ເທັກໂນໂລຍີ ແລະວິທີແກ້ໄຂ

ຫຼັງຈາກວັດສະດຸຖືກເລືອກ, ສິ່ງທີ່ມັກຈະຕັດສິນໃຈກ່ຽວກັບການປະຕິບັດຂອງເຄື່ອງມືແມ່ນການວັດແທກປະລິມານເຊັ່ນ: ຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງຄວາມຫນາແຫນ້ນ, ລະດັບອະນຸພາກແລະຄວາມບໍລິສຸດ. ບົດ​ຄວາມ​ນີ້​ຈັດ​ຕັ້ງ​ຂະ​ຫນາດ​ຄຸນ​ນະ​ພາບ​ທີ່​ສໍາ​ຄັນ​ຂອງ​ການ​ເຄືອບ CVD SiC ໃນ​ການ​ຍອມ​ຮັບ​ແລະ​ການ​ນໍາ​ໃຊ້​, ການ​ຊ່ວຍ​ເຫຼືອ​ຍ້າຍ​ຈາກ "ການ​ແຂ່ງ​ຂັນ​ສະ​ເພາະ​" ກັບ "ການ​ລາຍ​ງານ​ສາ​ມາດ​ກວດ​ສອບ​ແລະ​ຄວາມ​ສ່ຽງ​ທີ່​ຄາດ​ວ່າ​ຈະ​ໄດ້​.

ບົດຄວາມນີ້ໄດ້ອະທິບາຍຂອບເຂດຂອງຄໍາຮ້ອງສະຫມັກແລະສະຖານະການປົກກະຕິຂອງການເຄືອບ CVD SiC, ການເຄືອບ TaC ແລະ Solid SiC ໂດຍອຸນຫະພູມ, ບັນຍາກາດແລະປະເພດຂະບວນການ, ຊ່ວຍໃຫ້ວິສະວະກອນ epitaxy ແລະ etching ສອດຄ່ອງຢ່າງໄວວາປ່ອງຢ້ຽມຂະບວນການໃນລະຫວ່າງການເລືອກແລະຫຼີກເວັ້ນການ particle ແລະຄວາມສ່ຽງຕະຫຼອດຊີວິດຈາກວັດສະດຸ - ສະພາບທີ່ບໍ່ສອດຄ່ອງ.

ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ແລະການທົດແທນການແກ້ໄຂສໍາລັບ Aixtron G10, Veeco, susceptors ASM ແລະວົງ preheat. ສະຫນັບສະຫນູນການປັບແຕ່ງຕາມຮູບແຕ້ມ 1: 1, ການຂົນສົ່ງໄວສໍາລັບພາກສ່ວນມາດຕະຖານ, 3-6 ອາທິດສໍາລັບພາກສ່ວນທີ່ກໍາຫນົດເອງ, ມີບົດລາຍງານການກວດກາແລະການປະເມີນຕົວຢ່າງ.

ການເລືອກ CVD SiC ທີ່ຖືກຕ້ອງ, ການເຄືອບ TaC ຫຼື Solid SiC ໂດຍກົງກໍານົດລະດັບອະນຸພາກແລະອົງປະກອບຕະຫຼອດຊີວິດຂອງເສັ້ນ epitaxy / etching. ບົດຄວາມນີ້ໃຫ້ຂອບເຂດການຄັດເລືອກທີ່ຊັດເຈນໂດຍອຸນຫະພູມ, ບັນຍາກາດແລະຂະບວນການ, ຈັບຄູ່ກັບວິທີແກ້ໄຂການທົດແທນອຸປະກອນທີ່ສໍາຄັນແລະ metrics ທີ່ສໍາຄັນ, ຊ່ວຍໃຫ້ທ່ານຕັດສິນໃຈໄວແລະຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງ.