Wafer Carrier ສໍາລັບ VEECO MOCVD (LED Epitaxy)

ຄຸນ​ນະ​ສົມ​ບັດ​ຜະ​ລິດ​ຕະ​ພັນ​:

1. ຖານ graphite ຄວາມບໍລິສຸດສູງທີ່ມີຊັ້ນ CVD SiC ຫນາແຫນ້ນ
2. ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຄວາມຮ້ອນທີ່ດີສໍາລັບ epitaxy LED ທີ່ຫມັ້ນຄົງ
3. ຢືນເຖິງ NH₃, HCl, ແລະອາຍແກັສກັດກ່ອນອື່ນໆທີ່ໃຊ້ໃນຂະບວນການ
4. ການຫຼົ່ນລົງຂອງອະນຸພາກຕ່ໍາແລະຊີວິດການບໍລິການຍາວ
5. ການອອກແບບກະເປົ໋າສາມາດຖືກປັບແຕ່ງສໍາລັບຂະຫນາດ wafer ທີ່ແຕກຕ່າງກັນແລະເວທີ reactor
6. ເຮັດວຽກໄດ້ດີສໍາລັບການດໍາເນີນງານ MOCVD ທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງໃນໄລຍະຍາວ

ແອັບພລິເຄຊັນ:
ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການ wafer ເຫຼົ່ານີ້ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນ LED ແລະສານປະສົມ semiconductor epitaxy, ລວມທັງ:

• GaN LED epitaxy
• ສີຟ້າ-ສີຂຽວ LED epitaxy
• ການຂະຫຍາຍຕົວ LED UV ເລິກ
• Si-based GaN epitaxy
• ການຜະລິດ semiconductor ທົ່ວໄປ

ການແກ້ໄຂຜູ້ໃຫ້ບໍລິການແບບກຳນົດເອງເໝາະກັບຫຼາຍແພລດຟອມ LED MOCVD, ເຊັ່ນ:

• VEECO K465i
• VEECO K700
• VEECO K868
• Aixtron G4/G5
• A7/Unimax

ຂໍ້ໄດ້ປຽບດ້ານວິຊາການ:

1. ການເຄືອບ CVD SiCເຕັກໂນໂລຍີທີ່ເຮັດໃຫ້ທ່ານມີຄວາມຫນາແຫນ້ນແລະຄວາມບໍລິສຸດທີ່ດີ
2. ການປ່ຽນແປງຄວາມຫນາຂອງເຄືອບພາຍໃນ ± 10 μm - ຊ່ວຍໃຫ້ປະສິດທິພາບຄວາມຮ້ອນຄົງທີ່
3. CNC machining ລົງເຖິງ 3 μmຄວາມແມ່ນຍໍາສໍາລັບການເຫມາະ wafer ທີ່ດີແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງການຫມຸນ
4. ການເຄືອບຕິດກັນໄດ້ດີ ແລະ ຕ້ານການຮອຍແຕກຫຼັງຈາກຮອບວຽນ MOCVD ທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງຊໍ້າແລ້ວຊໍ້າອີກ
5. ຈັດການ NH₃, HCl, ແລະສະພາບແວດລ້ອມ epitaxy ທີ່ຮ້າຍແຮງອື່ນໆໂດຍບໍ່ມີບັນຫາ
6. ການຜະລິດອະນຸພາກຕ່ໍາແລະພື້ນຜິວທີ່ສະອາດເພື່ອສະຫນັບສະຫນູນຜົນຜະລິດສູງLED epitaxy
7. ສາມາດເຄືອບຂະຫນາດໃຫຍ່ຫຼືຂະຫນາດທີ່ກໍາຫນົດເອງສໍາລັບເວທີ reactor ທີ່ແຕກຕ່າງກັນແລະຮູບແບບ wafer
8. ປະສົບການຍາວກັບgraphite custom ແລະສ່ວນ SiC-coatedສໍາລັບ LED ແລະສານປະກອບ semiconductor epitaxy

FAQ:
1. ຜູ້ໃຫ້ບໍລິການ wafer ເຮັດຫຍັງແດ່ໃນMOCVDLED epitaxy?

A: ມັນຖືແລະ rotates wafers ພາຍໃນເຄື່ອງປະຕິກອນ MOCVD, ແລະຊ່ວຍໃຫ້ອຸນຫະພູມຄົງທີ່ໃນລະຫວ່າງການເຕີບໃຫຍ່ຂອງ epitaxial.

2. ເປັນຫຍັງຕ້ອງໃຊ້ SiC-coated graphite wafer carriers for MOCVD?

A: ໄດ້ການເຄືອບ CVD SiCໃຫ້ຄວາມຕ້ານທານ corrosion ທີ່ດີກວ່າ, ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນ, ແລະຄວາມທົນທານ. ມັນຍັງຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນການປົນເປື້ອນຂອງອະນຸພາກໃນ epitaxy ທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ.

3. ບໍ່ Vetek Semiconductor ເຮັດຜູ້ໃຫ້ບໍລິການ wafer ແບບກໍານົດເອງບໍ?
A: ແມ່ນແລ້ວ. ພວກ​ເຮົາ​ສາ​ມາດ​ອອກ​ແບບ​ບັນ​ທຸກ​ທີ່​ກໍາ​ນົດ​ເອງ​ໂດຍ​ອີງ​ໃສ່​ເວ​ທີ reactor ຂອງ​ທ່ານ​, ຂະ​ຫນາດ wafer​, ຮູບ​ແບບ​ຖົງ​, ແລະ​ຄວາມ​ຕ້ອງ​ການ​ຂະ​ບວນ​ການ​ອື່ນໆ​.