ຂ່າວອຸດສາຫະກໍາ

ຄົ້ນພົບວ່າເປັນຫຍັງການເຄືອບ CVD TaC ຈຶ່ງກາຍເປັນທາງອອກປ້ອງກັນທີ່ຕ້ອງການສໍາລັບອົງປະກອບ graphite semiconductor. ຮຽນຮູ້ຂໍ້ໄດ້ປຽບຂອງມັນ, ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກໃນການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນ SiC, GaN MOCVD, ແລະ wafer carriers, ແລະວິທີການປັບປຸງຄວາມທົນທານ, ຄວາມບໍລິສຸດ, ແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການ.

ຮຽນຮູ້ວິທີ VETEK Pyrolytic Carbon (PyC) coated graphite rings ປັບປຸງຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນ, ຫຼຸດຜ່ອນການປົນເປື້ອນ, ແລະຍືດອາຍຸອົງປະກອບໃນການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນ SiC, epitaxy, CVD, ແລະຂະບວນການ semiconductor ອຸນຫະພູມສູງ.

ຄົ້ນພົບວິທີການເຄືອບ CVD TaC ປັບປຸງການເຕີບໂຕຂອງໄປເຊຍກັນ SiC ແລະການຜະລິດ semiconductor ດ້ວຍຄວາມຫມັ້ນຄົງຄວາມຮ້ອນສູງ, ຄວາມຕ້ານທານ corrosion, ການສະກັດກັ້ນຄວາມບໍ່ສະອາດ, ແລະການປະຕິບັດທີ່ດີກວ່າໃນຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ MOCVD ແລະ epitaxy.