ລະຫັດ QR
ກ່ຽວກັບພວກເຮົາ
ຜະລິດຕະພັນ
ຕິດຕໍ່ພວກເຮົາ


ແຟັກ
+86-579-87223657

ອີເມລ

ທີ່ຢູ່
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, ເມືອງ Jinhua, ແຂວງ Zhejiang, ຈີນ
ສໍາລັບການຜະລິດຂະຫນາດອຸດສາຫະກໍາຂອງ substrates silicon carbide, ຄວາມສໍາເລັດຂອງການຂະຫຍາຍຕົວດຽວບໍ່ແມ່ນເປົ້າຫມາຍສຸດທ້າຍ. ສິ່ງທ້າທາຍທີ່ແທ້ຈິງແມ່ນຢູ່ໃນການຮັບປະກັນວ່າໄປເຊຍກັນທີ່ປູກໃນທົ່ວ batches, ເຄື່ອງມື, ແລະໄລຍະເວລາທີ່ແຕກຕ່າງກັນຮັກສາລະດັບຄວາມສອດຄ່ອງແລະຊ້ໍາກັນໃນຄຸນນະພາບ. ໃນສະພາບການນີ້, ບົດບາດຂອງການເຄືອບ tantalum carbide (TaC).ເກີນກວ່າການປົກປ້ອງຂັ້ນພື້ນຖານ—ມັນກາຍເປັນປັດໃຈຫຼັກໃນການຮັກສາສະຖຽນລະພາບຂອງໜ້າຕ່າງຂະບວນການ ແລະປົກປ້ອງຜົນຜະລິດຂອງຜະລິດຕະພັນ.
1.ຕິກິຣິຍາຕ່ອງໂສ້ໃນການຜະລິດມະຫາຊົນທີ່ເກີດຈາກການປ່ຽນແປງການເຄືອບ
ໃນການຜະລິດຂະຫນາດໃຫຍ່, ເຖິງແມ່ນວ່າການເຫນັງຕີງຂອງ batch-to-batch ເລັກນ້ອຍໃນການປະຕິບັດການເຄືອບສາມາດຂະຫຍາຍໄດ້ໂດຍຜ່ານພາກສະຫນາມຄວາມຮ້ອນທີ່ມີຄວາມອ່ອນໄຫວສູງ, ການສ້າງລະບົບຕ່ອງໂສ້ການສົ່ງຕໍ່ຄຸນນະພາບທີ່ຈະແຈ້ງ: ຕົວກໍານົດການເຄືອບທີ່ບໍ່ສອດຄ່ອງ → drift ໃນເງື່ອນໄຂຂອບເຂດຊາຍແດນຄວາມຮ້ອນ → ການປ່ຽນແປງໃນ kinetics ການຂະຫຍາຍຕົວ ( gradient ອຸນຫະພູມ, ການໂຕ້ຕອບ morphology) ຄຸນສົມບັດຂອງໄປເຊຍກັນແລະ fluctuation defects. ຜົນຜະລິດແລະການປະຕິບັດ. ປະຕິກິລິຍາລະບົບຕ່ອງໂສ້ນີ້ໂດຍກົງເຮັດໃຫ້ຜົນຜະລິດທີ່ບໍ່ຫມັ້ນຄົງໃນການຜະລິດຈໍານວນຫລາຍແລະກາຍເປັນອຸປະສັກທີ່ສໍາຄັນຕໍ່ການເປັນອຸດສາຫະກໍາ.
2.Core coating metrics ທີ່ຮັບປະກັນການຜະລິດມະຫາຊົນທີ່ຫມັ້ນຄົງ
ເພື່ອບັນລຸການຜະລິດມະຫາຊົນທີ່ຫມັ້ນຄົງ, ການເຄືອບ tantalum carbide (TaC) ຊັ້ນອຸດສາຫະກໍາຕ້ອງໄປເກີນເປົ້າຫມາຍພາລາມິເຕີດຽວເຊັ່ນຄວາມບໍລິສຸດຫຼືຄວາມຫນາ. ແທນທີ່ຈະ, ພວກເຂົາເຈົ້າຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີການຄວບຄຸມຄວາມສອດຄ່ອງ batch-to-batch ທີ່ເຄັ່ງຄັດໃນທົ່ວຫຼາຍມິຕິ. ຂະຫນາດການຄວບຄຸມທີ່ສໍາຄັນແມ່ນສະຫຼຸບຢູ່ໃນຕາຕະລາງຂ້າງລຸ່ມນີ້:
|
ການຄວບຄຸມຂະຫນາດ |
ຄວາມຕ້ອງການວັດແທກສະເພາະ |
ຄວາມສໍາຄັນສໍາລັບຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງການຜະລິດມະຫາຊົນ |
|
ຄວາມຫນາ & ຄວາມສອດຄ່ອງ |
ຄວາມທົນທານຄວາມຫນາ≤± 5%; ຄວາມສອດຄ່ອງພາຍໃນ wafer, wafer-to-wafer, ແລະຄວາມສອດຄ່ອງ batch-to-batch |
ຮັບປະກັນຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນທີ່ສອດຄ່ອງ, ສະຫນອງພື້ນຖານທາງດ້ານຮ່າງກາຍສໍາລັບການສ້າງແບບຈໍາລອງພາກສະຫນາມຄວາມຮ້ອນແລະການແຜ່ພັນຂອງຂະບວນການ |
|
ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງໂຄງສ້າງຈຸລະພາກ |
ການປ່ຽນແປງ batch-to-batch ຫນ້ອຍສຸດໃນຂະຫນາດເມັດພືດ, ທິດທາງ, ແລະຄວາມຫນາແຫນ້ນ |
ຮັກສາຄວາມຄົງຕົວຂອງຄຸນສົມບັດທາງຄວາມຮ້ອນຫຼັກ (ເຊັ່ນ: ການນໍາຄວາມຮ້ອນ ແລະການປ່ອຍອາຍພິດ), ການກໍາຈັດຕົວແປໃນພາກສະຫນາມຄວາມຮ້ອນແບບສຸ່ມທີ່ເກີດຈາກຄວາມແຕກຕ່າງຂອງໂຄງສ້າງຈຸນລະພາກ. |
|
ຄວາມບໍລິສຸດ batch-stable |
ຄວາມບໍ່ສະອາດທີ່ສໍາຄັນ (ເຊັ່ນ: Fe, Ni) ເກັບຮັກສາໄວ້ຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງໃນລະດັບຕ່ໍາສຸດສໍາລັບທຸກໆຊຸດ. |
ປ້ອງກັນການປ່ຽນແປງ doping ພື້ນຖານໂດຍບໍ່ໄດ້ຕັ້ງໃຈທີ່ເກີດຈາກການຜັນແປຂອງ impurity, ການຮັບປະກັນພາລາມິເຕີໄຟຟ້າທີ່ສອດຄ້ອງກັນ |
3.Data-driven ລະບົບການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບ
ການບັນລຸເປົ້າໝາຍຂ້າງເທິງແມ່ນຂຶ້ນກັບໂຄງຮ່າງການຜະລິດ ແລະ ການຄຸ້ມຄອງຄຸນນະພາບທີ່ທັນສະໄໝ:
4.ຜົນປະໂຫຍດທາງດ້ານເສດຖະກິດແລະມູນຄ່າອຸດສາຫະກໍາ
ຜົນກະທົບທາງດ້ານເສດຖະກິດຂອງເຕັກໂນໂລຊີການເຄືອບທີ່ຫມັ້ນຄົງ, ທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ແມ່ນໂດຍກົງແລະຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ:
5.ສະຫຼຸບ
ໃນສະພາບການອຸດສາຫະກໍາ, ການເຄືອບ tantalum carbide (TaC) ໄດ້ພັດທະນາຈາກ "ວັດສະດຸທີ່ເປັນປະໂຫຍດ" ໄປສູ່ "ເຕັກໂນໂລຢີຂະບວນການທີ່ສໍາຄັນ." ໂດຍການສະຫນອງເງື່ອນໄຂເຂດແດນຂອງລະບົບທີ່ມີຄວາມສອດຄ່ອງສູງ, ສາມາດຄາດເດົາໄດ້, ແລະຊ້ໍາກັນ, ການເຄືອບ TaC ຊ່ວຍປ່ຽນການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກ SiC PVT ຈາກຫັດຖະກໍາທີ່ມີປະສົບການໄປສູ່ຂະບວນການອຸດສາຫະກໍາທີ່ທັນສະໄຫມທີ່ສ້າງຂຶ້ນໃນການຄວບຄຸມທີ່ຊັດເຈນ. ຈາກການປົກປ້ອງການປົນເປື້ອນໄປສູ່ການເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງພາກສະຫນາມຄວາມຮ້ອນ, ຈາກຄວາມທົນທານໃນໄລຍະຍາວເຖິງຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງການຜະລິດມະຫາຊົນ, ການເຄືອບ TaC ສົ່ງມູນຄ່າໃນທົ່ວທຸກມິຕິ - ກາຍເປັນພື້ນຖານທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້ສໍາລັບອຸດສາຫະກໍາ SiC ເພື່ອຂະຫນາດທີ່ມີຄຸນນະພາບແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືສູງ. ສໍາລັບການແກ້ໄຂການເຄືອບທີ່ເຫມາະສົມກັບອຸປະກອນ PVT ຂອງທ່ານ, ທ່ານສາມາດສົ່ງການສອບຖາມຜ່ານເວັບໄຊທ໌ທາງການຂອງພວກເຮົາເພື່ອເຊື່ອມຕໍ່ໂດຍກົງກັບທີມງານດ້ານວິຊາການຂອງພວກເຮົາ.


+86-579-87223657


Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, ເມືອງ Jinhua, ແຂວງ Zhejiang, ຈີນ
ສະຫງວນລິຂະສິດ © 2024 WuYi TianYao Advanced Material Tech.Co.,Ltd. ສະຫງວນລິຂະສິດທັງໝົດ.
Links | Sitemap | RSS | XML | ນະໂຍບາຍຄວາມເປັນສ່ວນຕົວ |
