສະອາດທີ່ໄດ້ຮັບການອະນຸມັດ:ຢ່າໃຊ້ຂັ້ນຕອນການທໍາຄວາມສະອາດທີ່ຮຸກຮານທີ່ບໍ່ເຫມາະສົມກັບການເຄືອບຫຼືຄວາມຕ້ອງການຂອງຂະບວນການ.
• ຄວບ​ຄຸມ​ການ​ຊ໊ອກ​ຄວາມ​ຮ້ອນ​:ການປ່ຽນແປງອຸນຫະພູມຢ່າງກະທັນຫັນອາດຈະເພີ່ມຄວາມກົດດັນໃນການໂຕ້ຕອບການເຄືອບແລະ substrate.
• ບັນທຶກຮອບວຽນການບໍລິການ:ການຕິດຕາມປະຫວັດການນໍາໃຊ້ຊ່ວຍຄາດຄະເນໄລຍະເວລາການທົດແທນແລະຫຼີກເວັ້ນການຢຸດສຸກເສີນ.
• ເກັບຮັກສາຢ່າງລະມັດລະວັງ:ໃຊ້ການຫຸ້ມຫໍ່ປ້ອງກັນແລະເງື່ອນໄຂການເກັບຮັກສາທີ່ສະອາດເພື່ອປ້ອງກັນຄວາມເສຍຫາຍຂອງຫນ້າດິນກ່ອນການຕິດຕັ້ງ.

ທີມງານບໍາລຸງຮັກສາຄວນຕິດຕໍ່ສື່ສານກັບຜູ້ສະຫນອງເມື່ອຄວາມລົ້ມເຫຼວທີ່ຜິດປົກກະຕິປະກົດຂຶ້ນ. ຮູບພາບຂອງພື້ນທີ່ເສຍຫາຍ, ສະພາບຂະບວນການ, ປະຫວັດຮອບວຽນ, ແລະວິທີການທໍາຄວາມສະອາດສາມາດຊ່ວຍກໍານົດວ່າບັນຫາແມ່ນກ່ຽວຂ້ອງກັບການດໍາເນີນງານ, ການຄັດເລືອກການເຄືອບ, ສະພາບຫ້ອງ, ຫຼືການອອກແບບສ່ວນ.

FAQ

ຜູ້ຊື້ຄວນຈື່ຫຍັງກ່ອນທີ່ຈະເລືອກຜູ້ສະຫນອງ?

ການເລືອກ ກSiC coated graphite susceptor ສໍາລັບ ASMແມ່ນການຕັດສິນໃຈທາງດ້ານວິຊາການເທົ່າກັບການຕັດສິນໃຈຊື້. ພາກສ່ວນທີ່ຖືກຕ້ອງສາມາດຊ່ວຍໃຫ້ຂະບວນການຄົງທີ່, ປົກປ້ອງຄຸນນະພາບຂອງ wafer, ຫຼຸດຜ່ອນເວລາຢຸດເຮັດວຽກ, ແລະສະຫນັບສະຫນູນການວາງແຜນການຜະລິດທີ່ຄາດເດົາໄດ້ຫຼາຍຂຶ້ນ. ສ່ວນທີ່ບໍ່ຖືກຕ້ອງສາມາດສ້າງການສູນເສຍທີ່ເຊື່ອງໄວ້ທີ່ມີຂະຫນາດໃຫຍ່ກວ່າຄວາມແຕກຕ່າງຂອງລາຄາເບື້ອງຕົ້ນ.

ຜູ້ຊື້ຄວນຊອກຫາຜູ້ສະຫນອງທີ່ເຂົ້າໃຈຄວາມຕ້ອງການຂອງຂະບວນການ semiconductor, ຖາມຄໍາຖາມປະຕິບັດ, ສະຫນັບສະຫນູນການປັບແຕ່ງ, ຄວບຄຸມຄຸນນະພາບການເຄືອບ, ແລະສະຫນອງການສື່ສານດ້ານວິຊາການທີ່ຊັດເຈນ. ສໍາລັບທີມງານທີ່ປະເຊີນກັບຄວາມລົ້ມເຫຼວຂອງການເຄືອບ, ບັນຫາອະນຸພາກ, ຄວາມບໍ່ສະຖຽນລະພາບຂອງຄວາມຮ້ອນ, ຫຼືການທົດແທນເລື້ອຍໆ, susceptor ທີ່ມີວິສະວະກໍາທີ່ດີກວ່າສາມາດກາຍເປັນຈຸດປັບປຸງທີ່ມີຄວາມຫມາຍພາຍໃນຂະບວນການເຮັດວຽກຂອງ epitaxy.

WuYi TianYao Advanced Material Tech.Co., Ltd. ສະຫນອງການສະຫນັບສະຫນູນດ້ານວັດຖຸສໍາລັບລູກຄ້າທີ່ຕ້ອງການການແກ້ໄຂ graphite ແລະເຄືອບທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ semiconductor ທີ່ຕ້ອງການ. ຖ້າທ່ານກໍາລັງປະເມີນ aSiC coated graphite susceptor ສໍາລັບ ASM, ການປຽບທຽບທາງເລືອກໃນການທົດແທນ, ຫຼືພະຍາຍາມແກ້ໄຂຈຸດເຈັບປວດຂອງຂະບວນການທີ່ເກີດຂື້ນ, ຕິດຕໍ່ພວກເຮົາໃນມື້ນີ້ເພື່ອປຶກສາຫາລືກ່ຽວກັບຄວາມຕ້ອງການອຸປະກອນ, ຮູບແຕ້ມ, ຕົວຢ່າງ, ແລະເປົ້າຫມາຍການຜະລິດຂອງທ່ານ.