ຜູ້ສະຫນັບສະຫນູນ EPI

ນັກວິຊາຊີບ Vetek ແມ່ນຜູ້ນໍາມືອາຊີບຈີນ Api ໄດ້ດໍາເນີນການ, ALD Plugor ແລະ TAC Coated ຜູ້ຊ່ວຍສະຫນັບສະຫນູນ Graphite. ແລະ ການສະຫນັບສະຫນູນ EPI ຂອງພວກເຮົາແມ່ນສ່ວນປະກອບສໍາຄັນຂອງການເຕີບໂຕຂອງ Epitaxialໃນຂັ້ນຕອນການຜະລິດ semiconductor. ຫນ້າທີ່ຕົ້ນຕໍຂອງມັນແມ່ນການສະຫນັບສະຫນູນແລະໃຫ້ຄວາມຮ້ອນ wafer ເພື່ອໃຫ້ເປັນຊັ້ນທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງສາມາດປູກໄດ້ຢ່າງເປັນເອກະພາບໃນດ້ານ wafer.

ວິຊາຊີບຂອງ vetek semetondoridors ແມ່ນປົກກະຕິແລ້ວແມ່ນຜະລິດຈາກຮູບພາບທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດແລະເຄືອບດ້ວຍຊັ້ນຂອງ carbide silicon (sic).ການອອກແບບນີ້ມີຂໍ້ໄດ້ປຽບທີ່ສໍາຄັນຕໍ່ໄປນີ້:

●ຄວາມຫມັ້ນຄົງອຸນຫະພູມສູງ: The Epi Susceptor ສາມາດມີຄວາມຫມັ້ນຄົງໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ອຸນຫະພູມສູງ, ຮັບປະກັນການເຕີບໃຫຍ່ຂອງຊັ້ນຂອງ abitaxial.

●ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ: ການເຄືອບ Sic ມີຄວາມຕ້ານທານທີ່ດີເລີດມີຄວາມຕ້ານທານທີ່ດີເລີດແລະສາມາດຕ້ານທານກັບການເຊາະເຈື່ອນຂອງທາດອາຍພິດ, ຂະຫຍາຍຊີວິດການບໍລິການຂອງຖາດ.

●ຄວາມຮ້ອນ: ການປະຕິບັດຄວາມຮ້ອນສູງຂອງວັດສະດຸ SIC ຮັບປະກັນການແຈກຢາຍອຸນຫະພູມທີ່ເປັນເອກະພາບຂອງ Wafer ໃນລະຫວ່າງການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນ, ເຮັດໃຫ້ການປັບປຸງຄຸນນະພາບຂອງຊັ້ນຈັດຕັ້ງ.

●ການຂະຫຍາຍຕົວ Coefandion ການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ: ຕົວຄູນການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຂອງ SIC ແມ່ນຄ້າຍຄືກັບຮູບພາບຂອງກາຟິກນັ້ນ, ຫລີກລ້ຽງບັນຫາຂອງການເຄືອບລະບາຍນ້ໍາແລະການຫົດຕົວ.

ຄຸນລັກສະນະທາງກາຍະພາບຂັ້ນພື້ນຖານຂອງເຄືອບ CVD SIC:

ຮ້ານຂາຍເຄື່ອງຜະລິດ CVD SIC:

ພາບລວມຂອງຕ່ອງໂສ້ອຸດສະຫະກໍາຊີວະປະຫວັດ seMesonductor chip: