ແຫວນເຄືອບ TAC

ວົງການເຄືອບ TaC ຂອງສານ semiconductor VeTek ແມ່ນຫັດຖະກໍາຈາກ graphite ຄຸນນະພາບສູງແລະເຄືອບດ້ວຍ tantalum carbide (TaC), ວັດສະດຸທີ່ຮູ້ຈັກສໍາລັບຄຸນສົມບັດທີ່ເຫນືອກວ່າຂອງຕົນ, ເປັນອົງປະກອບທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້ໃນການປຸງແຕ່ງ semiconductor wafer.

ຄຸນນະສົມບັດທີ່ສໍາຄັນແລະຜົນປະໂຫຍດຂອງ VeTek semiconductor TaC ວົງການເຄືອບ:

●  ຄວາມໝັ້ນຄົງດ້ານຄວາມຮ້ອນສູງ: ຫນຶ່ງໃນຄຸນລັກສະນະທີ່ໂດດເດັ່ນຂອງວົງແຫວນການເຄືອບ tantalum carbide ແມ່ນຄວາມສາມາດຂອງມັນທີ່ຈະທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ, ປັດໄຈທີ່ສໍາຄັນໃນ setching semiconductor. ຂະບວນການ SICIC ກ່ຽວຂ້ອງກັບການສໍາຜັດກັບທາດອາຍພິດທີ່ສູງແລະການເຄືອບ carbide corbide ຄວາມຢືດຢຸ່ນຮັກນີ້ຮັບປະກັນວ່າສ່ວນປະກອບຍັງສືບຕໍ່ປະຕິບັດວຽກງານທີ່ດີທີ່ສຸດໃນໄລຍະເວລາທີ່ຂະຫຍາຍ.

●  ເພີ່ມຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກ: ການປະສົມປະສານຂອງ graphite ທີ່ມີຄວາມເຂັ້ມແຂງສູງແລະການເຄືອບ TaC ສົ່ງຜົນໃຫ້ອົງປະກອບທີ່ມີຄຸນສົມບັດກົນຈັກປັບປຸງ, ເຮັດໃຫ້ TaC Coated Ring ມີຄວາມທົນທານສູງຕໍ່ການສວມໃສ່ແລະ tear. ຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກຂອງມັນແມ່ນສໍາຄັນໃນການຖື wafers SiC ແຫນ້ນຢູ່ໃນສະຖານທີ່, ຮັບປະກັນການຂັດທີ່ຖືກຕ້ອງແລະປ້ອງກັນການຜິດປົກກະຕິໃດໆໃນລະຫວ່າງຂະບວນການ.

●  ຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ການກັດກ່ອນທາງເຄມີ: ໃນຂະບວນການ semiconductor ເຊັ່ນ SiC etching, ອົງປະກອບມັກຈະສໍາຜັດກັບສານເຄມີທີ່ຮຸກຮານແລະທາດອາຍຜິດ reactive. ການເຄືອບ Tantalum Carbide ສະຫນອງການປົກປ້ອງທີ່ດີເລີດຕໍ່ການກັດກ່ອນ, ຂະຫຍາຍຊີວິດທີ່ເປັນປະໂຫຍດຂອງວົງແຫວນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍແລະຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຕ້ອງການສໍາລັບການທົດແທນເລື້ອຍໆ. ຄວາມຕ້ານທານນີ້ແມ່ນມີຄວາມສໍາຄັນໂດຍສະເພາະໃນຂະບວນການ etching, ບ່ອນທີ່ອົງປະກອບແມ່ນຕິດຕໍ່ກັນຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງກັບສານປະຕິກິລິຍາທາງເຄມີ.

●  Superior CoatiTaC coatingsng ສໍາລັບປະສິດທິພາບການປັບປຸງ: ການເຄືອບ Tantalum Carbide ເທິງວົງ graphite ສະຫນອງພື້ນຜິວທີ່ເຂັ້ມແຂງທີ່ເສີມຂະຫຍາຍປະສິດທິພາບໂດຍລວມຂອງອົງປະກອບ. Tantalum carbide ແມ່ນມີຊື່ສຽງສໍາລັບຈຸດລະລາຍສູງ (ປະມານ 3,880 ° C) ແລະຄວາມຕ້ານທານທີ່ດີເລີດຕໍ່ກັບປະຕິກິລິຍາເຄມີ, ໂດຍສະເພາະໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຮຸກຮານທີ່ມັກຈະພົບໃນລະຫວ່າງຂະບວນການຜະລິດ semiconductor. ການເຄືອບ Tantalum Carbide ນີ້ຊ່ວຍປັບປຸງຊີວິດຂອງຜະລິດຕະພັນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ, ສະຫນອງຄວາມທົນທານດີກວ່າເມື່ອທຽບກັບແຫວນ graphite ທີ່ບໍ່ມີການເຄືອບ.

●  ເພີ່ມຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກ: ການປະສົມປະສານຂອງ graphite ທີ່ມີຄວາມເຂັ້ມແຂງສູງແລະການເຄືອບ TaC ສົ່ງຜົນໃຫ້ອົງປະກອບທີ່ມີຄຸນສົມບັດກົນຈັກປັບປຸງ, ເຮັດໃຫ້ TaC Coated Ring ມີຄວາມທົນທານສູງຕໍ່ການສວມໃສ່ແລະ tear. ຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກຂອງມັນແມ່ນສໍາຄັນໃນການຖື wafers SiC ແຫນ້ນຢູ່ໃນສະຖານທີ່, ຮັບປະກັນການຂັດທີ່ຖືກຕ້ອງແລະປ້ອງກັນການຜິດປົກກະຕິໃດໆໃນລະຫວ່າງຂະບວນການ.

ໃນຖານະທີ່ເປັນຜູ້ຈັດຈໍາຫນ່າຍ TaC Coating Ring ຊັ້ນນໍາ, ຜູ້ຜະລິດແລະໂຮງງານຜະລິດໃນປະເທດຈີນ, VeTek Semiconductor ໄດ້ມຸ່ງຫມັ້ນມາດົນນານໃນການສະຫນອງຜະລິດຕະພັນ TaC Coating Ring ຂັ້ນສູງແລະການແກ້ໄຂດ້ານວິຊາການສໍາລັບອຸດສາຫະກໍາການປຸງແຕ່ງ semiconductor, ແລະສະຫນັບສະຫນູນການບໍລິການຜະລິດຕະພັນທີ່ກໍາຫນົດເອງ. VeTekSemi ຫວັງຢ່າງຈິງໃຈທີ່ຈະເປັນຄູ່ຮ່ວມງານໄລຍະຍາວຂອງທ່ານໃນປະເທດຈີນ.

ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບຂອງການເຄືອບ TAC

ຮ້ານຂາຍຜະລິດຕະພັນວົງການເຄືອບ TaC ຂອງ semiconductor VeTek