ຂ່າວອຸດສາຫະກໍາ

ວັດສະດຸ quartz ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງມີບົດບາດສໍາຄັນໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor. ຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງ, ຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ການກັດກ່ອນ, ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນ, ແລະຄຸນສົມບັດການສົ່ງຜ່ານແສງສະຫວ່າງເຮັດໃຫ້ພວກເຂົາບໍລິໂພກທີ່ສໍາຄັນ. ຜະລິດຕະພັນ quartz ຖືກນໍາໃຊ້ສໍາລັບອົງປະກອບທັງສອງເຂດອຸນຫະພູມສູງແລະອຸນຫະພູມຕ່ໍາຂອງການຜະລິດ wafer, ຮັບປະກັນຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະຄວາມສະອາດຂອງຂະບວນການຜະລິດ.

ດ້ວຍການຫັນປ່ຽນພະລັງງານຂອງໂລກ, ການປະຕິວັດ AI, ແລະຄື້ນຂອງເຕັກໂນໂລຊີຂໍ້ມູນຂ່າວສານການຜະລິດໃຫມ່, silicon carbide (SiC) ໄດ້ກ້າວຫນ້າຢ່າງໄວວາຈາກການເປັນ "ວັດສະດຸທີ່ມີທ່າແຮງ" ໄປສູ່ "ວັດສະດຸພື້ນຖານຍຸດທະສາດ" ເນື່ອງຈາກຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບພິເສດຂອງມັນ.

ໃນຂະບວນການທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ semiconductor, ການຈັດການ, ສະຫນັບສະຫນູນ, ແລະການປິ່ນປົວຄວາມຮ້ອນຂອງ wafers ແມ່ນອີງໃສ່ອົງປະກອບສະຫນັບສະຫນູນພິເສດ - ເຮືອ wafer. ໃນຂະນະທີ່ອຸນຫະພູມຂະບວນການເພີ່ມຂຶ້ນແລະຄວາມສະອາດແລະຄວາມຕ້ອງການຄວບຄຸມອະນຸພາກເພີ່ມຂຶ້ນ, ເຮືອ quartz wafer ແບບດັ້ງເດີມຄ່ອຍໆເປີດເຜີຍບັນຫາເຊັ່ນ: ຊີວິດການບໍລິການສັ້ນ, ອັດຕາການຜິດປົກກະຕິສູງ, ແລະການຕໍ່ຕ້ານ corrosion ທີ່ບໍ່ດີ.

ສໍາລັບການຜະລິດຂະຫນາດອຸດສາຫະກໍາຂອງ substrates silicon carbide, ຄວາມສໍາເລັດຂອງການຂະຫຍາຍຕົວດຽວບໍ່ແມ່ນເປົ້າຫມາຍສຸດທ້າຍ. ສິ່ງທ້າທາຍທີ່ແທ້ຈິງແມ່ນຢູ່ໃນການຮັບປະກັນວ່າໄປເຊຍກັນທີ່ປູກໃນທົ່ວ batches, ເຄື່ອງມື, ແລະໄລຍະເວລາທີ່ແຕກຕ່າງກັນຮັກສາລະດັບຄວາມສອດຄ່ອງແລະຊ້ໍາກັນໃນຄຸນນະພາບ. ໃນສະພາບການນີ້, ບົດບາດຂອງການເຄືອບ tantalum carbide (TaC) ເກີນກວ່າການປົກປ້ອງພື້ນຖານ - ມັນກາຍເປັນປັດໃຈຫຼັກໃນການສະຖຽນລະພາບຂອງປ່ອງຢ້ຽມຂະບວນການແລະປົກປ້ອງຜົນຜະລິດຂອງຜະລິດຕະພັນ.

ການຂະຫຍາຍຕົວຂອງ silicon carbide (SiC) PVT ກ່ຽວຂ້ອງກັບວົງຈອນຄວາມຮ້ອນທີ່ຮຸນແຮງ (ອຸນຫະພູມຫ້ອງສູງກວ່າ 2200 ℃). ຄວາມກົດດັນດ້ານຄວາມຮ້ອນອັນໃຫຍ່ຫຼວງທີ່ສ້າງຂຶ້ນລະຫວ່າງການເຄືອບແລະຊັ້ນຍ່ອຍ graphite ເນື່ອງຈາກຄວາມບໍ່ສອດຄ່ອງຂອງຄ່າສໍາປະສິດຂອງການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ (CTE) ແມ່ນສິ່ງທ້າທາຍຫຼັກໃນການກໍານົດອາຍຸການເຄືອບແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ.

ໃນຂະບວນການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນ silicon carbide (SiC) PVT, ຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະຄວາມສອດຄ່ອງຂອງພາກສະຫນາມຄວາມຮ້ອນໄດ້ກໍານົດອັດຕາການເຕີບໂຕຂອງໄປເຊຍກັນ, ຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງຂໍ້ບົກພ່ອງແລະຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງວັດສະດຸ. ໃນຖານະທີ່ເປັນເຂດແດນຂອງລະບົບ, ອົງປະກອບຂອງພາກສະຫນາມຄວາມຮ້ອນສະແດງໃຫ້ເຫັນຄຸນສົມບັດດ້ານ thermophysical ທີ່ມີຄວາມຜັນຜວນເລັກນ້ອຍໄດ້ຖືກຂະຫຍາຍອອກຢ່າງຫຼວງຫຼາຍພາຍໃຕ້ສະພາບອຸນຫະພູມສູງ, ໃນທີ່ສຸດກໍ່ເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມບໍ່ສະຖຽນລະພາບໃນການໂຕ້ຕອບການຂະຫຍາຍຕົວ.