ຂ່າວອຸດສາຫະກໍາ

ໃນຍຸກຂອງການວິວັດທະນາການ MEMS (ລະບົບເຄື່ອງກົນຈັກໄຟຟ້າຈຸລະພາກ) ຢ່າງໄວວາ, ການເລືອກອຸປະກອນໄຟຟ້າ piezoelectric ທີ່ຖືກຕ້ອງແມ່ນການຕັດສິນໃຈທີ່ເຮັດ ຫຼື ຢຸດເຮັດວຽກຂອງອຸປະກອນ. PZT (Lead Zirconate Titanate) wafers ຟິມບາງໄດ້ອອກມາເປັນທາງເລືອກຊັ້ນນໍາຫຼາຍກວ່າທາງເລືອກເຊັ່ນ AlN (Aluminum Nitride), ສະເຫນີການເຊື່ອມໄຟຟ້າທີ່ເຫນືອກວ່າສໍາລັບເຊັນເຊີຕັດແລະຕົວກະຕຸ້ນ.

ເນື່ອງຈາກການຜະລິດ semiconductor ສືບຕໍ່ພັດທະນາໄປສູ່ຂະບວນການກ້າວຫນ້າ, ການເຊື່ອມໂຍງທີ່ສູງຂຶ້ນ, ແລະສະຖາປັດຕະຍະກໍາທີ່ສັບສົນ, ປັດໃຈທີ່ຕັດສິນສໍາລັບຜົນຜະລິດຂອງ wafer ແມ່ນມີການປ່ຽນແປງເລັກນ້ອຍ. ສໍາລັບການຜະລິດ wafer semiconductor ທີ່ກໍາຫນົດເອງ, ຈຸດທໍາລາຍສໍາລັບຜົນຜະລິດບໍ່ໄດ້ຢູ່ໃນຂະບວນການຫຼັກເຊັ່ນ lithography ຫຼື etching; susceptors ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງກໍາລັງກາຍມາເປັນຕົວແປພື້ນຖານທີ່ມີຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຂະບວນການ.

ໃນໂລກຂອງ semiconductors ວົງກວ້າງ (WBG), ຖ້າຂະບວນການຜະລິດແບບພິເສດແມ່ນ "ຈິດວິນຍານ", ຕົວຍຶດ graphite ແມ່ນ "ກະດູກສັນຫຼັງ", ແລະການເຄືອບດ້ານຂອງມັນແມ່ນ "ຜິວຫນັງ."

ໃນໂລກທີ່ມີສະເຕກສູງຂອງເອເລັກໂຕຣນິກພະລັງງານ, Silicon Carbide (SiC) ແລະ Gallium Nitride (GaN) ກໍາລັງເປັນຫົວຫນ້າການປະຕິວັດ - ຈາກຍານພາຫະນະໄຟຟ້າ (EVs) ໄປສູ່ໂຄງສ້າງພື້ນຖານພະລັງງານທົດແທນ. ແນວໃດກໍ່ຕາມ, ຄວາມແຂງກະດ້າງ ແລະ ຄວາມເຂັ້ມຂົ້ນທາງເຄມີຂອງວັດສະດຸເຫຼົ່ານີ້ ເຮັດໃຫ້ເກີດການຂັດຂວາງການຜະລິດທີ່ເປັນຕາຢ້ານ.

ໃນການຜະລິດ semiconductor, ຂະບວນການ Planarization ກົນຈັກເຄມີ (CMP) ແມ່ນຂັ້ນຕອນຫຼັກສໍາລັບການບັນລຸການວາງແຜນດ້ານ wafer, ກໍານົດໂດຍກົງຜົນສໍາເລັດຫຼືຄວາມລົ້ມເຫຼວຂອງຂັ້ນຕອນ lithography ຕໍ່ມາ. ໃນຖານະເປັນການບໍລິໂພກທີ່ສໍາຄັນໃນ CMP, ການປະຕິບັດຂອງ Slurry ຂັດແມ່ນປັດໃຈສູງສຸດໃນການຄວບຄຸມອັດຕາການໂຍກຍ້າຍ (RR), ຫຼຸດຜ່ອນຂໍ້ບົກພ່ອງ, ແລະເພີ່ມຜົນຜະລິດໂດຍລວມ.

ໃນໂລກທີ່ມີສະເຕກສູງຂອງການຜະລິດ semiconductor, ບ່ອນທີ່ສະພາບແວດລ້ອມຄວາມແມ່ນຍໍາແລະຮ້າຍແຮງຢູ່ຮ່ວມກັນ, Silicon Carbide (SiC) ແຫວນແມ່ນຂາດບໍ່ໄດ້. ເປັນທີ່ຮູ້ຈັກສໍາລັບການຕໍ່ຕ້ານຄວາມຮ້ອນພິເສດ, ຄວາມຫມັ້ນຄົງທາງເຄມີ, ແລະຄວາມເຂັ້ມແຂງກົນຈັກ, ອົງປະກອບເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນສໍາຄັນຕໍ່ຂະບວນການ etching plasma ກ້າວຫນ້າ. ຄວາມລັບທີ່ຢູ່ເບື້ອງຫລັງປະສິດທິພາບສູງຂອງພວກເຂົາແມ່ນຢູ່ໃນເຕັກໂນໂລຢີ Solid CVD (Chemical Vapor Deposition). ມື້ນີ້, ພວກເຮົາພາທ່ານໄປເບິ່ງເບື້ອງຫຼັງເພື່ອສຳຫຼວດເສັ້ນທາງການຜະລິດທີ່ເຂັ້ມງວດ—ຈາກແຜ່ນຮອງກາໄບທ໌ດິບ ໄປສູ່ “ພະເອກທີ່ເບິ່ງບໍ່ເຫັນ” ທີ່ມີຄວາມຊັດເຈນສູງຂອງແຟັບ.