ເຮັດແນວໃດການເຄືອບ Tantalum Carbide ສະຖຽນລະພາບຂອງພາກສະຫນາມຄວາມຮ້ອນ PVT?

ໃນຂະບວນການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນ silicon carbide (SiC) PVT, ຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະຄວາມສອດຄ່ອງຂອງພາກສະຫນາມຄວາມຮ້ອນໄດ້ກໍານົດອັດຕາການເຕີບໂຕຂອງໄປເຊຍກັນ, ຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງຂໍ້ບົກພ່ອງແລະຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງວັດສະດຸ. ໃນຖານະທີ່ເປັນເຂດແດນຂອງລະບົບ, ອົງປະກອບຂອງພາກສະຫນາມຄວາມຮ້ອນສະແດງໃຫ້ເຫັນຄຸນສົມບັດດ້ານ thermophysical ທີ່ມີຄວາມຜັນຜວນເລັກນ້ອຍໄດ້ຖືກຂະຫຍາຍອອກຢ່າງຫຼວງຫຼາຍພາຍໃຕ້ສະພາບອຸນຫະພູມສູງ, ໃນທີ່ສຸດກໍ່ເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມບໍ່ສະຖຽນລະພາບໃນການໂຕ້ຕອບການຂະຫຍາຍຕົວ. ໂດຍຜ່ານການມາດຕະຖານຂອງເງື່ອນໄຂຂອບເຂດຄວາມຮ້ອນ, ການເຄືອບ tantalum carbide (TaC) ໄດ້ກາຍເປັນເຕັກໂນໂລຢີຫຼັກສໍາລັບການຄວບຄຸມພາກສະຫນາມຄວາມຮ້ອນແລະຮັບປະກັນການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ.

1. Thermal-Field Pain Points of Uncoated Graphite and other CoatingsUncoated graphite:

ລັກສະນະພື້ນຜິວຂອງມັນມີຄວາມບໍ່ແນ່ນອນປະກົດຂຶ້ນ. ການປ່ອຍອາຍພິດຄວາມຮ້ອນໄດ້ຮັບຜົນກະທົບຈາກຄວາມຫຍາບຂອງຫນ້າດິນແລະລະດັບການຜຸພັງ, ມີການເຫນັງຕີງເຖິງ ± 15%, ສົ່ງຜົນໃຫ້ຄວາມແຕກຕ່າງຂອງອຸນຫະພູມໃນພື້ນທີ່ຄວາມຮ້ອນເກີນ 20 ° C, ເຮັດໃຫ້ການໂຕ້ຕອບການຂະຫຍາຍຕົວຂອງຜລຶກມີຄວາມສ່ຽງຕໍ່ຄວາມບໍ່ສະຖຽນລະພາບ.

ຂໍ້ບົກຜ່ອງຂອງການເຄືອບອື່ນໆ:

ການເຄືອບ PVD ທົນທຸກຈາກຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງຄວາມຫນາແຫນ້ນທີ່ບໍ່ດີ (ຄວາມບ່ຽງເບນເຖິງ ± 10%), ນໍາໄປສູ່ການແຜ່ກະຈາຍຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນທີ່ບໍ່ສະເຫມີກັນແລະຈຸດຮ້ອນໃນທ້ອງຖິ່ນໃນພາກສະຫນາມຄວາມຮ້ອນ; ການເຄືອບສີພົ່ນ plasma ສະແດງໃຫ້ເຫັນການເຫນັງຕີງຂະຫນາດໃຫຍ່ຂອງການນໍາຄວາມຮ້ອນ (± 8 W / m·K), ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນໄປບໍ່ໄດ້ທີ່ຈະເປັນ gradient ອຸນຫະພູມທີ່ຫມັ້ນຄົງ; ການເຄືອບທີ່ມີຄາບອນແບບດັ້ງເດີມມີຄ່າສໍາປະສິດການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ບໍ່ຫມັ້ນຄົງ, ມີຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການແຕກຫັກຫຼັງຈາກວົງຈອນຄວາມຮ້ອນ, ແລະດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງທໍາລາຍຄວາມສົມບູນຂອງພາກສະຫນາມຄວາມຮ້ອນ.

2. ສາມຜົນກະທົບການເພີ່ມປະສິດທິພາບທີ່ສໍາຄັນຂອງການເຄືອບໃນພາກສະຫນາມຄວາມຮ້ອນໂດຍວິທີການຂອງຄຸນສົມບັດ thermophysical ທີ່ຫມັ້ນຄົງແລະສາມາດຄວບຄຸມໄດ້, ການເຄືອບ tantalum carbide ໄດ້ມາດຕະຖານເງື່ອນໄຂຊາຍແດນທີ່ສັບສົນ. ຄຸນລັກສະນະຫຼັກຂອງພວກມັນມີດັ່ງນີ້:

ຄຸນສົມບັດ Thermophysical ທີ່ສໍາຄັນ

3 ຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ຂະບວນການເຕີບໂຕຂອງ Crystal

ເງື່ອນໄຂຊາຍແດນທີ່ຫມັ້ນຄົງເຮັດໃຫ້ສະພາບແວດລ້ອມການຂະຫຍາຍຕົວທີ່ສາມາດແຜ່ພັນໄດ້ແລະຄວບຄຸມໄດ້ຊັດເຈນ, ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນສະທ້ອນໃຫ້ເຫັນໃນ:

ປັບປຸງຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການຈໍາລອງພາກສະຫນາມຄວາມຮ້ອນ:

ການເຄືອບສະຫນອງກໍານົດຂອບເຂດຊາຍແດນທີ່ດີ, ອະນຸຍາດໃຫ້ຜົນການຈໍາລອງຂອງຄອມພິວເຕີ້ກັບຄວາມເປັນຈິງທີ່ໃກ້ຊິດຫຼາຍ, ຫຼຸດລົງຢ່າງຫຼວງຫຼາຍໃນການພັດທະນາຂະບວນການແລະວົງຈອນການເພີ່ມປະສິດທິພາບ.

ການ​ປັບ​ປຸງ​ຮູບ​ແບບ​ການ​ໂຕ້​ຕອບ​ການ​ຂະ​ຫຍາຍ​ຕົວ​:

ກະແສຄວາມຮ້ອນທີ່ເປັນເອກະພາບຊ່ວຍສ້າງແລະຮັກສາຮູບຮ່າງຂອງສ່ວນຕິດຕໍ່ການຂະຫຍາຍຕົວທີ່ເຫມາະສົມທີ່ໂຄນເລັກນ້ອຍໄປຫາວັດສະດຸແຫຼ່ງ, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງສໍາຄັນສໍາລັບການໄດ້ຮັບໄປເຊຍກັນທີ່ມີຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງ dislocation ຕ່ໍາ.

ປັບປຸງການເຮັດຊ້ຳຂອງຂະບວນການ:

ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງສະຖານະເລີ່ມຕົ້ນພາກສະຫນາມຄວາມຮ້ອນລະຫວ່າງ batch ການຂະຫຍາຍຕົວທີ່ແຕກຕ່າງກັນໄດ້ຖືກປັບປຸງ, ຫຼຸດຜ່ອນການເຫນັງຕີງຂອງຄຸນນະພາບໄປເຊຍກັນທີ່ເກີດຈາກ instability ພາກສະຫນາມຄວາມຮ້ອນ.

4.ສະຫຼຸບ

ໂດຍຜ່ານຄຸນສົມບັດ thermophysical ທີ່ດີເລີດແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງມັນ, ການເຄືອບ tantalum carbide ປ່ຽນຫນ້າດິນຂອງອົງປະກອບ graphite ຈາກ "ຕົວແປ" ໄປສູ່ "ຄົງທີ່." ພວກເຂົາສະຫນອງເງື່ອນໄຂຂອບເຂດຄວາມຮ້ອນທີ່ສາມາດຄາດເດົາໄດ້, ຊ້ໍາກັນ, ແລະເປັນເອກະພາບສໍາລັບລະບົບການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກ PVT ແລະເປັນຕົວແທນຂອງຂັ້ນຕອນເຕັກໂນໂລຢີຫຼັກໃນການຮັບປະກັນການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກຊິລິໂຄນ carbide ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງແລະຫມັ້ນຄົງຈາກທັດສະນະຂອງ thermodynamic.

ໃນບົດຄວາມຕໍ່ໄປ, ພວກເຮົາຈະສຸມໃສ່ວິສະວະກໍາການໂຕ້ຕອບແລະການວິເຄາະວິທີການເຄືອບ tantalum carbide ບັນລຸການບໍລິການໃນໄລຍະຍາວພາຍໃຕ້ວົງຈອນຄວາມຮ້ອນທີ່ສຸດ. ຖ້າຫາກວ່າບົດລາຍງານການທົດສອບລາຍລະອຽດກ່ຽວກັບຄຸນສົມບັດ thermophysical ຂອງການເຄືອບແມ່ນຕ້ອງການ, ເຂົາເຈົ້າສາມາດເຂົ້າເຖິງໄດ້ໂດຍຜ່ານຊ່ອງທາງດ້ານວິຊາການຂອງເວັບໄຊທ໌ຢ່າງເປັນທາງການ.