ວົງແຫວນທີ່ເຄືອບ SiC furnace

ໃນ furnaces ຕັ້ງ, ການນໍາໃຊ້ວົງ SiC ເຄືອບເປັນການແກ້ໄຂທົ່ວໄປ, ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ໃນຂະບວນການຮັກສາຄວາມຮ້ອນຂອງອຸນຫະພູມສູງ.wafers semiconductor. ແຫວນເຄືອບ SICE ທີ່ມີຂະຫນາດສູງ, ສ່ວນປະກອບທີ່ທົນທານສູງ, ມີສ່ວນປະກອບທົນທານສູງທີ່ໃຊ້ໃນການສະຫນັບສະຫນູນຫລືປົກປ້ອງເຄື່ອງເຮັດຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງຂະບວນການ.

ຫນ້າທີ່ຂອງເຕົາໄຟແນວຕັ້ງ SiC ວົງການເຄືອບ

● ຫນ້າທີ່

ບົດບາດສະໜັບສະໜູນ. ໃຊ້ເພື່ອສະຫນັບສະຫນູນ wafers ເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະຕໍາແຫນ່ງທີ່ຖືກຕ້ອງໃນ furnaces ອຸນຫະພູມສູງ.

●  ການປ້ອງກັນການກັດກ່ອນ

ປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ອາຍແກັສ corrosive ຫຼືສານເຄມີຈາກການ corroding ວັດສະດຸພື້ນຖານ.

●  ຫຼຸດຜ່ອນມົນລະພິດ

ການເຄືອບ SiC ຄວາມບໍລິສຸດສູງສາມາດປ້ອງກັນການຫຼົ່ນລົງຂອງອະນຸພາກແລະການປົນເປື້ອນຂອງ impurity ເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມສະອາດຂອງຂະບວນການ.

●  ຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງ

ຮັກສາຄຸນສົມບັດກົນຈັກທີ່ດີເລີດແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງມິຕິລະດັບໃນສະພາບແວດລ້ອມອຸນຫະພູມສູງ (ປົກກະຕິແລ້ວເກີນ 1000 ° C).

ຄຸນນະສົມບັດຂອງວົງແຫວນ SiC ເຄືອບ Furnace ຕັ້ງ

●  ແຂງແລະແຂງແຮງສູງ

ວັດສະດຸ SiC ມີຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກທີ່ດີເລີດແລະສາມາດທົນທານຕໍ່ຄວາມກົດດັນຂອງອຸນຫະພູມສູງໃນ furnace.

●  ສະຖຽນລະພາບຄວາມຮ້ອນທີ່ດີ

ການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງຂອງ SiC ແລະຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຕ່ໍາຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນຄວາມກົດດັນຄວາມຮ້ອນ.

●  ຄວາມຫມັ້ນຄົງທາງເຄມີທີ່ເຂັ້ມແຂງ

ການເຄືອບ SIC ສາມາດຕ້ານທານການກັດກ່ອນໃນການຜຸພັງ, ສະພາບແວດລ້ອມທີ່ເປັນກົດຫຼືເປັນດ່າງ.

●  ການປົນເປື້ອນອະນຸພາກຕ່ໍາ

ພື້ນຜິວທີ່ລຽບງ່າຍຫຼຸດຜ່ອນຄວາມເປັນໄປໄດ້ຂອງການຜະລິດອະນຸພາກ, ເຊິ່ງໂດຍສະເພາະແມ່ນເຫມາະສົມສໍາລັບສະພາບແວດລ້ອມທີ່ສະອາດຂອງການຜະລິດ semiconductor.

ໃຊ້ສໍາລັບການແຜ່ກະຈາຍ, ການຜຸພັງ, annealing ແລະຂະບວນການອື່ນໆໃນເຕົາໄຟຕັ້ງເພື່ອສະຫນັບສະຫນູນການປົນເປື້ອນ siluicon ແລະປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນຂອງສ່ວນສໍາລັບການຮັກສາຄວາມຮ້ອນ.

ການຜະລິດວັດສະດຸແລະຂະບວນການ

●   Substrate: ຜະລິດຈາກກາຟ SGL ຄຸນນະພາບສູງ, ຮັບປະກັນຄຸນນະພາບ.

ການເຄືອບ: Silicon Carbide Corbide ຖືກນໍາໃຊ້ກັບພື້ນທີ່ Graphite ໂດຍການຝາກເງິນສານເຄມີ (CVD).

●ຄວາມຫນາຂອງການເຄືອບແມ່ນປົກກະຕິແລ້ວລະຫວ່າງ 50 ~ 500μm, ເຊິ່ງປັບຕາມຄວາມຕ້ອງການຂອງການນໍາໃຊ້.

ants ການເຄືອບ vapor ຂອງສານເຄມີມີຄວາມບໍລິສຸດແລະຄວາມຫນາແຫນ້ນແລະຄວາມທົນທານທີ່ດີກວ່າ.

ເລືອກທີ່ເຫມາະສົມການເຄືອບ SUICແຫວນຕາມເສັ້ນຜ່າສູນກາງຂອງຊິລິໂຄນ Wafer ໃນເຕົາໄຟແລະສະເພາະຂອງຜູ້ຂົນສົ່ງ. ພວກເຮົາສາມາດປັບແຕ່ງມັນໃຫ້ທ່ານ. ຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ການເຄືອບທີ່ຫນາແຫນ້ນແມ່ນທົນທານກວ່າແລະມີມົນລະພິດຫຼາຍຂື້ນ.

ໃນຖານະທີ່ເປັນມືອາຊີບ Vertical Furnace SiC ຜູ້ຜະລິດວົງແຫວນເຄືອບແລະຜູ້ຜະລິດໃນປະເທດຈີນ, VeTek Semiconductor ໄດ້ມຸ່ງຫມັ້ນມາດົນນານໃນການສະຫນອງເຕັກໂນໂລຢີ Vertical Furnace ຂັ້ນສູງແລະການແກ້ໄຂຜະລິດຕະພັນສໍາລັບອຸດສາຫະກໍາ semiconductor. ພວກເຮົາຫວັງຢ່າງຈິງໃຈທີ່ຈະກາຍມາເປັນຄູ່ຮ່ວມມືໄລຍະຍາວຂອງທ່ານໃນປະເທດຈີນ.

ໂຄງປະກອບ CVD SIC

ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບພື້ນຖານຂອງການເຄືອບ CVD SiC

VeTek SemiconductorVertical Furnace SiC coated Ring Shops: