ການເຄືອບ tac cating susceptor

ການເຄືອບແບບຫມູນວຽນຂອງ Vetemonductor Tac ທີ່ມີຄວາມຊຸ່ມຊື່ນແມ່ນສ່ວນປະກອບສໍາຄັນສໍາລັບການຈັດການກັບການດໍາເນີນການປຸງແຕ່ງ semiconductor. ຂອງມັນTAC ຫຍັງຂອງພວກເຮົາມີຄວາມທົນທານສູງອຸນຫະພູມທີ່ດີເລີດ (ຈຸດທີ່ລະລາຍເຖິງ 3880 °ເຖິງ 3880 ° C), ຄວາມຫມັ້ນຄົງທາງເຄມີແລະຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນແລະມີຄຸນນະພາບສູງໃນການປະມວນຜົນ

ການເຄືອບ tac ການຫມູນວຽນຂອງການຫມູນວຽນ (ການເຄືອບກາກບອນຫມູນວຽນ) ແມ່ນສ່ວນປະກອບຂອງອຸປະກອນທີ່ສໍາຄັນທີ່ໃຊ້ໃນການປຸງແຕ່ງ semiconductor. ມັນມັກຈະຕິດຕັ້ງຢູ່ໃນເງິນຝາກ Vapor ທາງເຄມີ (CVD)ແລະອຸປະກອນ beam Mealxy Beam (MOLE) ເພື່ອສະຫນັບສະຫນູນແລະຫມຸນແທັບເພື່ອຮັບປະກັນການຝາກເງິນແລະປະຕິກິລິຍາທີ່ມີປະສິດຕິພາບ. ຜະລິດຕະພັນປະເພດນີ້ປັບປຸງຊີວິດການບໍລິການແລະການປະຕິບັດງານຂອງອຸປະກອນໃນອຸນຫະພູມສູງແລະສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຖືກກັກຂັງໂດຍການເຄືອບຊັ້ນໃຕ້ການເຄືອບກາກບອນ (TAC).

ການເຄືອບ tac ການຫມູນວຽນມັກຈະປະກອບດ້ວຍການເຄືອບ tac ແລະ graphite ຫຼື silicon carbide ເປັນວັດສະດຸ sterbide. TAC ແມ່ນອຸນຫະພູມເຊອຸນຫະພູມສູງທີ່ສຸດທີ່ມີຈຸດທີ່ມີຄວາມລະມັດລະວັງທີ່ສຸດ ເຄື່ອງຈັກ vetek ສາມາດປົກປິດການເຄືອບກາກບອນ tantalum ຢ່າງມີປະສິດຕິຜົນໃນການເຄືອບວັດສະດຸຍ່ອຍໂດຍຜ່ານເຕັກໂນໂລຢີ CVD.

ມັກຈະມີຄວາມສົງໃສໃນການຫມູນວຽນມັກຈະເຮັດດ້ວຍຄວາມຮ້ອນທີ່ມີຄວາມຮ້ອນແລະວັດສະດຸທີ່ມີຄວາມເຂັ້ມແຂງສູງ (graphite ຫຼືCarbide Silicon), ເຊິ່ງສາມາດສະຫນອງການສະຫນັບສະຫນູນກົນຈັກແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຄວາມຮ້ອນໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ. ການປະສົມປະສານທີ່ສົມບູນແບບຂອງສອງຄົນກໍານົດການປະຕິບັດການເຄືອບທີ່ດີເລີດຂອງ tac ການຫມູນວຽນຂອງການຫມູນວຽນຂອງ tac ການຫມູນວຽນໃນການສະຫນັບສະຫນູນແລະຫມູນວຽນ.

ການເຄືອບ TAC ການຫມູນວຽນແບບຫມູນວຽນສະຫນັບສະຫນູນແລະຫມຸນເຄື່ອງທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການ CVD. The Vickers Hardness ຂອງ TAC ແມ່ນປະມານ 2000 HK, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ມັນຕ້ານທານກັບການສັ່ນສະເທືອນຂອງວັດສະດຸທີ່ສະຫນັບສະຫນູນ, ມັນຈະຖືກແຈກຢາຍຢ່າງໄວວາໃນດ້ານ wafer ແລະວັດສະດຸກໍ່ໄດ້ຖືກຝາກໄວ້. ໃນເວລາດຽວກັນ, ຄວາມທົນທານສູງອຸນຫະພູມແລະຄວາມຕ້ານທານດ້ານການກັດຂອງການເຄືອບ tac.

ຍິ່ງໄປກວ່ານັ້ນ, ການປະຕິບັດຄວາມຮ້ອນຂອງ TAC ແມ່ນ 21 w / m ·ຄຸ້ນເຄີຍກັບການໂອນຄວາມຮ້ອນທີ່ດີ. ເພາະສະນັ້ນ, ການເຄືອບ tac ການຫມູນວຽນສາມາດເຮັດໃຫ້ wafer ໃຫ້ແສງສະຫວ່າງພາຍໃຕ້ສະພາບອຸນຫະພູມສູງແລະຮັບປະກັນຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງຂະບວນການທົດລອງອາຍແກັສ, ເຮັດໃຫ້ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງການຫມູນວຽນແລະມີຄຸນນະພາບສູງການຂະຫຍາຍຕົວ wafer.

tantalum carbide (TAC) ການເຄືອບໃນສ່ວນກາເຟທີ່ມີກ້ອງຈຸລະທັດ：

ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບຂອງການເຄືອບ TAC：

ຮ້ານຂາຍເຄື່ອງອົບອຸ່ນ TAC: