Underaker Epi Graphite ດຽວ

ລາຍລະອຽດ:

ໂຄງສ້າງຂອງໂປແກຼມ Graphite PROYS TRANY STRAME ແລະອຸປະກອນ Vapor Carbide Corbide Corbide Carbide Corbide Corbide Corbide Corbide Corbide Corbide Corbide Corbide Corbide Corbide Corbide Corbide Corbide Corbide ມັນແມ່ນສ່ວນປະກອບທີ່ເປັນປະໂຫຍດຫຼັກຂອງເອກະສານທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງໃນການຜະລິດມະຫາຊົນ.

ນະວັດຕະກໍາດ້ານອຸປະກອນ: Graphite + Coating SIC

ພະຍາແຖ

●ການປະຕິບັດຄວາມຮ້ອນທີ່ສຸດ (> 130 w / m · k), ການຕອບໂຕ້ຢ່າງໄວວາຕໍ່ຄວາມຕ້ອງການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມ, ເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການ.

●ຂະຫຍາຍຕົວຈິງທີ່ມີຄວາມຮ້ອນຕ່ໍາ (CTE: 4.6 ×10⁻⁶ / ° C), ຫຼຸດຜ່ອນການເຮັດໃຫ້ແຂງແຮງທີ່ເສື່ອມໂຊມ, ຊີວິດການໃຫ້ບໍລິການດ້ານການບໍລິການ.

ເຄືອບ CVD SIC

● ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ. ຕ້ານການໂຈມຕີໂດຍທາດອາຍຜິດທີ່ມີປະຕິກິລິຍາເຊັ່ນ: h₂, hcl, ແລະsih₄. ມັນຫລີກລ້ຽງການປົນເປື້ອນຂອງຊັ້ນຂອງ apitaxial ໂດຍການຫມູນວຽນຂອງວັດສະດຸພື້ນຖານ.

● ຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງພື້ນຜິວPorosity Coating ແມ່ນຫນ້ອຍກ່ວາ 0.1%, ເຊິ່ງປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ການຕິດຕໍ່ລະຫວ່າງ Graphite ແລະ Wafer ແລະປ້ອງກັນຄວາມບໍ່ສະອາດຂອງກາກບອນ.

● ຄວາມອົດທົນສູງ: ການເຮັດວຽກໃນໄລຍະຍາວໃນສະພາບແວດລ້ອມເຫນືອ 1600 ° C, ປັບຕົວເຂົ້າກັບຄວາມຕ້ອງການສູງຂອງ SIC SIC.

ພາກສະຫນາມຄວາມຮ້ອນແລະການອອກແບບການເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງອາກາດ

ໂຄງສ້າງລັງສີຄວາມຮ້ອນທີ່ເປັນເອກະພາບ

ດ້ານ SusCeptor ໄດ້ຖືກອອກແບບດ້ວຍລະບົບການສະທ້ອນຄວາມຮ້ອນທີ່ຫຼາກຫຼາຍ, ແລະ werfamal ການປ້ອງກັນຄວາມຮ້ອນຂອງອຸປະກອນຮ້ອນພາຍໃນຄວາມຫນາແລະຄວາມບໍ່ເປັນເອກະພາບຂອງຄວາມຫນາຊັ້ນໃນຊັ້ນສູງ (ການເຫນັງຕີງຂອງຄວາມຫນາ (ການເຫນັງຕີງ <3%).

ເຕັກນິກການຊີ້ນໍາທາງອາກາດ

ບັນດາຖັນທີ່ມີຄວາມຫລາກຫລາຍແລະຖັນທີ່ສະຫນັບສະຫນູນທີ່ມີຄວາມຫຼາກຫຼາຍແມ່ນຖືກອອກແບບເພື່ອເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງອາຍແກັສທີ່ມີຄວາມແຕກຕ່າງກັນໃນອັດຕາການຝາກເງິນທີ່ເກີດຈາກກະແສໄຟຟ້າ, ແລະປັບປຸງຄວາມເປັນໄປໄດ້.