porous sic ceramic ແຜ່ນ

porous sic ceramic ແຜ່ນແມ່ນວັດສະດຸທີ່ມີໂຄງສ້າງທີ່ມີໂຄງສ້າງທີ່ເຮັດດ້ວຍCarbide Siliconໃນຖານະເປັນສ່ວນປະກອບຫຼັກແລະປະສົມປະສານກັບຂະບວນການ Sattering ພິເສດ. Porosity ຂອງມັນແມ່ນສາມາດປັບໄດ້ (ໂດຍປົກກະຕິ 30% -70%), ການແຈກຢາຍຂະຫນາດຂອງ Pore, ແລະມີຄວາມທົນທານກັບອາຍແກັສແລະການກັ່ນຕອງທາດເຄມີ (CVD), ການກັ່ນຕອງອາຍແກັສສູງແລະດ້ານອື່ນໆ.

ແລະສໍາລັບຂໍ້ມູນເພີ່ມເຕີມກ່ຽວກັບແຜ່ນ ceramic sic porous, ກະລຸນາກວດເບິ່ງ blog ນີ້.

ແຜ່ນ corous disc ceramicຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບທີ່ດີເລີດ

●ຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງສຸດ:

ຈຸດທີ່ລະລາຍຂອງ sic coramics ແມ່ນສູງເຖິງ 2700 ° C, ແລະມັນຍັງສາມາດຮັກສາຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງໂຄງສ້າງສູງກວ່າ 1600 ° C), ໂດຍສະເພາະແມ່ນຂະຫນາດໃຫຍ່ຂອງຂະບວນການອຸນຫະພູມສູງ semiconductor.

●ການປະຕິບັດການຄຸ້ມຄອງຄວາມຮ້ອນຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ:

conturning ການປະຕິບັດຄວາມຮ້ອນສູງ: ຄວາມຮ້ອນຂອງຄວາມຮ້ອນຂອງ SIC ຫນາແມ່ນປະມານ 120 w / (M · k). ເຖິງແມ່ນວ່າໂຄງສ້າງທີ່ເຈາະມັນຈະຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນການປະຕິບັດຄວາມຮ້ອນເລັກນ້ອຍ, ມັນຍັງດີກວ່າຢ່າງຫລວງຫລາຍກ່ວາເຄື່ອງປັ້ນດິນເຜົາແລະຮອງຮັບການລະລາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ມີປະສິດຕິພາບສູງ.

ຕົວຄູນຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຕ່ໍາ (4.0 ×10⁻⁶ / °10⁻⁶ / ° C): ເກືອບບໍ່ມີການຜິດປົກກະຕິໃນອຸນຫະພູມສູງທີ່ເກີດຈາກຄວາມກົດດັນຂອງອຸປະກອນ.

●ສະຖຽນລະພາບເຄມີທີ່ດີເລີດ

ຄວາມຕ້ານທານດ້ານອາຊິດແລະ alkali (ໂດຍສະເພາະແມ່ນຢູ່ໃນສະພາບແວດລ້ອມຂອງ HF), ຄວາມຕ້ານທານການຜຸພັງສູງ, ເຫມາະສໍາລັບສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຮຸນແຮງເຊັ່ນ: ການສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຮຸນແຮງແລະເຮັດຄວາມສະອາດ.

ຄຸນລັກສະນະກົນຈັກທີ່ດີເດັ່ນ

hardness ຄວາມແຂງ (mohs hardness 9.2, ເປັນພຽງແຕ່ສອງເທົ່າກັບເພັດ), ຄວາມຕ້ານທານຂອງການສວມໃສ່ທີ່ແຂງແຮງ.

✔ຄວາມເຂັ້ມແຂງໂຄ້ງສາມາດບັນລຸ 300-400 MPA, ແລະການອອກແບບໂຄງສ້າງຂອງ Pore ໃຊ້ເວລາທັງຄວາມແຂງແຮງແລະກົນຈັກ.

ໂຄງປະກອບ porous ທີ່ເຮັດວຽກໄດ້

ພື້ນທີ່ຫນ້າດິນສະເພາະສູງ: ເສີມຂະຫຍາຍປະສິດທິພາບການແຜ່ລະບາຍອາຍແກັສ, ເຫມາະສົມເປັນແຜ່ນການແຈກຢາຍກ Gas າຊທີ່ເຫມາະສົມ.

porosity ທີ່ຄວບຄຸມໄດ້: ເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງນ້ໍາແລະການປະຕິບັດການກັ່ນຕອງ, ເຊັ່ນວ່າການສ້າງຮູບເງົາທີ່ເປັນເອກະພາບໃນຂະບວນການ CVD.

ພາລະບົດບາດສະເພາະໃນການຜະລິດ semiconductor

●ຂະບວນການອຸນຫະພູມສູງສະຫນັບສະຫນູນແລະການສນວນຄວາມຮ້ອນ

ໃນຖານະເປັນແຜ່ນສະຫນັບສະຫນູນ Wafer, ມັນຖືກນໍາໃຊ້ໃນອຸປະກອນອຸນຫະພູມສູງ (> 1200 ° C) ເຊັ່ນ: ເຕົາໄຟແລະໄຟຟ້າທີ່ມີຄວາມແຕກຕ່າງເພື່ອຫລີກລ້ຽງການປົນເປື້ອນໂລຫະ.

ໂຄງສ້າງທີ່ເຈາະຈົງມີທັງສອງຫນ້າທີ່ສະຫນັບສະຫນູນ, ເຮັດຫນ້າທີ່ການຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຮ້ອນ.

●ການແຜ່ກະຈາຍອາຍແກັສທີ່ເປັນເອກະພາບແລະການຄວບຄຸມຕິກິຣິຍາ

ໃນອຸປະກອນການຝາກເງິນຂອງສານເຄມີ (ເປັນແຜ່ນຈໍາຫນ່າຍອາຍແກັສ, ເປັນແຜ່ນທີ່ແຈກຢາຍອາຍແກັສ, ເຊັ່ນວ່າSih₄, NH₃) ເພື່ອປັບປຸງຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງການຝາກຂອງຮູບເງົາບາງໆ.

ໃນ edching ແຫ້ງ, ໂຄງສ້າງ porous ເຮັດໃຫ້ດີທີ່ສຸດທີ່ເຮັດໃຫ້ການແຈກຢາຍ plasma ແລະປັບປຸງຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງ Etching.

●ສ່ວນປະກອບຫຼັກ Electrostatic (ESC)

SICORY SIC ຖືກນໍາໃຊ້ເປັນ substrate chuck electrostatic, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ເກີດການຊ່ວຍເຫຼືອໃນການລະເບີດແລະມີການລະເບີດຂອງ plasma ແລະມີຄວາມສຸກ.

●ສ່ວນປະກອບທີ່ທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນ

ໃຊ້ສໍາລັບສາຍແອວທີ່ປຽກແລະເຮັດຄວາມສະອາດ, ມັນຕ້ານທານການກັດກ່ອນໂດຍອາຊິດແຂງແຮງ (ເຊັ່ນ: alkalis ແຂງແຮງ (ເຊັ່ນ: koh).

intection ຄວບຄຸມຄວາມເປັນເອກະພາບໃນພາກສະຫນາມຄວາມຮ້ອນ

ໃນເຕົາໄຟເຍືອງທາງ Crystal Crystal Crystal (ເຊັ່ນ: ວິທີການຂອງ czochralski), ເປັນເຄື່ອງປ້ອງກັນຄວາມຮ້ອນຫຼືການສະຫນັບສະຫນູນ, ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນສູງແມ່ນໃຊ້ເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນຂໍ້ບົກຜ່ອງຂອງເສັ້ນ

●ການຕອງແລະບໍລິສຸດ

ໂຄງສ້າງທີ່ເຈາະຈົງສາມາດສະກັດເອົາສານປົນເປື້ອນໄດ້ແລະຖືກນໍາໃຊ້ໃນລະບົບການຈັດສົ່ງນ້ໍາມັນອາຍແກັສທີ່ສຸດ / ຂອງແຫຼວເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມສະອາດໃນຂະບວນການຮັບປະກັນ.

ຂໍ້ດີຕ່າງໆກ່ຽວກັບວັດສະດຸພື້ນເມືອງ