ຜະລິດຕະພັນ
ແຫວນແຂບ Sic

ແຫວນແຂບ Sic

ເຄື່ອງປະດັບທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ Veteksemicon, ເຄື່ອງທີ່ອອກແບບມາເປັນພິເສດສໍາລັບອຸປະກອນ EMICONDUROR ສໍາລັບ SEGTIONSONDUCTOR ACTENTS, ຄຸນນະສົມບັດທີ່ໂດດເດັ່ນແລະສະຖຽນລະພາບຄວາມຮ້ອນ

ໃນຂົງເຂດການຜະລິດ semiconductor, ແຫວນ Edge Sic, ເປັນສ່ວນປະກອບຫຼັກຂອງອຸປະກອນປຸງແຕ່ງ wafer wafer, ກໍາລັງປະຕິວັດຮູບພູມສັນຖານທີ່ມີຄຸນສົມບັດດ້ານວັດຖຸ. ມູນຄ່າຂອງສ່ວນປະກອບທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍານີ້ເຮັດດ້ວຍ Silicon Crobide Crollsals ບໍ່ພຽງແຕ່ຢູ່ໃນເນື້ອໃນເຕັກໂນໂລຢີທີ່ສູງ, ແຕ່ຍັງຢູ່ໃນຜົນຜະລິດແລະການເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງຜົນຜະລິດທີ່ມັນສາມາດນໍາມາສູ່ຜູ້ຜະລິດຊິບ.


ຄຸນລັກສະນະໂຄງສ້າງຂອງວົງ SCE SIC


ວົງແຫວນ Silicon Carbide ແມ່ນສ່ວນປະກອບທີ່ໃຊ້ໃນການບໍລິໂພກທີ່ສໍາຄັນໃນອຸປະກອນ etemiconductor etching ແລະເຮັດດ້ວຍວັດສະດຸຊິລິໂຄນທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ. ເສັ້ນຜ່າສູນກາງຂອງໂຄງສ້າງປະຈໍາເດືອນແມ່ນປົກກະຕິແລ້ວ 200-450mm, ແລະຄວາມຫນາຖືກຄວບຄຸມພາຍໃນ 5-15 ມມ, ປະກອບດ້ວຍຄຸນລັກສະນະດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້:

ຄວາມທົນທານ 1.Extreme: ສາມາດຕ້ານທານກັບສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ 1500 ℃

2. . ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງ plasma: ຄົງທີ່ dielectric ຄົງທີ່ 9.7, ການແຕກແຍກ 3MV / ຊມ

3. ຄວາມຖືກຕ້ອງເລຂາຄະນິດ: ຂໍ້ຜິດພາດຮອບ≤0.05mm, ຄວາມຫຍາບຄວາມຫຍາບຂອງພື້ນຜິວ RA <0.2μm


ການແບ່ງແຍກໃນຂະບວນການຜະລິດ

ຂັ້ນຕອນການກະກຽມທີ່ທັນສະໄຫມຮັບຮອງເອົາວິທີການສາມຂັ້ນຕອນ:

1. ຮູບແບບມາຕຣິກເບື້ອງ: ການກົດດັນການກົດດັນແບບທໍາມະດາຮັບປະກັນຄວາມຫນາແຫນ້ນທີ່ເປັນເອກະພາບ

2. ຄົນຂີ້ລັກອຸນຫະພູມສູງ: ການປ້ອງກັນການຮັກສາໃນບັນຍາກາດທີ່ບໍ່ມີຕົວຕົນໃນ 2100 ℃

3. ການດັດແປງພື້ນຜິວ: ຊັ້ນປ້ອງກັນ nanoscale ແມ່ນສ້າງຕັ້ງຂື້ນໂດຍຜ່ານການ ion reactive ion (Rie). ການຄົ້ນຄ້ວາການບໍລິການຂອງ SILICON CARBIDE CARBIDE DOPED DOPED CARBIDE CARBIDE ແມ່ນເພີ່ມຂື້ນ 40%, ແລະອັດຕາການປົນເປື້ອນ Werfer ໄດ້ຖືກຫຼຸດລົງເປັນລະດັບ 0.01ppm

Application scenarios

ມັນສະແດງໃຫ້ເຫັນບໍ່ສາມາດແກ້ໄຂໄດ້ໃນຂະບວນການຕ່ໍາກວ່າ 5NM:

2. ຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງ Etching: ມັນສາມາດຮັກສາການບ່ຽງເບນຂອງອັດຕາການຫຼຸດລົງຂອງ± 1.5% ໃນຂອບທີ່ wafer

.. ການຄວບຄຸມມົນລະພິດ: ມັນຫຼຸດຜ່ອນມົນລະພິດຂອງໂລຫະໂດຍ 92% ທຽບໃສ່ວັດສະດຸ Quartz ແບບດັ້ງເດີມ

4. ວົງຈອນການບໍາລຸງຮັກສາ: ມັນສາມາດປະຕິບັດງານຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງສໍາລັບ 1500 ຊົ່ວໂມງໃນ CF4 / O2 Plasma


Veteksemicon ໄດ້ບັນລຸຄວາມກ້າວຫນ້າໃນການຜະລິດແຫວນພາຍໃນປະເທດ Sic, ເຊິ່ງສາມາດປະຫຍັດການໃຊ້ຈ່າຍຫຼາຍຢ່າງ. ຍິນດີຕ້ອນຮັບຜູ້ຕິດຕໍ່ພວກເຮົາທຸກເວລາ!


Hot Tags: ແຫວນແຂບ Sic
ສົ່ງສອບຖາມ
ຂໍ້​ມູນ​ຕິດ​ຕໍ່
  • ທີ່ຢູ່

    ຖະຫນົນ Wangda, ຖະຫນົນ Ziyang, County Wuyi, ເມືອງ Jinhua, ແຂວງ Zhejiang, ປະເທດຈີນ

  • ອີເມລ

    anny@veteksemi.com

For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, ກະລຸນາປ່ອຍອີເມວຂອງທ່ານໃຫ້ພວກເຮົາແລະພວກເຮົາຈະຕິດຕໍ່ກັບພາຍໃນ 24 ຊົ່ວໂມງ.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept