ໂລ່ ແລະ Shutter Quartz ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ Opaque Quartz ສໍາລັບ MOCVD

1. ຂໍ້ມູນສະເພາະທາງດ້ານວິຊາການ

ພວກເຮົາສະຫນອງເຄື່ອງຈັກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງໂດຍອີງໃສ່ຮູບແຕ້ມດ້ານວິຊາການຂອງທ່ານເພື່ອໃຫ້ແນ່ໃຈວ່າເຫມາະທີ່ສົມບູນແບບກັບຮູບແບບອຸປະກອນສະເພາະຂອງທ່ານ.

2. ຂົງເຂດຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຫຼັກ

● ການປົກປ້ອງຂະບວນການ MOCVD: ຮັບໃຊ້ເປັນເຄື່ອງປ້ອງກັນພາຍໃນທີ່ສຳຄັນເພື່ອປົກປ້ອງສະພາບແວດລ້ອມຕິກິຣິຍາ.

● Semiconductor Epitaxy: ໃຊ້ເປັນເຄື່ອງປິດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງສໍາລັບການໄຫຼແລະສະຖຽນລະພາບອຸນຫະພູມໃນລະຫວ່າງການຂະຫຍາຍຕົວຂອງຮູບເງົາບາງ.

● Wide-Bandgap Semiconductor ການຜະລິດ: ເຂົ້າກັນໄດ້ກັບສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີຄວາມຕ້ອງການສູງສໍາລັບ GaN ແລະວັດສະດຸຂັ້ນສູງອື່ນໆ.

3. ເປັນຫຍັງຕ້ອງເລືອກ VETEK Quartz Solutions?

● ການ​ຄຸ້ມ​ຄອງ​ລັງ​ສີ​ຄວາມ​ຮ້ອນ​ທີ່​ດີກ​ວ່າ​: Quartz ສີຂາວທີ່ມີນ້ໍານົມຂອງພວກເຮົາປະກອບດ້ວຍຄວາມຫນາແຫນ້ນສູງຂອງຟອງຈຸນລະພາກທີ່ກະແຈກກະຈາຍຢ່າງມີປະສິດທິພາບແລະສະກັດກັ້ນລັງສີຄວາມຮ້ອນທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ (> 1000 ° C). ມັນດູດເອົາແສງສະຫວ່າງທີ່ເບິ່ງເຫັນແລະໃກ້ກັບອິນຟາເລດຈາກອົງປະກອບຄວາມຮ້ອນແລະປ່ຽນເປັນຮັງສີໄກຈາກອິນຟາເລດ, ຮັບປະກັນຄວາມຮ້ອນທີ່ເປັນເອກະພາບສູງ.
● ການຄວບຄຸມການປົນເປື້ອນ & ບໍາລຸງຮັກສາງ່າຍ: ເປັນ liner ພາຍໃນທີ່ເສຍສະລະຫຼືທົດແທນໄດ້, Quartz Shield ຮັກສາຫ້ອງຕິກິຣິຍາໃຫ້ສະອາດໂດຍປ້ອງກັນການຕົກຄ້າງຂອງ byproduct ໃສ່ຝາຫ້ອງລາຄາແພງແລະເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ. ພາກສ່ວນເຫຼົ່ານີ້ສາມາດຟື້ນຟູໄດ້ໂດຍການເຮັດຄວາມສະອາດປຽກ (ເຊັ່ນ: ການແກ້ໄຂ SPM + DHF) ຫຼືທົດແທນໄດ້ຢ່າງງ່າຍດາຍເພື່ອຮັບປະກັນຜົນຜະລິດ wafer ສູງ.
● ການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີທີ່ຮຸນແຮງ: VETEK quartz ແມ່ນວິສະວະກໍາເພື່ອທົນທານຕໍ່ວົງຈອນຄວາມຮ້ອນເລື້ອຍໆແລະຕ້ານການກັດກ່ອນຈາກໂລຫະອິນຊີ (ເຊັ່ນ: TMGa) ແລະ hydrides (ເຊັ່ນ: AsH₃).
● ການຄວບຄຸມຂະບວນການຄວາມຖືກຕ້ອງ: ປະຕູຮົ້ວ Quartz ຂອງພວກເຮົາຮັກສາຄວາມຫມັ້ນຄົງໃນມິຕິລະດັບສູງພາຍໃຕ້ຄວາມຮ້ອນ infrared ຫຼື filament. inertia ຄວາມຮ້ອນຕ່ໍາຂອງພວກເຂົາອະນຸຍາດໃຫ້ມີການຕອບສະຫນອງກົນຈັກຢ່າງໄວວາ, ເຮັດໃຫ້ການຄວບຄຸມການຂະຫຍາຍຕົວ "ລະດັບປະລໍາມະນູ" ທີ່ຊັດເຈນແລະປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນຂ້າມໃນລະຫວ່າງການສະຫຼັບຫຼາຍ wafer ຫຼືຫຼາຍຂະບວນການ.
● ທາງເລືອກທີ່ມີປະສິດທິພາບດ້ານຄ່າໃຊ້ຈ່າຍ: ສໍາລັບໂຄງການທີ່ມີຄວາມຕ້ອງການງົບປະມານຢ່າງເຂັ້ມງວດ, ຜະລິດຕະພັນ quartz ຂອງພວກເຮົາສະຫນອງຈຸດເຂົ້າທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ເມື່ອທຽບກັບ graphite ເຄືອບ, ສະເຫນີການປົກປ້ອງທີ່ສໍາຄັນແລະການເຮັດວຽກຂອງລະບົບ MOCVD.