Pyrolytic Carbon(PyC) ວົງ Graphite ເຄືອບ

ໃນການຕັ້ງຄ່າການເຕີບໃຫຍ່ຂອງຜລຶກ SiC PVT, ຊິ້ນສ່ວນ graphite ແມ່ນແລ່ນຢູ່ໃນອຸນຫະພູມທີ່ສູງຫຼາຍເປັນເວລາດົນນານ. ແຫວນ graphite ເຄືອບ PyC ຂອງ VeTek ແມ່ນຖືກສ້າງຂຶ້ນສໍາລັບຫນ້າທີ່ປະເພດນັ້ນ. ຊັ້ນຄາບອນ pyrolytic ຖືກຝາກໄວ້ໃນກຼາຟ໌ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງຜ່ານ CVD. ນີ້ເຮັດໃຫ້ສ່ວນຂອງຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງພື້ນຜິວດີກວ່າແລະມີອະນຸພາກຫນ້ອຍລົງໃນລະຫວ່າງການປະຕິບັດງານ. ໂດຍປົກກະຕິແລ້ວ ເຈົ້າເອົາມັນໃສ່ໃນພື້ນທີ່ລະບາຍຄວາມຮ້ອນ ເພື່ອຊ່ວຍຈັດການການໄຫຼຂອງອາຍ ແລະວິທີການແຜ່ຄວາມຮ້ອນພາຍໃນເຕົາ. ການເຄືອບຍັງຊ້າລົງ sublimation graphite ເມື່ອສິ່ງທີ່ສູງກວ່າ 2200 ° C, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ອົງປະກອບທັງຫມົດຢູ່ໄດ້ດົນກວ່າ.