ການສະຫນັບສະຫນູນການເຄືອບ Carbide Carbide

ຫນ້າທີ່ຕົ້ນຕໍຂອງ semiconductor vetektantalum carbide (TAC) ການເຄືອບການສະຫນັບສະຫນູນແມ່ນການປັບປຸງຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນ, ການຕໍ່ຕ້ານການຕໍ່ຕ້ານແລະຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນຂອງ substrate ໂດຍການເຄືອບຊັ້ນຂອງ corbide carbide, ເພື່ອປັບປຸງຄວາມຖືກຕ້ອງແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງຂະບວນການແລະຂະຫຍາຍຊີວິດການບໍລິການຂອງສ່ວນປະກອບຕ່າງໆ. ມັນແມ່ນຜະລິດຕະພັນເຄືອບທີ່ມີປະສິດຕິພາບສູງທີ່ໃຊ້ໃນການປຸງແຕ່ງ semiconductor.

ຜູ້ສະຫນັບສະຫນູນ Corbide Carbide ຂອງ VetEnenductor ມີຄວາມແຂງແກ່ນຂອງ Mohs ເກືອບ 9 ~ 10, ອັນດັບສອງເທົ່ານັ້ນກັບເພັດ. ມັນມີຄວາມຕ້ານທານສວມໃສ່ທີ່ສຸດແລະສາມາດຕ້ານທານກັບການສວມໃສ່ດ້ານແລະຜົນກະທົບຢ່າງມີປະສິດຕິຜົນໃນລະຫວ່າງການປຸງແຕ່ງ, ເຮັດໃຫ້ຊີວິດການບໍລິການດ້ານການບໍລິການ. ປະສົມປະສານກັບຈຸດລະລາຍສູງຂອງມັນປະມານ 3880 ° C, ອຸປະກອນບໍາລຸງຮັກສາທີ່ມີຄວາມຮ້ອນ, gaskets ໃນ semiconductor ອຸປະກອນແລະຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງ.

ເນື່ອງຈາກຈຸດລະລາຍສູງທີ່ສຸດຂອງ tantalum carbide ປະມານ 3880 ° C, ໃນຂະບວນການປຸງແຕ່ງ semiconductor ເຊັ່ນເງິນຝາກ Vapor ທາງເຄມີ (CVD)ແລະການຝາກເງິນທາງກາຍະພາບທາງດ້ານຮ່າງກາຍ (PVD), ການເຄືອບ tac ທີ່ມີຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງແລະຄວາມຕ້ານທານທາງເຄມີສາມາດປົກປັກຮັກສາສ່ວນປະກອບຂອງອຸປະກອນໄດ້, ໃຫ້ມີການປົກປ້ອງທີ່ມີປະສິດຕິຜົນໃນການຜະລິດອຸນຫະພູມສູງໃນການຜະລິດ wafer. ຄຸນລັກສະນະນີ້ຍັງກໍານົດວ່າການສະຫນັບສະຫນູນການເຄືອບ carbide carbide ຂອງສຸຂະພາບຂອງວິຊາຊີບມັກຈະຖືກນໍາໃຊ້ໃນຂະບວນການ etching ແລະ corrosive.

ການສະຫນັບສະຫນູນການເຄືອບ Carbide Carbide ຍັງມີຫນ້າທີ່ຂອງການຫຼຸດຜ່ອນການປົນເປື້ອນຂອງສ່ວນ. ໃນລະຫວ່າງການປະມວນຜົນ wafer, ການສວມໃສ່ດ້ານຫນ້າປົກກະຕິແລ້ວຈະເຮັດໃຫ້ມີການປົນເປື້ອນ, ເຊິ່ງມີຜົນກະທົບຕໍ່ຄຸນນະພາບຂອງຜະລິດຕະພັນຂອງ Wafer. ຄຸນລັກສະນະຜະລິດຕະພັນ Tac ຂອງທີ່ສຸດຂອງຄວາມແຂງກະດ້າງສູງເຖິງ 9-10 Mohs ສາມາດຫຼຸດຜ່ອນການໃສ່ຊຸດນີ້, ເຮັດໃຫ້ການຫຼຸດຜ່ອນສ່ວນປະກອບຂອງອະນຸພາກ. ປະສົມປະສານກັບຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດຂອງ Coating ຂອງ Coating (ປະມານ 21 W / M ·ຄຸ້ນເຄີຍກັບພາຍໃຕ້ສະພາບອຸນຫະພູມສູງ, ເຮັດໃຫ້ມີຄວາມສອດຄ່ອງຂອງການຜະລິດ wafer.

ຜະລິດຕະພັນເຄືອບ TAC Main Semetonductor ຂອງ VetEnGenductor ປະກອບມີເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນແບບ TAC, CVD TAC CATCIRE CIVCIRE, ການເຄືອບ tac cating susceptorແລະອາໄຫຼ່ເຄືອບ TAC, ແລະອື່ນໆ, ແລະສະຫນັບສະຫນູນການບໍລິການຜະລິດຕະພັນທີ່ກໍາຫນົດເອງ. semicondor ຂອງ vetek ແມ່ນມຸ້ງຫມັ້ນທີ່ຈະໃຫ້ຜະລິດຕະພັນທີ່ດີເລີດແລະວິທີແກ້ໄຂເຕັກນິກສໍາລັບອຸດສາຫະກໍາ semiconductor. ພວກເຮົາຫວັງຢ່າງຈິງໃຈທີ່ຈະກາຍເປັນຄູ່ຮ່ວມງານໄລຍະຍາວຂອງທ່ານໃນປະເທດຈີນ.

tantalum carbide (TAC) ການເຄືອບໃນສ່ວນກາເຟທີ່ມີກ້ອງຈຸລະທັດ:

ຄຸນລັກສະນະທາງກາຍະພາບຂັ້ນພື້ນຖານຂອງ CVD TAC CATING：