CVD TaC Coated Susceptor

ຄໍານິຍາມຜະລິດຕະພັນແລະອົງປະກອບ

VETEK CVD TaC Coated Susceptor ແມ່ນອົງປະກອບຂອງຜູ້ໃຫ້ບໍລິການ wafer ລະດັບສູງທີ່ໃຊ້ໂດຍສະເພາະສໍາລັບການປຸງແຕ່ງ semiconductor ຮຸ່ນທີສາມ (SiC, GaN, AlN) epitaxial. ຜະ​ລິດ​ຕະ​ພັນ​ນີ້​ລວມ​ເອົາ​ຄວາມ​ໄດ້​ປຽບ​ທາງ​ດ້ານ​ຮ່າງ​ກາຍ​ຂອງ​ສອງ​ອຸ​ປະ​ກອນ​ການ​ປະ​ສິດ​ທິ​ພາບ​ສູງ​:

ຊັ້ນຍ່ອຍ Graphite ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ: ນໍາໃຊ້ຂະບວນການ molding ກົດ isostatic ເພື່ອຮັບປະກັນ substrate ມີຄວາມເຂັ້ມແຂງໂຄງສ້າງທີ່ດີກວ່າ, ຄວາມຫນາແຫນ້ນສູງ, ແລະສະຖຽນລະພາບການປະມວນຜົນຄວາມຮ້ອນ.

ການເຄືອບ CVD TaC: ຊັ້ນປ້ອງກັນ Tantalum Carbide (TaC) ທີ່ມີຄວາມຫນາແຫນ້ນ, ບໍ່ມີຄວາມກົດດັນແມ່ນປູກຢູ່ເທິງພື້ນຜິວກຼາຟເຟດຜ່ານເທກໂນໂລຍີ Chemical Vapor Deposition (CVD).

ຂໍ້ໄດ້ປຽບທາງດ້ານເຕັກນິກຫຼັກ: ຄວາມສາມາດປັບຕົວກັບສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຮຸນແຮງພິເສດ

ໃນຂະບວນການ MOCVD, ການເຄືອບ TaC ບໍ່ພຽງແຕ່ເປັນຊັ້ນປ້ອງກັນທາງກາຍະພາບເທົ່ານັ້ນ, ແຕ່ຍັງເປັນຫຼັກເພື່ອໃຫ້ແນ່ໃຈວ່າຂະບວນການເຮັດຊ້ໍາອີກ:

ຄວາມທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງທີ່ສຸດ: TaC ມີຈຸດລະລາຍສູງເຖິງ 3880°C, ຮັກສາຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຮູບຮ່າງທີ່ດີເລີດເຖິງແມ່ນວ່າໃນຂະບວນການ epitaxial ອຸນຫະພູມສູງເກີນ 1600°C.

ທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນທີ່ດີເລີດ: ໃນສະພາບແວດລ້ອມການຫຼຸດຜ່ອນທີ່ເຂັ້ມແຂງທີ່ມີ NH₃(Ammonia) ຫຼື H₂(Hydrogen), ອັດຕາການກັດກ່ອນຂອງ TaC ແມ່ນຕໍ່າທີ່ສຸດ, ປ້ອງກັນການສູນເສຍຊັ້ນໃຕ້ດິນ ແລະ ການເກີດຝົນທີ່ບໍ່ສະອາດ.

ຮັບປະກັນຄວາມບໍລິສຸດສູງ: ຄວາມບໍລິສຸດຂອງການເຄືອບແມ່ນສູງເຖິງ 99.9995%. ໂຄງສ້າງທີ່ຫນາແຫນ້ນຂອງມັນປິດປະທັບຕາ micropores graphite ຢ່າງສົມບູນ, ໃຫ້ແນ່ໃຈວ່າຮູບເງົາ epitaxial ບັນລຸລະດັບ impurity ຕ່ໍາທີ່ສຸດ.

ການແຜ່ກະຈາຍພາກສະຫນາມຄວາມຮ້ອນທີ່ຊັດເຈນ: ເທກໂນໂລຍີການຄວບຄຸມການເຄືອບທີ່ດີທີ່ສຸດຂອງ VETEK ຮັບປະກັນຄວາມແຕກຕ່າງຂອງອຸນຫະພູມຫນ້າດິນຂອງ susceptor ຖືກຄວບຄຸມພາຍໃນ ± 2 ° C, ປັບປຸງຄວາມຫນາແຫນ້ນແລະຄວາມຍາວຂອງຄື້ນຂອງຊັ້ນ wafer epitaxial.

ຕົວກໍານົດການດ້ານວິຊາການ

ການເຄືອບ Tantalum carbide (TaC) ເທິງກ້ອງຈຸລະທັດ:

ຂົງເຂດຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຫຼັກ

SiC (Silicon Carbide) ການຂະຫຍາຍຕົວ epitaxial: ຮອງຮັບການຜະລິດອຸປະກອນໄຟຟ້າ SiC ຂະໜາດ 6 ນິ້ວ, 8 ນິ້ວ ແລະ ຂະໜາດໃຫຍ່ກວ່າ.

ອຸປະກອນທີ່ອີງໃສ່ GaN (Gallium Nitride).: ໃຊ້ໃນຂະບວນການ MOCVD ສໍາລັບ LEDs ຄວາມສະຫວ່າງສູງ, ອຸປະກອນພະລັງງານ HEMT, ແລະຊິບ RF.

AlN (ອາລູມິນຽມ nitride) ແລະ UVC ການຂະຫຍາຍຕົວ: ສະຫນອງການແກ້ໄຂຜູ້ໃຫ້ບໍລິການທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງທີ່ສຸດ (1400 ° C+) ສໍາລັບວັດສະດຸ bandgap ກວ້າງທີ່ສຸດເຊັ່ນ: Deep UV LEDs.

ສະຫນັບສະຫນູນການຄົ້ນຄວ້າທີ່ກໍາຫນົດເອງ: ປັບຕົວກັບຄວາມຕ້ອງການການປັບແຕ່ງຄວາມແມ່ນຍໍາຂອງສະຖາບັນຄົ້ນຄ້ວາສໍາລັບພາກສ່ວນທີ່ບໍ່ສະຫມໍ່າສະເຫມີແລະແຜ່ນຫຼາຍຮູ.

ຮູບແບບທີ່ເຂົ້າກັນໄດ້ ແລະການບໍລິການປັບແຕ່ງ

VETEK ມີຄວາມສາມາດໃນການປຸງແຕ່ງກົນຈັກທີ່ຊັດເຈນແລະການເຄືອບ, ປັບຕົວຢ່າງສົມບູນກັບອຸປະກອນ MOCVD ທົ່ວໂລກ:

AIXTRON: ສະ​ຫນັບ​ສະ​ຫນູນ​ແຜ່ນ rotation ດາວ​ຕ່າງໆ​ແລະ​ຖານ​.

ວີໂກ: ຮອງຮັບ K465i, Propel, ແລະຊຸດ susceptor ແນວຕັ້ງອື່ນໆ.

AMEC ແລະອື່ນໆ: ສະຫນອງພາກສ່ວນການທົດແທນທີ່ເຂົ້າກັນໄດ້ຢ່າງເຕັມສ່ວນຫຼືການແກ້ໄຂການປັບປຸງ.