ຂ່າວ

ຮຽນຮູ້ວິທີ VETEK Pyrolytic Carbon (PyC) coated graphite rings ປັບປຸງຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນ, ຫຼຸດຜ່ອນການປົນເປື້ອນ, ແລະຍືດອາຍຸອົງປະກອບໃນການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນ SiC, epitaxy, CVD, ແລະຂະບວນການ semiconductor ອຸນຫະພູມສູງ.

ຄົ້ນພົບວິທີການເຄືອບ CVD TaC ປັບປຸງການເຕີບໂຕຂອງໄປເຊຍກັນ SiC ແລະການຜະລິດ semiconductor ດ້ວຍຄວາມຫມັ້ນຄົງຄວາມຮ້ອນສູງ, ຄວາມຕ້ານທານ corrosion, ການສະກັດກັ້ນຄວາມບໍ່ສະອາດ, ແລະການປະຕິບັດທີ່ດີກວ່າໃນຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ MOCVD ແລະ epitaxy.

ກວດເບິ່ງອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນ Aixtron G10 ສໍາລັບລະບົບ SiC epitaxy ທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ. ພວກເຮົາກວມເອົາພາກສ່ວນ graphite ເຄືອບ CVD SiC, ອົງປະກອບການເຄືອບ TaC, ແລະໂຄງສ້າງພາກສະຫນາມຄວາມຮ້ອນ - ແລະວິທີທີ່ພວກມັນຊ່ວຍໃນຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການ, ການຄວບຄຸມຄວາມບໍລິສຸດ, ແລະຜົນຜະລິດ wafer ໃນການຜະລິດ semiconductor ກ້າວຫນ້າ.