ຂ່າວ

ຫຼັກການ dechuck ຂອງ chuck electrostatic ແມ່ນພາກສ່ວນທີ່ສໍາຄັນຂອງກະແສໄຟຟ້າທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບກົນໄກການລົບລ້າງໄຟຟ້າແລະເຄື່ອງປະດັບ WAFULATIC.

ກາກບອນແວ່ນແມ່ນກາກບອນທີ່ບໍ່ແມ່ນກາຟິກທີ່ປະສົມປະສານຄຸນສົມບັດຂອງແກ້ວແລະເຄື່ອງປັ້ນດິນເຜົາ. ມັນມີຄຸນສົມບັດຫຼາຍຢ່າງເຊັ່ນ: ຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງ, ການຕໍ່ຕ້ານການໄຟຟ້າ, ການຜະລິດໄຟຟ້າທີ່ດີ, ການຄົ້ນຄວ້າປະຫວັດການຄົ້ນຄວ້າແລະທ່າອ່ຽງຂອງກາກບອນທີ່ມີຄຸນຄ່າ.

ໃນການຜະລິດ semiconductor, ປະເພດຕ່າງໆຂອງສ່ວນປະກອບເຊລາມິກທີ່ມີຊີວິດຊີວາ. ຜະລິດຕະພັນເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນໃຊ້ໃນສະຖານະການການຜະລິດທີ່ແຕກຕ່າງກັນເນື່ອງຈາກລັກສະນະທີ່ແຕກຕ່າງກັນຂອງພວກມັນ, ເພື່ອທີ່ຈະຫລິ້ນຟັງຊັນທີ່ສອດຄ້ອງກັນ. ພວກມັນແມ່ນຜະລິດຕະພັນທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້ໃນອຸດສາຫະກໍາປຸງແຕ່ງ semiconductor.

Tantalum Carbide (TAC) ແມ່ນອຸປະກອນທີ່ມີປະສິດຕິພາບສູງທີ່ຮູ້ຈັກກັບຄວາມແຂງແຮງສູງ, ຈຸດລະລາຍສູງແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງທາງເຄມີທີ່ດີເລີດ. ມັນຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນ semicondortor, A ແມ່ນວ່າອຸດສາຫະກໍາແລະອຸດສາຫະກໍາອື່ນໆທີ່ຕ້ອງການຄວາມຮ້ອນທີ່ສຸດ, ໃສ່ແລະຕ້ານທານແລະຕ້ານທານ. ບົດຂຽນນີ້ຈະວິເຄາະລາຍລະອຽດກ່ຽວກັບໂຄງສ້າງ, ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບ, ແລະການນໍາໃຊ້ສະເພາະຂອງຜະລິດຕະພັນສໍາເລັດຮູບໃນການຜະລິດ semiconductor.

porous sic ceramic ແຜ່ນແມ່ນຫນຶ່ງໃນວັດສະດຸຫຼັກໃນດ້ານການຜະລິດ semiconductor. ດ້ວຍໂຄງສ້າງທີ່ເປັນເອກະລັກສະເພາະແລະຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບທີ່ດີເລີດ, ແຜ່ນ cerapic coramic porous ໄດ້ກາຍເປັນສ່ວນປະກອບສໍາຄັນທີ່ບໍ່ສາມາດປ່ຽນແທນໄດ້ໃນອຸນຫະພູມສູງແລະສະພາບແວດລ້ອມທີ່ແຂງແຮງ. ໃນບົດຂຽນນີ້, ພວກເຮົາຈະວິເຄາະຄຸນລັກສະນະທາງກາຍະພາບ, ສະຖານະການການນໍາໃຊ້ແລະຂໍ້ດີຄັດເລືອກຂອງມັນ.

ເຮືອ quartz ແມ່ນສ່ວນປະກອບຂອງການໂຫຼດທີ່ສໍາຄັນທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການຜະລິດ semiconductor. ມັນສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ສໍາລັບການປຸງແຕ່ງອຸນຫະພູມອຸນຫະພູມສູງຂອງ wafers, ເຊັ່ນ: ການແຜ່ກະຈາຍ, ການຜຸພັງແລະ annealing. ສະຖຽນລະພາບຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ, ຄຸນລັກສະນະມົນລະພິດທີ່ຕໍ່າແລະຄວາມຕ້ານທານການກັດຂອງການກັດທາງເຮັດໃຫ້ມັນເປັນວັດສະດຸທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້ໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor. ບົດຂຽນນີ້ຈະແຈ້ງກ່ຽວກັບເອກະສານ, ຄຸນລັກສະນະທາງກາຍະພາບ, ການຈັດປະເພດ, ສະຖານະການການນໍາໃຊ້ເຮືອໄຕມາດແລະຄວາມແຕກຕ່າງຈາກເຮືອ Graphite Pecvd.