ເທັກໂນໂລຍີ ແລະວິທີແກ້ໄຂ
ຜະລິດຕະພັນ

01-04 VETEK | CVD SiC Coated Graphite Parts Cleaning, Regeneration and Full Lifecycle Management

ອຸດສາຫະກໍາ

ການຜະລິດ semiconductor (epitaxy / etching hot-zone ສ່ວນບໍາລຸງຮັກສາແລະການຄຸ້ມຄອງຄ່າໃຊ້ຈ່າຍ)

ຂະບວນການ

ການ​ບໍາ​ລຸງ​ຮັກ​ສາ​ການ​ນໍາ​ໃຊ້​, ທໍາ​ຄວາມ​ສະ​ອາດ / ການ​ຟື້ນ​ຟູ​ແລະ​ບໍາ​ນານ​ຂອງ​ພາກ​ສ່ວນ​ຮ້ອນ​ສໍາ​ລັບ GaN MOCVD​,SiC epitaxy, ແລະອື່ນໆ.

ການແກ້ໄຂ

ການ​ຕັດ​ສິນ​ໃຈ​ຄວາມ​ເປັນ​ໄປ​ໄດ້​ສໍາ​ລັບ​ການ​ທໍາ​ຄວາມ​ສະ​ອາດ / ການ​ຜະ​ລິດ​, ຈຸດ​ຮັບ​ຮອງ​ຫຼັງ​ການ​ຟື້ນ​ຟູ​, ຂອບ​ການ​ຄຸ້ມ​ຄອງ​ຄ່າ​ໃຊ້​ຈ່າຍ​ຢ່າງ​ເຕັມ​ທີ່

ການບໍລິການ

ການປະເມີນການເຮັດຄວາມສະອາດສ່ວນທີ່ເຄືອບ, ຄວາມເປັນໄປໄດ້ຂອງການຟື້ນຟູ, ການສະຫນັບສະຫນູນການຍອມຮັບຄືນໃຫມ່, ການທົດແທນແລະການປັບແຕ່ງການເຊື່ອມໂຍງ

ຜົນໄດ້ຮັບ

• ຂອບ​ເຂດ​ທີ່​ຊັດ​ເຈນ​ລະ​ຫວ່າງ “ລ້າງ​ແລະ​ນໍາ​ໃຊ້​ຄືນ” ແລະ “ຕ້ອງ​ເຊົາ”

• ການກວດກາສາມາດກວດສອບໄດ້ ແລະຈຸດຢັ້ງຢືນໃນເຄື່ອງມືຫຼັງຈາກການຟື້ນຟູ

• ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການບໍລິໂພກຕໍ່າກວ່າຕໍ່ການແລ່ນຜ່ານມຸມມອງວົງຈອນຊີວິດ

• ວົງປິດທີ່ມີການຄັດເລືອກ ແລະໜ້າກຸ່ມການຍອມຮັບຄຸນນະພາບ

ຊິ້ນສ່ວນທີ່ເຄືອບບໍ່ຈໍາເປັນຕ້ອງຖືກຂູດຢ່າງເຕັມສ່ວນໃນທຸກໆເສັ້ນປະສາດຕະຫຼອດຊີວິດ. ບົດຄວາມນີ້ອະທິບາຍເມື່ອຊິ້ນສ່ວນກາຟໄລທີ່ເຄືອບ CVD SiC ເຫມາະສໍາລັບການທໍາຄວາມສະອາດແລະການຟື້ນຟູ, ວິທີການຮັບເອົາພວກມັນຫຼັງຈາກນັ້ນ, ແລະວິທີການຈັດການ cadence ທົດແທນດ້ວຍແນວຄວາມຄິດຂອງວົງຈອນຊີວິດຢ່າງເຕັມທີ່ - ການຊ່ວຍເຫຼືອ. ຜົນຜະລິດດຸ່ນດ່ຽງແລະຄ່າໃຊ້ຈ່າຍຕໍ່ໄລຍະ reliably. ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍທີ່ແທ້ຈິງຂອງ susceptors, ວົງ preheat ແລະພາກສ່ວນທີ່ຄ້າຍຄືກັນຢູ່ໃນເສັ້ນແມ່ນບໍ່ພຽງແຕ່ລາຄາຊື້, ແຕ່ຍັງຄວາມຖີ່ຂອງການທົດແທນ, ປ່ອງຢ້ຽມ downtime ແລະຄວາມສ່ຽງອະນຸພາກ.

1.ໃນເວລາທີ່ການທໍາຄວາມສະອາດແລະການຟື້ນຟູທີ່ເຫມາະສົມແທນທີ່ຈະເປັນສິ່ງເສດເຫຼືອທັນທີ?

ສະຫຼຸບຫຼັກ:ໃນເວລາທີ່ການເຄືອບແມ່ນຍັງ intact ສ່ວນໃຫຍ່ແລະບັນຫາຕົ້ນຕໍແມ່ນການຊຶມເຊື້ອຂອງຫນ້າດິນຫຼືການປົນເປື້ອນທີ່ເອົາອອກໄດ້, ການທໍາຄວາມສະອາດແລະການຟື້ນຟູມັກຈະມີຄ່າໃຊ້ຈ່າຍປະສິດທິພາບຫຼາຍກ່ວາການຂູດທັນທີທັນໃດ. ຖ້າການທໍາລາຍພື້ນທີ່ຂະຫນາດໃຫຍ່, ບາງໆຫຼືຄວາມເສຍຫາຍຂອງ substrate ຮ້າຍແຮງໄດ້ເກີດຂຶ້ນແລ້ວ, ໃຫ້ຄວາມສໍາຄັນກັບເງິນບໍານານແລະການທົດແທນແທນທີ່ຈະທໍາຄວາມສະອາດຊ້ໍາອີກຄັ້ງຕາມຄວາມຫວັງ.

ກຸນແຈບໍ່ແມ່ນ "ວິທີການແລ່ນຫຼາຍເທົ່າທີ່ຖືກນໍາໃຊ້," ແຕ່ວ່າສະພາບທີ່ສາມາດຟື້ນຕົວຄືນໄດ້ຢູ່ໃນການເຄືອບແລະຊັ້ນໃຕ້ດິນ.

ສະຖານະການທີ່ມັກການທໍາຄວາມສະອາດແລະການຟື້ນຟູ

• ເງິນຝາກຂະບວນການດ້ານຫນ້າຫຼືການປົນເປື້ອນທີ່ສະອາດ; ຮ່າງກາຍການເຄືອບສະແດງໃຫ້ເຫັນບໍ່ມີການ delamination ຈະແຈ້ງ

• ຄວາມຫນາແລະຄວາມເປັນເອກະພາບຍັງຢູ່ໃນຂອບເຂດທີ່ຍອມຮັບໄດ້; particle ເພີ່ມຂຶ້ນສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນມາຈາກສະພາບຫນ້າດິນ

• ຂະຫນາດແລະໂຄງສ້າງສະຖານທີ່ intact; ບໍ່ມີບັນຫາໃນການຕິດຕັ້ງ

ສະຖານະການທີ່ຮຽກຮ້ອງການບໍານານໂດຍກົງ

• ການ​ເຄືອບ​ພື້ນ​ທີ່​ຂະ​ຫນາດ​ໃຫຍ່ delamination, ຮອຍ​ແຕກ​ຫຼື​ບາງ​ທ້ອງ​ຖິ່ນ​ຢ່າງ​ຮຸນ​ແຮງ

• Substrate deformation, ຄວາມເສຍຫາຍຫຼືຂະຫນາດທີ່ສໍາຄັນອອກຈາກຄວາມທົນທານ

• ຫຼັງ​ຈາກ​ການ​ທໍາ​ຄວາມ​ສະ​ອາດ​ຫຼາຍ​ຄັ້ງ​, particles ຫຼື​ຊີ​ວິດ​ຍັງ​ຊຸດ​ໂຊມ​ໄວ​; ຜົນປະໂຫຍດຂອບຂອງການຟື້ນຟູຕໍ່ໄປແມ່ນຕໍ່າເກີນໄປ

2.ວິທີການປະເມີນວ່າສ່ວນທີ່ຖືກສ້າງໃຫມ່ສາມາດກັບຄືນໄປຫາເຄື່ອງມືໄດ້ບໍ?

ສະຫຼຸບຫຼັກ:ການຟື້ນຟູບໍ່ແມ່ນ "ສະອາດຫມາຍຄວາມວ່າກຽມພ້ອມ." ຢ່າງຫນ້ອຍ, ກວດເບິ່ງຮູບລັກສະນະແລະຫນ້າດິນ, ຂະຫນາດທີ່ສໍາຄັນ, ແລະຄວາມຫນາແຫນ້ນ / ການເກັບຕົວຢ່າງທີ່ມີຄວາມຈໍາເປັນ; ໃນເວລາທີ່ເງື່ອນໄຂອະນຸຍາດໃຫ້, ດໍາເນີນການ batch ຂະຫນາດນ້ອຍກ່ຽວກັບເຄື່ອງມືເພື່ອຢືນຢັນ particles ແລະພາກສະຫນາມຄວາມຮ້ອນກ່ອນທີ່ຈະກັບຄືນພາກສ່ວນກັບການຜະລິດປົກກະຕິ.

ການເຮັດຄວາມສະອາດອາດຈະປັບປຸງພື້ນຜິວແຕ່ບໍ່ສາມາດຟື້ນຟູຄວາມຫນາຂອງເຄືອບທີ່ສູນເສຍໄປຫຼືຊັ້ນໃຕ້ດິນທີ່ເສຍຫາຍ. ເງື່ອນໄຂການຍອມຮັບຄວນຈະຕໍ່າກວ່າຄວາມຄາດຫວັງຂອງພາກສ່ວນໃຫມ່ແລະສູງກວ່າຊັ້ນ "ເກືອບເຫມາະ", ແລະຄວນຈະຖືກຂຽນໄວ້ໃນເອກະສານບໍາລຸງຮັກສາ.

ແນະນໍາລາຍການກວດສອບຫຼັງຈາກການຟື້ນຟູ

ກວດສອບລາຍການ

ລາຍລະອຽດ

ຮູບລັກສະນະແລະຫນ້າດິນ

ບໍ່ມີ delamination, ບໍ່ມີ pits ຜິດປົກກະຕິ; ສີທີ່ຍອມຮັບໄດ້ທຽບກັບຄວາມສະອາດກ່ອນ

ຂະຫນາດທີ່ສໍາຄັນ

ການຈັດຫາແລະຂະຫນາດການຫາຄູ່ຍັງຢູ່ໃນຄວາມທົນທານ

ຄວາມຫນາ / ຄວາມສອດຄ່ອງ (ຕົວຢ່າງ)

ເຂດທີ່ສໍາຄັນບໍ່ເກີນຂອບເຂດຈໍາກັດຕ່ໍາທີ່ອະນຸຍາດໃຫ້ປູກ

ການ​ກວດ​ສອບ​ເຄື່ອງ​ມື​

batch ຂະຫນາດນ້ອຍເພື່ອຢືນຢັນອະນຸພາກແລະພາກສະຫນາມຄວາມຮ້ອນກ່ອນການຜະລິດປົກກະຕິ

3.ການຄຸ້ມຄອງວົງຈອນຊີວິດເຕັມຮູບແບບສາມາດຫຼຸດຜ່ອນຄ່າໃຊ້ຈ່າຍຕໍ່ການດໍາເນີນງານໄດ້ແນວໃດ?

ສະຫຼຸບຫຼັກ:ການ​ເຊື່ອມ​ຕໍ່​ການ​ຊື້​, ການ​ຕິດ​ຕາມ​ເຄື່ອງ​ມື​, ການ​ທໍາ​ຄວາມ​ສະ​ອາດ / ການ​ຟື້ນ​ຟູ​ແລະ​ບໍາ​ນານ​ເຂົ້າ​ໄປ​ໃນ​ວົງ​ປິດ​. ຕັດສິນໃຈກ່ຽວກັບ "ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍທັງຫມົດຕໍ່ການແລ່ນ," ບໍ່ແມ່ນ "ລາຄາຊື້ຕໍ່ຫນ່ວຍ." ຟື້ນຟູໃນຂະນະທີ່ການເຄືອບແມ່ນຍັງຟື້ນຕົວໄດ້; ທົດແທນຢ່າງເດັດຂາດໃນເວລາທີ່ຄວາມສ່ຽງເພີ່ມຂຶ້ນ - ປົກກະຕິແລ້ວລາຄາຖືກກວ່າການຂູດຜ້າຫົ່ມຫຼືການໃຊ້ເກີນ.

ຫຼັກຂອງການຄຸ້ມຄອງວົງຈອນຊີວິດແມ່ນ cadence: retiring ໄວເກີນໄປຂອງສິ່ງເສດເຫຼືອເຄືອບຊີວິດ; ການປ່ຽນແທນທີ່ຊ້າເກີນໄປແມ່ນຈ່າຍໃຫ້ໃນຜົນຜະລິດແລະການຢຸດເວລາ.

ຂັ້ນຕອນການຈັດການທີ່ສາມາດປະຕິບັດໄດ້

1. ສ້າງ​ບັນ​ທຶກ​ສ່ວນ​ຫນຶ່ງ​: ຈໍາ​ນວນ​ຫຼາຍ​, ການ​ນັບ​ແລ່ນ​, ການ​ບັນ​ທຶກ particle / ຜິດ​ປົກ​ກະ​ຕິ​, ການ​ນັບ​ສະ​ອາດ​.

2. ກໍານົດຜົນກະທົບຕໍ່ການເກີດໃຫມ່ (ເຊັ່ນ: ແນວໂນ້ມຂອງອະນຸພາກ, ລະດັບລັກສະນະ) ແລະເງື່ອນໄຂການບໍານານບັງຄັບ.

3. ໝາຍສ່ວນທີ່ສ້າງຂຶ້ນໃໝ່ແຍກຕ່າງຫາກຈາກພາກສ່ວນໃໝ່ເພື່ອຫຼີກເວັ້ນຂໍ້ມູນປະສົມ.

4. ຫຼັງ​ຈາກ​ບໍານານ​, ເລີ່ມ​ການ​ປັບ​ແຕ່ງ / spare cadence ທັນ​ທີ​ທັນ​ໃດ​; ເຊື່ອມຕໍ່ຫາອຸປະກອນ-ເຂົ້າກັນໄດ້ ແລະໜ້າກຸ່ມການຄັດເລືອກ.

4.ກໍລະນີສຶກສາ: ການປີນຂຶ້ນຂອງອະນຸພາກທີ່ເກີດຈາກ “ສາມາດລ້າງໄດ້ແຕ່ຊັກຊ້າເກີນໄປ”

ສະຫຼຸບຫຼັກ:ການທໍາຄວາມສະອາດແລະການຟື້ນຟູມີປ່ອງຢ້ຽມ. ລໍຖ້າຈົນກ່ວາການເຄືອບແມ່ນບາງໆຢູ່ໃນທ້ອງຖິ່ນແລະຫນ້າດິນທີ່ຊຸດໂຊມມັກຈະສະກັດກັ້ນອະນຸພາກໄລຍະສັ້ນໆກ່ອນທີ່ມັນຈະເພີ່ມຂຶ້ນອີກເທື່ອຫນຶ່ງ. ການແຊກແຊງໃນຂະນະທີ່ເງິນຝາກກວມເອົາແລະການເຄືອບແມ່ນຍັງ intact ຜົນຜະລິດຜົນປະໂຫຍດການຟື້ນຟູທີ່ຫມັ້ນຄົງຫຼາຍ.

ຫມາຍເຫດວິສະວະກໍາ:

ເສັ້ນ GaN MOCVD ໄດ້ໃຊ້ຍຸດທະສາດ "ປ່ຽນຊຸດທັງຫມົດພຽງແຕ່ເມື່ອອະນຸພາກເກີນຂອບເຂດຈໍາກັດຢ່າງຊັດເຈນ"CVD SiC ເຄືອບຕົວອ່ອນໄຫວ. ໃນລະຫວ່າງຊີວິດ, ອະນຸພາກໄດ້ເພີ່ມຂຶ້ນຢ່າງຊ້າໆ, ແຕ່ເນື່ອງຈາກອາຍຸສະເລ່ຍຍັງບໍ່ທັນຮອດຈຸດປ່ຽນແປງທາງປະຫວັດສາດ, ບໍ່ມີການເຮັດຄວາມສະອາດໄດ້ຖືກກໍານົດ. ໃນໄລຍະສອງອາທິດຕໍ່ໄປນີ້, ອະນຸພາກຂອບໄດ້ເພີ່ມຂຶ້ນຮ່ວມກັນໃນເຄື່ອງມືຫຼາຍອັນ, ບັງຄັບໃຫ້ມີການປ່ຽນແປງເປັນຈໍານວນຫຼວງຫຼາຍໃນຕອນຕົ້ນດ້ວຍການຢຸດພັກແບບຊ້ອນກັນ ແລະຄວາມກົດດັນຂອງອາໄຫຼ່. ການກວດກາຊິ້ນສ່ວນທີ່ເອົາອອກໃນຕອນຕົ້ນ ພົບວ່າ: ບໍ່ມີການຕົກຄ້າງໃນພື້ນທີ່ໃຫຍ່; ສ່ວນຫຼາຍແມ່ນເງິນຝາກຂະບວນການ thickened ແລະເພີ່ມຂຶ້ນ micro-roughness ທ້ອງຖິ່ນ. ການເກັບຕົວຢ່າງຄວາມຫນາໄດ້ສະແດງໃຫ້ເຫັນວ່າເຂດທີ່ສໍາຄັນຍັງຢູ່ເຫນືອຂອບເຂດຈໍາກັດຕ່ໍາຂອງການຟື້ນຟູຂອງພືດ. ໄດ້ມີການກໍານົດການທໍາຄວາມສະອາດ / ການຟື້ນຟູໃນເວລາທີ່ອະນຸພາກທໍາອິດສະແດງໃຫ້ເຫັນທ່າອ່ຽງເພີ່ມຂຶ້ນທີ່ຫມັ້ນຄົງ, ປະສົບການປະຫວັດສາດໄດ້ແນະນໍາໂອກາດສູງທີ່ຈະຟື້ນຕົວຊີວິດທີ່ເປັນປະໂຫຍດເພີ່ມເຕີມ. ເສັ້ນດັ່ງກ່າວໄດ້ຂຽນວ່າ "ອະນຸພາກທີ່ຢູ່ເຫນືອການຄວບຄຸມພາຍໃນສໍາລັບ N ແລ່ນຕິດຕໍ່ກັນ" ເຂົ້າໄປໃນຜົນກະທົບຕໍ່ການທໍາຄວາມສະອາດ, ຕ້ອງການພາກສ່ວນທີ່ສ້າງຂຶ້ນໃຫມ່ເພື່ອຜ່ານຮູບລັກສະນະ + ຂະຫນາດ + ການກວດສອບເຄື່ອງມືຂະຫນາດນ້ອຍກ່ອນທີ່ຈະກັບຄືນມາ, ແລະສອດຄ່ອງເງື່ອນໄຂການກິນເບັ້ຍບໍານານບັງຄັບກັບເວລານໍາພາກໃຫມ່ - ຫຼີກເວັ້ນການອີກເທື່ອຫນຶ່ງຮູບແບບ passive ຂອງ "ສາມາດລ້າງໄດ້ແຕ່ບໍ່ໄດ້, ພຽງແຕ່ມີການປ່ຽນແປງໃນເວລາທີ່ໃຊ້ບໍ່ໄດ້." ກໍລະນີນີ້ສະແດງໃຫ້ເຫັນວ່າ: ການຄຸ້ມຄອງວົງຈອນຊີວິດຕ້ອງຈັບຈຸດກະຕຸ້ນ, ບໍ່ພຽງແຕ່ຈຸດຂູດສຸດທ້າຍເທົ່ານັ້ນ; ການທໍາຄວາມສະອາດແລະການຟື້ນຟູເປັນທັງເຄື່ອງມືຄ່າໃຊ້ຈ່າຍແລະເຄື່ອງມື cadence.

5.FAQ

1. ສາມາດທັງຫມົດCVD SiC ເຄືອບຊິ້ນສ່ວນຕ່າງໆຈະຖືກອະນາໄມແລະສ້າງໃຫມ່?

No. ມັນຂຶ້ນກັບຄວາມສົມບູນຂອງການເຄືອບ, ຄວາມຫນາທີ່ຍັງເຫຼືອ, ສະພາບ substrate ແລະປະເພດຂອງການປົນເປື້ອນ. ພາກສ່ວນທີ່ມີ delamination, thinning ຮ້າຍແຮງຫຼືຄວາມເສຍຫາຍ substrate ຄວນຈະໄດ້ຮັບການບໍານານ.

2. ອາຍຸການເກີດໃຫມ່ສາມາດກັບຄືນສູ່ລະດັບໃຫມ່ໄດ້ບໍ?

ປົກກະຕິແລ້ວມັນບໍ່ສາມາດຖືກສົມຜົນພຽງແຕ່ກັບສ່ວນໃຫມ່. ຄວາມຄາດຫວັງທີ່ສົມເຫດສົມຜົນແມ່ນການຟື້ນຕົວຂອງພາກສ່ວນຊີວິດເພີ່ມເຕີມທີ່ສາມາດໃຊ້ໄດ້; ຈັດການດ້ວຍບັນທຶກແລະການຢັ້ງຢືນໃນເຄື່ອງມື, ບໍ່ແມ່ນໂດຍການ extrapolating ສ່ວນໃຫມ່ຕະຫຼອດຊີວິດໂດຍກົງ.

3. ການເຮັດຄວາມສະອາດສາມາດທໍາລາຍການເຄືອບໄດ້ບໍ?

ຂະບວນການທີ່ບໍ່ເຫມາະສົມສາມາດ. ເລືອກວິທີການທໍາຄວາມສະອາດທີ່ກົງກັບລະບົບການເຄືອບ, ແລະຫຼັງຈາກການປັບປຸງໃຫມ່ໃຫ້ກວດເບິ່ງຮູບລັກສະນະແລະຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງຫນ້າດິນ.

4. ວິທີການກໍານົດຂອບເຂດສູງສຸດກ່ຽວກັບການນັບສະອາດ?

ສົມທົບຄວາມຫນາແຫນ້ນຕ່ໍາ, ອັດຕາການເພີ່ມຂຶ້ນຂອງອະນຸພາກແລະຂໍ້ມູນປະຫວັດສາດ. ຖ້າຜົນປະໂຫຍດຫຼຸດລົງຢ່າງຊັດເຈນຫຼັງຈາກການຟື້ນຟູຫຼາຍໆຄັ້ງ, ຍ້າຍໄປບໍານານແລະການທົດແທນ.

5. ນີ້ເຊື່ອມຕໍ່ກັບການຄັດເລືອກແລະການຍອມຮັບຄຸນນະພາບແນວໃດ?

ການຄັດເລືອກກໍານົດລະບົບວັດສະດຸ; metrics ຄຸນະພາບກໍານົດມາດຕະຖານທີ່ເຂົ້າມາ; ການທໍາຄວາມສະອາດ / ການສ້າງໃຫມ່ກໍານົດຄ່າໃຊ້ຈ່າຍກາງຊີວິດແລະຄວາມສ່ຽງ. ທັງສາມຄວນໃຊ້ພາສາດຽວກັນສໍາລັບຄວາມຫນາ, ອະນຸພາກແລະຮູບລັກສະນະເພື່ອຫຼີກເວັ້ນການເວົ້າຜ່ານມາເຊິ່ງກັນແລະກັນ.

6.ສະຫຼຸບແລະຂັ້ນຕອນຕໍ່ໄປ

ການເຮັດຄວາມສະອາດແລະການຟື້ນຟູບໍ່ແມ່ນວິທີທີ່ຈະຊັກຊ້າການຂູດຂີ້ເຫຍື້ອ; ມັນ​ເປັນ​ເຄື່ອງ​ມື​ທີ່​ຈະ​ຍືດ​ອາ​ຍຸ​ການ​ນໍາ​ໃຊ້​ໄດ້​ໃນ​ຂະ​ນະ​ທີ່​ການ​ເຄືອບ​ຍັງ​ສາ​ມາດ​ຟື້ນ​ຟູ​ໄດ້​. ການຂຽນຕົວກະຕຸ້ນທີ່ຊັດເຈນ, ເງື່ອນໄຂການຍອມຮັບຫລັງການເກີດໃຫມ່ແລະເງິນບໍານານໂດຍປົກກະຕິຈະປັບປຸງທັງຄ່າໃຊ້ຈ່າຍຕໍ່ການແລ່ນແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງເສັ້ນ.

ຖ້າທ່ານຕ້ອງການປະເມີນວ່າພາກສ່ວນສະເພາະໃດຫນຶ່ງແມ່ນເຫມາະສົມສໍາລັບການຟື້ນຟູ, ຫຼືເພື່ອສ້າງບັນທຶກແລະກົດລະບຽບການກະຕຸ້ນ, ທ່ານຍິນດີຕ້ອນຮັບກັບທີມງານວິຊາການ VeTek. ທ່ານດຣ Xiao ແລະທີມງານວິສະວະກໍາສາມາດຊ່ວຍໃນການປະເມີນຄວາມສະອາດ, ການຍອມຮັບຄືນໃຫມ່ແລະການທົດແທນ cadence.

ສໍາລັບການວັດແທກຄຸນນະພາບ, ເບິ່ງ:VETEK | ວິທີການເລືອກການເຄືອບ SiC, ການເຄືອບ TaC ຫຼື SiC ແຂງໂດຍເງື່ອນໄຂຂະບວນການ; ສໍາລັບກອບເຕັມ, ເບິ່ງຫນ້າເສົາຫຼັກຂອບເຂດການປະຕິບັດຂອງ CVD SiC, TaC ແລະ Solid SiC ໃນຂະບວນການ Epitaxy ແລະ Etching.


ການອ້າງອີງຫຼັກ ແລະແຫຼ່ງຂໍ້ມູນ

1. ວິສະວະກໍາພາຍໃນ VeTek Semiconductor ແລະການປະຕິບັດການບໍາລຸງຮັກສາ / ການເຮັດຄວາມສະອາດຂອງລູກຄ້າ.

2. ບັນທຶກການບຳລຸງຮັກສາທີ່ໃຊ້ໃນວົງຈອນຊີວິດ ແລະ ການເຄືອບໃນ CVD Coating Consumables Selection Engineering Handbook for Semiconductor Epitaxy & Etching Equipment.

3. ເວັບໄຊທ໌ຢ່າງເປັນທາງການຂອງ VeTek ຜະລິດຕະພັນ ແລະອຸປະກອນເຕັກນິກທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບການທໍາຄວາມສະອາດ: https://www.veteksemicon.com/silicon-carbide-coating

4. ASTM C1282-17 — ວິທີການທົດສອບມາດຕະຖານສໍາລັບຄວາມທົນທານທາງເຄມີ ແລະອັດຕາການຕົບແຕ່ງຂອງສານເຄືອບ CVD (ເອກະສານອ້າງອີງສໍາລັບຄວາມທົນທານຂອງສານເຄືອບເຄມີແລະການປະເມີນຜົນທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບການ etch-rate).

5. ມາດຕະຖານ SEMI ທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບການທໍາຄວາມສະອາດອົງປະກອບແລະການຍອມຮັບ (ການອ້າງອິງການປະຕິບັດອຸດສາຫະກໍາສໍາລັບການທໍາຄວາມສະອາດຊິ້ນສ່ວນ, ການຄວບຄຸມການປົນເປື້ອນແລະເງື່ອນໄຂຂາເຂົ້າ / ອອກ; ນໍາໃຊ້ເອກະສານ SEMI ສະເພາະທີ່ໄດ້ຮັບຮອງເອົາໂດຍ fab).

ຫມາຍເຫດ: ຜົນການທໍາຄວາມສະອາດ / ການສ້າງໃຫມ່ແຕກຕ່າງກັນໄປຕາມຂະບວນການ, ປະເພດຂອງການປົນເປື້ອນແລະສະພາບຂອງການເຄືອບ; ການຕັດສິນໃຈຕົວຈິງປະຕິບັດຕາມການປະເມີນ ແລະການກວດສອບດ້ວຍເຄື່ອງມື.


ຜູ້ຂຽນ: VeTek Semiconductor Technical Engineering Team (ສໍາເລັດພາຍໃຕ້ການຊີ້ນໍາຂອງ Dr. Xiao)

ສໍາລັບການສົນທະນາດ້ານວິຊາການເພີ່ມເຕີມຫຼືການປະເມີນຕົວຢ່າງ, ກະລຸນາຕິດຕໍ່ພວກເຮົາໂດຍຜ່ານເວັບໄຊທ໌ທາງການ.

X
ພວກເຮົາໃຊ້ cookies ເພື່ອສະເຫນີໃຫ້ທ່ານມີປະສົບການການຊອກຫາທີ່ດີກວ່າ, ວິເຄາະການເຂົ້າຊົມເວັບໄຊທ໌ແລະປັບແຕ່ງເນື້ອຫາ. ໂດຍການນໍາໃຊ້ເວັບໄຊທ໌ນີ້, ທ່ານຕົກລົງເຫັນດີກັບການນໍາໃຊ້ cookies ຂອງພວກເຮົາ. ນະໂຍບາຍຄວາມເປັນສ່ວນຕົວ
ປະຕິເສດຍອມຮັບ