ແຫວນຄູ່ມືການເຄືອບ TAC

ຫນ້າທີ່ຂອງແຫວນຄູ່ມືການເຄືອບ TAC:

ການຄວບຄຸມກະແສອາຍແກັສທີ່ຊັດເຈນ: Theແຫວນການເຄືອບ TACແມ່ນຢູ່ໃນຍຸດທະສາດທີ່ຢູ່ໃນລະບົບສີດນ້ໍາມັນອາຍແກັສຂອງmocvd reactor. ຫນ້າທີ່ຕົ້ນຕໍຂອງມັນແມ່ນການຊີ້ນໍາການໄຫລຂອງທາດອາຍຜິດຂອງຕົວຢ່າງແລະຮັບປະກັນການແຈກຢາຍເອກະພາບຂອງພວກເຂົາໃນທົ່ວພື້ນທີ່ wafer. ການຄວບຄຸມທີ່ຊັດເຈນນີ້ກ່ຽວກັບນະໂຍບາຍດ້ານການໄຫຼວຽນຂອງກະແສນ້ໍາມັນອາຍແກັສແມ່ນມີຄວາມຈໍາເປັນໃນການບັນລຸການເຕີບໂຕຊັ້ນຂອງຊັ້ນທີ່ເປັນເອກະພາບແລະຄຸນສົມບັດວັດສະດຸທີ່ຕ້ອງການ.

ການຄຸ້ມຄອງຄວາມຮ້ອນແຫວນຄູ່ມືການເຄືອບ TAC ມັກຈະດໍາເນີນງານຢູ່ໃນອຸນຫະພູມສູງເນື່ອງຈາກຄວາມໃກ້ຊິດຂອງພວກເຂົາກັບຄວາມຮ້ອນແລະ substrate. ການປະຕິບັດຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດຂອງ Tac ຊ່ວຍໃຫ້ຄວາມຮ້ອນສາມາດແຜ່ລາມໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິຜົນ, ປ້ອງກັນການເຮັດໃຫ້ຮ້ອນເກີນໄປແລະຮັກສາຂໍ້ມູນອຸນຫະພູມທີ່ຫມັ້ນຄົງພາຍໃນເຂດປະຕິກິລິຍາ.

ຂໍ້ດີຂອງ TAC in Mocvd:

ຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມທີ່ສຸດ: TAC ມີຈຸດໃດຫນຶ່ງຂອງຈຸດທີ່ລະລາຍທີ່ສູງທີ່ສຸດໃນບັນດາວັດສະດຸທັງຫມົດ, ເກີນ 3800 ° C.

ຄວາມບໍ່ມີຕົວຕົນ: TAC ສະແດງຄວາມຕ້ານທານທີ່ໂດດເດັ່ນຕໍ່ການກັດກ່ອນແລະການໂຈມຕີທາງເຄມີຈາກທາດອາຍຜິດ.

ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບຂອງເຄືອບ TAC:

ຜົນປະໂຫຍດສໍາລັບການປະຕິບັດ MocvD:

ການນໍາໃຊ້ຄໍາແນະນໍາແນະນໍາກ່ຽວກັບການເຄືອບຂອງ VetEnDuctor TAC ໃນອຸປະກອນ Mocvd ປະກອບສ່ວນຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ:

ອຸປະກອນທີ່ເພີ່ມຂື້ນເຖິງເວລາ: ຄວາມທົນທານແລະອາຍຸການເຊື່ອມຕໍ່ຂອງ TAC ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຕ້ອງການໃນການທົດແທນເລື້ອຍໆ, ຫຼຸດຜ່ອນປະສິດທິພາບໃນການປະຕິບັດງານຂອງລະບົບ Mocvd.

ການປັບປຸງສະຖຽນລະພາບຂອງຂະບວນການຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະຄວາມບໍ່ສະຖຽນລະພາບຂອງຄວາມຮ້ອນຂອງ TAC ປະກອບສ່ວນເຂົ້າໃນສະພາບແວດລ້ອມປະຕິກິລິຍາທີ່ຫມັ້ນຄົງແລະຄວບຄຸມໄດ້ໃນສະພາ Mocvd, ຫຼຸດຜ່ອນການປ່ຽນແປງຂະບວນການແລະການປັບປຸງການປ່ຽນແປງໃຫມ່.

ປັບປຸງຄວາມເປັນເອກະພາບຊັ້ນຂອງ Epitaxial: ການຄວບຄຸມກະແສອາຍແກັສທີ່ຊັດເຈນທີ່ກໍາລັງອໍານວຍຄວາມສະດວກໂດຍວົງຈອນຄູ່ມືການເຄືອບ TAC ຮັບປະກັນການແຈກຢາຍຕົວຢ່າງທີ່ເປັນເອກະພາບ, ເຊິ່ງໄດ້ຮັບໃນຊຸດການຂະຫຍາຍຕົວຊັ້ນສ່ວນຂອງ Epitaxialມີຄວາມຫນາແລະສ່ວນປະກອບທີ່ສອດຄ່ອງ.

tantalum carbide (TAC) ການເຄືອບກ່ຽວກັບພາກສ່ວນຂ້າມກ້ອງຈຸລະທັດ: