ການນໍາໃຊ້ສ່ວນປະກອບ quartz ໃນອຸປະກອນ semiconductor

ຜະລິດຕະພັນ Quartzຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຂະບວນການຜະລິດ semiconductor ເນື່ອງຈາກຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງ, ແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງທາງເຄມີທີ່ເຂັ້ມແຂງ.

1. ຊາກ cruciblez

ໃບສະຫມັກ - ມັນຖືກໃຊ້ສໍາລັບການແຕ້ມຮູບ silicon rods monocrystalline ແລະເປັນແກນທີ່ສາມາດທີ່ສາມາດບໍລິໂພກໄດ້ໃນການຜະລິດຊິລິໂຄນ.

crucibles quartzແມ່ນເຮັດດ້ວຍດິນຊາຍທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ (ຊັ້ນ 4N8 ແລະສູງກວ່າ) ເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນການປົນເປື້ອນໂດຍຄວາມບໍ່ສະອາດໂລຫະ. ມັນຄວນຈະມີສະຖຽນລະພາບສູງ (ຈຸດລະລາຍ> 1700 ° C) ແລະຕົວຄູນຕ່ໍາຂອງການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ. Quartz Crucibles ໃນພາກສະຫນາມ semiconductor ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ສໍາລັບການຜະລິດໄປເຊຍກັນ Silicon Silveral. ພວກມັນແມ່ນພາຊະນະທີ່ໃຊ້ໃນການຈັດສັນ quartzable ສໍາລັບການໂຫຼດວັດຖຸດິບຊິລິໂຄນ policon ແລະສາມາດແບ່ງອອກເປັນຮຽບຮ້ອຍແລະຮອບ. ຮຽບຮ້ອຍແມ່ນໃຊ້ສໍາລັບການຫລໍ່ຂອງ Policcrystalline Silicon Ingts, ໃນເວລາທີ່ມີຮອບແມ່ນໃຊ້ສໍາລັບການແຕ້ມຮູບ rods Silicon Monocrystalline. ມັນສາມາດທົນກັບອຸນຫະພູມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງແລະຮັກສາສະຖຽນລະພາບທາງເຄມີ, ຮັບປະກັນຄວາມບໍລິສຸດແລະຄຸນນະພາບຂອງໄປເຊຍກັນ Silicon Silverals.

2. ທໍ່ເຕົາໄຟ Quartz

ທໍ່ quartzຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ເນື່ອງຈາກຄວາມຕ້ານທານຂອງພວກມັນສູງ (ຄວາມບໍລິສຸດຂອງການເຮັດຄວາມເປັນຈິງ) ສະຖານະການທີ່ແນ່ນອນແມ່ນສຸມໃສ່ການເຊື່ອມຕໍ່ຂະບວນການຫຼາຍທີ່ສໍາຄັນຂອງການຜະລິດ Wafer.

ການເຊື່ອມຕໍ່ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຕົ້ນຕໍ:ການແຜ່ກະຈາຍ, ການຜຸພັງ, CVD (ເງິນຝາກ vapor ເຄມີ)

ຈຸດປະສົງ:

• ທໍ່ບິດ: ໃຊ້ໃນຂັ້ນຕອນການແຜ່ກະຈາຍອຸນຫະພູມສູງ, ມັນເອົາດອກຊິລິໂຄນເຂົ້າຫນົມປັງສໍາລັບ doping.
• ເຕົາໄຟ: ສະຫນັບສະຫນູນເຮືອ quartz ໃນເຕົາງົວທີ່ຜຸພັງສໍາລັບການປິ່ນປົວຜຸພັງສູງ.

ຄຸນນະສົມບັດ:

ມັນຕ້ອງຕອບສະຫນອງຄວາມຮຽກຮ້ອງຕ້ອງການຂອງຄວາມບໍລິສຸດສູງ (ion ໂລຫະ ionppm) ແລະຄວາມຕ້ານທານໃນການເຮັດໃຫ້ມີຄວາມຜິດປົກກະຕິສູງ (ສູງກວ່າ 1200 ° C).

3. ເຮືອ Quartz Crystal Crystal

ອີງຕາມອຸປະກອນທີ່ແຕກຕ່າງກັນ, ມັນແບ່ງອອກເປັນແນວຕັ້ງແລະແນວນອນ. ອີງຕາມສາຍການຜະລິດທີ່ແຕກຕ່າງກັນ, ລະດັບຂະຫນາດແມ່ນ 4 ເຖິງ 12 ນີ້ວ. ໃນການຜະລິດ semiconductor ICS,ເຮືອ Crystal Quartzສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ໃນຂະບວນການໂອນ Gerfer, ທໍາຄວາມສະອາດແລະການປຸງແຕ່ງ. ໃນຖານະເປັນຜູ້ຂົນສົ່ງທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງແລະທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງທີ່ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມ, ພວກມັນມີບົດບາດທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້. ໃນຂັ້ນຕອນການແຜ່ກະຈາຍຫຼືການຜຸພັງຂອງທໍ່ເຕົາໄຟ, ເຄື່ອງປັ່ນປ່ວນຫຼາຍບ່ອນຖືກຈັດໃສ່ໃນເຮືອຂ້າມຫລີກລ່ຽງຢູ່ໃນກະດານຈອດລົດແລະຫຼັງຈາກນັ້ນຍູ້ເຂົ້າໄປໃນທໍ່ເຕົາໄຟສໍາລັບການຜະລິດ batch.

ເຄື່ອງສັກໃນ semiconductors ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ໃນການຂົນສົ່ງວັດສະດຸອາຍແກັສຫຼືທາດແຫຼວແລະນໍາໃຊ້ໃນການເຊື່ອມຕໍ່ຂະບວນການສໍາຄັນເຊັ່ນ: ການຝາກຫນັງບາງໆ, etching, ແລະ dopting.

ໃນຂະບວນການເຮັດຄວາມສະອາດຂອງ silicon transistor ແລະການຜະລິດວົງຈອນທີ່ປະສົມປະສານ, ມັນຕ້ອງມີອາຊິດແລະທົນທານຕໍ່ຄວາມທົນທານຕໍ່ການເຮັດໃຫ້ແສງຊິລິໂຄນບໍ່ໄດ້ປົນເປື້ອນໃນລະຫວ່າງຂັ້ນຕອນການເຮັດຄວາມສະອາດ.

6. ເສັ້ນທາງ quartz, ແຫວນ quartz, ຈຸດສໍາຄັນ, ແລະອື່ນໆ

ມັນຖືກນໍາໃຊ້ໃນຂະບວນການ etiching semiconductor, ປະສົມປະສານກັບຜະລິດຕະພັນອື່ນໆທີ່ປະສົມປະສານກັບຢູ່ຕາມໂກນ, ປ້ອງກັນປະເພດຕ່າງໆຂອງຂະບວນການຜະລິດໃນລະຫວ່າງຂັ້ນຕອນການຜະລິດໃນລະຫວ່າງການປ້ອງກັນ.

ກະປ rapon ອງລະຄັງແມ່ນສ່ວນປະກອບສໍາຄັນທີ່ໃຊ້ໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor, ມີຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງ, ແລະການປ້ອງກັນການຫຼຸດລົງຂອງ Quartz. ໃນການຜະລິດ polysiliconon, trichlorosilane ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງປະສົມກັບ hydrogen ໃນອັດຕາສ່ວນທີ່ມີການຫຼຸດລົງທີ່ມີການປົກຫຸ້ມຂອງ silicon core ເພື່ອຝາກແລະປະກອບ polysilicon.

8. ຖັງທໍາຄວາມສະອາດປຽກຊຸ່ມ

ຂັ້ນຕອນຂອງການສະຫມັກ: ການເຮັດຄວາມສະອາດຊຸ່ມຂອງດອກໄຟຊິລິໂຄນ

ການນໍາໃຊ້: ມັນຖືກໃຊ້ສໍາລັບການລ້າງກົດ (hf, h₂so₄, ແລະອື່ນໆ) ແລະການເຮັດຄວາມສະອາດ ultrasonic.

ຄຸນນະສົມບັດ: ຄວາມຫມັ້ນຄົງທາງເຄມີທີ່ເຂັ້ມແຂງແລະຕ້ານທານກັບການກັດກ່ອນອາຊິດທີ່ແຂງແຮງ.

9. ຂວດເກັບທາດແຫຼວ Quartz

ກະຕຸກເກັບນ້ໍາສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ສໍາລັບເກັບແຫຼວທີ່ເສຍຫຼືເປັນແຫຼວທີ່ຍັງເຫຼືອໃນຂະບວນການເຮັດຄວາມສະອາດຊຸ່ມ

ໃນລະຫວ່າງຂັ້ນຕອນການເຮັດຄວາມສະອາດທີ່ປຽກ (ເຊັ່ນ: ການທໍາຄວາມສະອາດ RCA, SC1 / Sc2 / ຫຼັງຈາກການຫົດຫູ່, ແລະຫຼັງຈາກທີ່ແຫຼວທີ່ຍັງເຫຼືອ, ມີທາດແຫຼວທີ່ເຫຼືອຢູ່ໃນຄວາມບໍ່ສະອາດຈະຖືກຜະລິດ. ຫຼັງຈາກບາງຂະບວນການເຄືອບ (ເຊັ່ນ: ການເຄືອບຂອງຊ່າງຖ່າຍຮູບ), ມັນກໍ່ຈະມີທາດແຫຼວເກີນໄປ (ເຊັ່ນວ່າແຫຼວຂີ້ເຫຍື່ອ) ທີ່ຕ້ອງການເກັບເອົາ.

ຫນ້າທີ່ເກັບຮັກສາຂວດສະພາບຂອງແຫຼວທີ່ໃຊ້ໄດ້ຢ່າງໃກ້ຊິດຫຼືໂດຍສະເພາະໃນຂັ້ນຕອນການປ້ອງກັນຂອງ Wafer) ການປົນເປື້ອນຕ່ໍາຂອງຂວດ quartz ສາມາດປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ແຫຼວທີ່ເຫລືອຢູ່ໃນການຟື້ນຟູຄືນໃຫມ່, ເຊິ່ງເປັນການກວດສອບທີ່ດີ (ເຊັ່ນ: ການວິເຄາະເນື້ອຫາທີ່ມີຄວາມລະອຽດໃນທາດແຫຼວທີ່ເຫລືອຢູ່).

ນອກຈາກນັ້ນ, ຫນ້າກາກ quartz ທີ່ເຮັດດ້ວຍວັດສະດຸ Quartz Synthetic ແມ່ນໃຊ້ໃນຮູບຖ່າຍເປັນ "negatives" ຂອງເຄື່ອງຖ່າຍຮູບແບບສໍາລັບການໂອນຮູບແບບ. ແລະ oscillators ໄປເຊຍກັນທີ່ໃຊ້ໃນການຝາກຫນັງບາງໆ (PVD, SVD, STVD) ເພື່ອຕິດຕາມຄວາມຫນາຂອງຮູບເງົາບາງໆແລະຮັບປະກັນຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງການຝາກ, ໃນບັນດາບົດຄວາມອື່ນໆ.

ໃນການສະຫລຸບ, ຜະລິດຕະພັນ Quartz ແມ່ນເກືອບປະຈຸບັນຢູ່ທົ່ວຂະບວນການຜະລິດ semiconductor ທັງຫມົດ (ແລະການຝາກຮູບເງົາ) ດ້ວຍວິວັດທະນາການຂອງຂະບວນການ semiconductor, ຄວາມຕ້ອງການຂອງຄວາມບໍລິສຸດ, ຄວາມສ່ຽງຂອງອຸນຫະພູມແລະຄວາມຖືກຕ້ອງມິຕິຂອງວັດສະດຸ Quartz ຈະໄດ້ຮັບການປັບປຸງຕື່ມອີກ.