ເຮືອ Graphite ສໍາລັບ pecvd

ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ: ເຮືອຮູບພາບ veteksemicon ສໍາລັບ Pecvd ແມ່ນສ່ວນປະກອບຫຼັກໃນຂະບວນການຝາກເງິນສານເຄມີທີ່ມີຂະຫຍາຍ. ມັນໄດ້ຖືກອອກແບບສະເພາະສໍາລັບການຝາກທາດນ່ານilideທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ ຜົນງານຂອງມັນກໍານົດໂດຍກົງໃນການກໍານົດຮູບເງົາເອກະພາບຮູບເງົາ, ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງການດໍາເນີນງານແລະການຜະລິດ.

ການບໍລິການທີ່ສາມາດສະຫນອງໃຫ້ໄດ້: ສະຖານະການການນໍາໃຊ້ຂອງລູກຄ້າ,, ອຸປະກອນການຈັບຄູ່, ການແກ້ໄຂບັນຫາເຕັກນິກ.

ຂໍ້ມູນບໍລິສັດ: Veteksemicon ມີ 2 ຫ້ອງທົດລອງ, ທີມງານຊ່ຽວຊານທີ່ມີປະສົບການດ້ານວັດຖຸ 20 ປີ, ດ້ວຍ R & D ແລະຄວາມສາມາດໃນການທົດສອບ.

ຂໍ້ມູນກ່ຽວກັບຜະລິດຕະພັນທົ່ວໄປ

ເງື່ອນໄຂທຸລະກິດຂອງຜະລິດຕະພັນ

ຂົງເຂດຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຕົ້ນຕໍ

ເຮືອຮູບພາບ veteksemicon ສໍາລັບຂໍ້ໄດ້ປຽບ CECVD COE

1. ຊັ້ນໃຕ້ດິນທີ່ມີຄວາມທ່ຽງດີສູງ, ຄວບຄຸມມົນລະພິດຈາກແຫຼ່ງ

ພວກເຮົາຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີການນໍາໃຊ້ຮູບພາບທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດໃນການເຮັດວຽກທີ່ແນ່ນອນ. ຄວາມຕ້ອງການດ້ານວັດຖຸທີ່ເຂັ້ມງວດນີ້ສາມາດຫຼີກລ່ຽງການເຊື່ອມໂຊມຂອງ wafer ໂດຍກົງທີ່ເກີດຈາກການປົນເປື້ອນບັນທຸກ, ໃຫ້ການຮັບປະກັນພື້ນຖານທີ່ສຸດສໍາລັບການຝາກຮູບເງົາຊິລິໂຄນທີ່ມີຄຸນນະພາບຫຼືຊິລິໂຄນທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ.

2. . ພາກສະຫນາມຄວາມຮ້ອນທີ່ຊັດເຈນແລະການອອກແບບໂຄງສ້າງເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງຂະບວນການ

ໂດຍຜ່ານການຈໍາລອງຂອງແຫຼວທີ່ກວ້າງຂວາງແລະປະມວນຜົນຂໍ້ມູນການວັດແທກ, ພວກເຮົາໄດ້ເພີ່ມປະສິດທິພາບມຸມໂມ້ເຮືອ, ນໍາພາຄວາມເລິກຂອງຮ່ອງ, ແລະເສັ້ນທາງການໄຫຼຂອງແກ group. ການພິຈາລະນາໂຄງສ້າງແບບທີ່ຄ່ອງແຄ້ວນີ້ຊ່ວຍໃຫ້ເປັນເອກະພາບການແຈກຢາຍທາດອາຍຜິດທີ່ມີປະຕິກິລິຍາລະຫວ່າງການ wafers. ການວັດແທກຕົວຈິງສະແດງໃຫ້ເຫັນວ່າໃນເວລາໂຫຼດເຕັມ, ຄວາມແຕກຕ່າງຂອງຮູບເງົາລະຫວ່າງ wafers ໃນ± 1.5%, ການປັບປຸງຜົນຜະລິດຂອງຜະລິດຕະພັນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.

3. ວິທີແກ້ໄຂເຄືອບທີ່ກໍາຫນົດເອງເພື່ອແກ້ໄຂການກັດກ່ອນຂະບວນການສະເພາະ

ເພື່ອຕອບສະຫນອງສະພາບແວດລ້ອມອາຍແກັສທີ່ແຕກຕ່າງກັນຂອງລູກຄ້າທີ່ແຕກຕ່າງກັນ, ພວກເຮົາສະເຫນີສອງຕົວເລືອກການເຄືອບທີ່ແກ່: ກາກບອນ pyrolytic ແລະ carbide carbide. ຖ້າທ່ານກໍາລັງຝາກເງິນຊິລິໂຄນໄນໂຕຣ໌ແລະນໍາໃຊ້ການເຮັດຄວາມສະອາດຂອງໄຮໂດເຈນ, ການເຄືອບກາກບອນທີ່ຫນາແຫນ້ນສາມາດຕ້ານທານກັບການເຊາະເຈື່ອນຂອງ hydrogen. ຖ້າຂະບວນການຂອງທ່ານກ່ຽວຂ້ອງກັບທາດອາຍພິດທີ່ມີຄວາມຄ່ອງແຄ້ວ, ຫຼັງຈາກນັ້ນການເຄືອບ corbide ທີ່ມີຄວາມແຂງກະດ້າງສູງແມ່ນເປັນທາງເລືອກທີ່ດີກວ່າ. ມັນສາມາດຂະຫຍາຍຊີວິດການບໍລິການຂອງເຮືອ Graphite ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຖືກກັກຂັງເປັນເວລາຫຼາຍກວ່າສາມເທົ່າຂອງຜະລິດຕະພັນທີ່ບໍ່ມີປະໂຫຍດ.

4. ສະຖຽນລະພາບຊ shock ອກຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ, ສາມາດປັບຕົວໄດ້ກັບຮອບວຽນອຸນຫະພູມເລື້ອຍໆ

ຂໍຂອບໃຈກັບສູດ Ribula ທີ່ເປັນເອກະລັກສະເພາະຂອງພວກເຮົາ, ເຮືອສາມາດສ້າງຄວາມເຢັນແລະເຮັດໃຫ້ຄວາມເຢັນຊ້ໍາຊ້ໍາຊ້ໍາຊ້ໍາຊ້ໍາຊ້ໍາຊ້ໍາຂອງຂະບວນການ pecvd. ໃນການທົດສອບຫ້ອງທົດລອງທີ່ເຂັ້ມງວດ, ຜ່ານອິນເຕີເນັດທີ່ມີຄວາມຮ້ອນ 500 ຫນ່ວຍຈາກອຸນຫະພູມໃນຫ້ອງທີ່ມີຄວາມໄວສູງເຖິງ 90%, ໂດຍຫຼີກລ່ຽງຄວາມເຄັ່ງຕຶງທີ່ເກີດຈາກຄວາມກົດດັນແລະຄວາມປອດໄພດ້ານການຜະລິດ.

.. ການຮັບຮອງການກວດສອບລະບົບຕ່ອງໂສ້ລະບົບຕ່ອງໂສ້

ເຮືອ GrandEksemicon Graphite ສໍາລັບການຢັ້ງຢືນລະບົບນິເວດວິທະຍາ Pecvd Covers ວັດຖຸດິບເປັນເອກະສານ, ແລະມີຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືແລະຄວາມຍືນຍົງໃນເຂດພະລັງງານແລະພື້ນທີ່ພະລັງງານໃຫມ່.

ສໍາລັບເອກະສານດ້ານເຕັກນິກລາຍລະອຽດ, ເອກະສານສີຂາວ, ຫຼືການຈັດການທົດສອບຕົວຢ່າງ, ກະລຸນາຕິດຕໍ່ທີມງານສະຫນັບສະຫນູນດ້ານເຕັກນິກຂອງພວກເຮົາເພື່ອຄົ້ນຫາວິທີການທີ່ມີປະສິດທິພາບຂອງຂະບວນການຂອງທ່ານ.