ສູດນ້ໍາປະລໍາມະນູແບບປະລໍາມະນູ

ald spatial, ການຖິ້ມຊັ້ນປະລໍາມະນູທີ່ໂດດດ່ຽວຕາມພື້ນທີ່. The Wafer ຍ້າຍລະຫວ່າງຕໍາແຫນ່ງທີ່ແຕກຕ່າງກັນແລະຖືກສໍາຜັດກັບເຄື່ອງສໍາອາງທີ່ແຕກຕ່າງກັນໃນແຕ່ລະຕໍາແຫນ່ງ. ຕົວເລກຂ້າງລຸ່ມນີ້ແມ່ນການປຽບທຽບລະຫວ່າງ ALD ALD ແບບດັ້ງເດີມແລະໂດດດ່ຽວ.

ALD ຊົ່ວຄາວ,ການຝາກປະສາດຊັ້ນວາງປະລໍາມະນູທາງໂລກ. wafer ໄດ້ຖືກສ້ອມແຊມແລະຄາຣະວາຖືກນໍາສະເຫນີສະລັບກັນແລະເອົາອອກໃນສະພາການ. ວິທີການນີ້ສາມາດປຸງແຕ່ງ wafer ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ສົມດູນຫຼາຍ, ດັ່ງນັ້ນການປັບປຸງຜົນໄດ້ຮັບ, ເຊັ່ນ: ການຄວບຄຸມທີ່ດີກວ່າຂອງຂະຫນາດທີ່ສໍາຄັນ. ຮູບຂ້າງລຸ່ມນີ້ແມ່ນແຜນວາດຂອງ Temporal ALD.

ປ່ຽງປິດ, ປ່ຽງປິດ. ໃຊ້ທົ່ວໄປໃນ，ສູດ, ໃຊ້ເພື່ອປິດປ່ຽງກັບປັ໊ມສູນຍາກາດ, ຫຼືເປີດປ່ຽງຢຸດກັບປັ໊ມສູນຍາກາດ.

Precursor, Precursor. ສອງຫຼືຫຼາຍກວ່ານັ້ນ, ແຕ່ລະອັນທີ່ບັນຈຸຮູບເງົາທີ່ຕ້ອງການທີ່ຕ້ອງການ, ແມ່ນໂຄສະນາທາງເລືອກອື່ນ, ໂດຍມີພຽງແຕ່ຕົວຢ່າງດຽວໃນແຕ່ລະຄັ້ງ, ເປັນເອກະລາດຂອງກັນແລະກັນ. ຕົວຢ່າງແຕ່ລະຕົວເອງ saturates ພື້ນທີ່ຍ່ອຍເພື່ອປະກອບເປັນ monolayer. ກ່ອນຫນ້າທີ່ສາມາດເຫັນໄດ້ໃນຮູບຂ້າງລຸ່ມນີ້.

ການລ້າງອອກ, ເຊິ່ງເອີ້ນກັນວ່າການກັ່ນຕອງ. ອາຍແກັສທີ່ສະອາດທົ່ວໄປ, ອາຍແກັສຊໍາລະເອົາ.ຊັ້ນປະລໍາມະນູແມ່ນວິທີການທີ່ຈະຝາກຮູບເງົາບາງໆໃນຊັ້ນປະລໍາມະນູໂດຍການວາງສອງຫຼືຫຼາຍກວ່າປະຕິກິລິຍາໃນການປະກອບຮູບເງົາບາງໆໂດຍການປະກອບຮູບເງົາແລະໂຄສະນາຂອງແຕ່ລະຄົນທີ່ມີຄວາມເສີຍເມີຍ. ນັ້ນແມ່ນ, ອາຍແກັສປະຕິກິລິຍາທໍາອິດແມ່ນສະຫນອງໃຫ້ເປັນລະບຽບຂອງກໍາມະຈອນເພື່ອຝາກເງິນທາງເຄມີພາຍໃນສະພາ, ແລະອາຍແກັສທີ່ມີປະຕິກິລິຍາທີ່ມີຄວາມຜູກພັນກັບຮ່າງກາຍ. ຫຼັງຈາກນັ້ນ, ກ gas າຊທີ່ມີປະຕິກິລິຍາສອງຍັງປະກອບເປັນຮູບເງົາທາງເຄມີທີ່ມີອາຍແກັສປະຕິກິລິຍາທໍາອິດໃນສ່ວນທີ່ຜ່ານຂະບວນການກໍາມະຈອນແລະການຝາກຮູບເງົາທີ່ຕ້ອງການຢູ່ເທິງຊັ້ນໃຕ້ດິນ. ການລ້າງອອກສາມາດເຫັນໄດ້ໃນຮູບຂ້າງລຸ່ມນີ້.

ຮອບວຽນ. ໃນຂະບວນການປ່ອຍຕົວຊັ້ນປະລໍາມະນູ, ເວລາສໍາລັບແຕ່ລະອາຍແກັສຕິກິຣິຍາທີ່ຈະໄດ້ຮັບການກະຕຸ້ນແລະ purged ຫນຶ່ງຄັ້ງເອີ້ນວ່າວົງຈອນ.

ຊັ້ນປະລໍາມະນູ Epitaxy.ຄໍາສັບອື່ນສໍາລັບຊັ້ນຂອງປະລໍາມະນູ.

Trimethylaluminum, ຫຍໍ້ເປັນ TMA, trimethylaluminum. ໃນການຖິ້ມຊັ້ນປະລໍາມະນູ, TMA ມັກຈະຖືກນໍາໃຊ້ເປັນຄາຣະວາເພື່ອສ້າງເປັນ Al2O3. ໂດຍປົກກະຕິ, TMA ແລະ H2O ປະກອບເປັນ Al2O3. ນອກຈາກນັ້ນ, TMA ແລະ O3 ປະກອບເປັນ Al2O3. ຕົວເລກຂ້າງລຸ່ມນີ້ແມ່ນແຜນວາດ schematic ຂອງ Al2O3 ຊັ້ນປະລໍາມະນູ deposition, ການນໍາໃຊ້ TMA ແລະ H2O ເປັນຄາຣະວາ.

3-Aminopropyltriethoxysilane, ເອີ້ນວ່າ APTES, 3-aminopropyltrimethoxysilane. ໃນຊັ້ນປະລໍາມະນູ, Aptes ມັກຖືກນໍາໃຊ້ເປັນຕົວຢ່າງໃຫ້ເປັນຕົວແທນເພື່ອປະກອບເປັນ SIO2. ໂດຍປົກກະຕິ, Aptes, O3 ແລະ H2O ແບບຟອມ SiO2. ຕົວເລກຂ້າງລຸ່ມນີ້ແມ່ນແຜນວາດ aptemate.