CVD SiC Coating Graphite Parts ບໍລິການທໍາຄວາມສະອາດ

1. ສິ່ງທ້າທາຍທີ່ເຈົ້າອາດຈະປະເຊີນ

• ຊັ້ນ AlN ຍາກທີ່ຈະເອົາອອກ:1300°C ຄວາມ​ສະ​ອາດ​ດ້ວຍ​ຄວາມ​ຮ້ອນ​ຍັງ​ບໍ່​ສາ​ມາດ​ເຮັດ​ໃຫ້​ມີ​ປະ​ສິດ​ທິ​ຜົນ​ການ​ກັດ​ຊັ້ນ AlN ທີ່​ຍັງ​ເຫຼືອ​.

• ເອັບເຟັກຄວາມຈຳທີ່ເກີດຂຶ້ນຊ້ຳ:ຜົນ​ກະ​ທົບ​ຄວາມ​ຊົງ​ຈໍາ​ດ້ານ​ເຮັດ​ໃຫ້​ເກີດ​ການ​ໄຫຼ​ຂອງ​ອາຍ​ແກ​ັ​ສ​ບໍ່​ຫມັ້ນ​ຄົງ​ໃນ reactor​, ຜົນ​ກະ​ທົບ​ຄວາມ​ສອດ​ຄ່ອງ​ຂະ​ບວນ​ການ​.

• ທໍາຄວາມສະອາດ Cycle Impacts ຜ່ານ:ໂດຍປົກກະຕິທຸກໆ 16 ຮອບຂະບວນການ (4-5 susceptors) ຕ້ອງການທໍາຄວາມສະອາດພາຍນອກ.

• ຄວາມກັງວົນກ່ຽວກັບຄວາມເສຍຫາຍຂອງການເຄືອບຄ່າໃຊ້ຈ່າຍ:ການຂາດປະສົບການທໍາຄວາມສະອາດສານເຄມີພາຍໃນເຮືອນເຮັດໃຫ້ຜູ້ປະຕິບັດງານລັງເລທີ່ຈະພະຍາຍາມທໍາຄວາມສະອາດຮຸກຮານ.

2. ການແກ້ໄຂຂອງພວກເຮົາ – ອອກແບບສໍາລັບຂະບວນການ GaN / AlN / AlGaN

• ການທໍາຄວາມສະອາດແບບມືອາຊີບ:ຂະບວນການທີ່ກໍາຫນົດເອງໄດ້ພັດທະນາໂດຍສະເພາະສໍາລັບພາກສ່ວນ graphite ເຄືອບ CVD SiC. ບໍ່ມີສູດເຄມີທີ່ຕ້ອງການຈາກລູກຄ້າ.

• ຄວາມປອດໄພການເຄືອບ:ປົກປ້ອງການເຄືອບ CVD SiC 100 µm ຢ່າງເຂັ້ມງວດ. ການສູນເສຍຄວາມຫນາຢ່າງແທ້ຈິງຫຼັງຈາກທໍາຄວາມສະອາດ.

• ຜົນການຄົ້ນຫາທີ່ຢັ້ງຢືນໄດ້:ໃບຢັ້ງຢືນອັນເຕັມທີ່ຂອງການວິເຄາະ (COA) ກວມເອົາຫ້າຂະຫນາດຫຼັກ. ຂໍ້​ມູນ​ພ້ອມ​ສໍາ​ລັບ​ການ​ເກັບ​ຮັກ​ສາ​ແລະ​ການ​ກວດ​ສອບ​ຄຸນ​ນະ​ພາບ​.

3. ຫ້າເງື່ອນໄຂການຍອມຮັບຫຼັກ

ສອດຄ່ອງຢ່າງເຂັ້ມງວດກັບຄວາມຕ້ອງການທີ່ສໍາຄັນຂອງຜູ້ໃຊ້ semiconductor epitaxy:

1. ການສູນເສຍການເຄືອບສູນ- ຄວາມຫນາຂອງເຄືອບ SiC ບໍ່ເຄີຍຫຼຸດລົງຫຼັງຈາກການທໍາຄວາມສະອາດ (ກ່ອນ / ຫລັງການຢັ້ງຢືນການປຽບທຽບຄວາມຫນາ).

2. ບໍ່ມີການປ່ຽນສີຂອງພື້ນຜິວ- ຄວາມແປ ແລະຄວາມຖືກຕ້ອງທາງເລຂາຄະນິດໄດ້ຖືກກວດກາຢ່າງເຂັ້ມງວດເພື່ອຮັບປະກັນບໍ່ໃຫ້ມີການຜິດປົກກະຕິທາງກາຍະພາບ.

3. ກໍາຈັດຜົນກະທົບຂອງຄວາມຈໍາ- ການ​ວິ​ເຄາະ XPS ສໍາ​ລັບ Al / Ga residual ຢືນ​ຢັນ​ການ​ໂຍກ​ຍ້າຍ​ຢ່າງ​ລະ​ອຽດ​ຂອງ​ແຫຼ່ງ​ຜົນ​ກະ​ທົບ​ຄວາມ​ຊົງ​ຈໍາ​.

4. Zero Metal Residue- ການທົດສອບ ICP-MS ສໍາລັບ Fe, Cu, Ni ແລະໂລຫະອື່ນ ໆ ຢັ້ງຢືນວ່າບໍ່ມີສິ່ງເສດເຫຼືອຂອງໂລຫະທີ່ເຫຼືອ.

5. ບໍ່ມີອະນຸພາກເກີນ- ການທົດສອບອະນຸພາກ QIII ບວກກັບການກວດສອບຄວາມສະອາດປ້ອງກັນຄວາມບໍ່ສະຖຽນລະພາບຂອງອາຍແກັສທີ່ເກີດຈາກອະນຸພາກທີ່ຕົກຄ້າງ.

4. ບົດລາຍງານການກວດກາ ແລະ COA

ທຸກໆຊຸດຈະຖືກສົ່ງກັບຂໍ້ມູນການຢັ້ງຢືນຢ່າງເຕັມທີ່ໃນທົ່ວຫ້າຂະຫນາດຫຼັກ:

5. ຜະລິດຕະພັນທີ່ໃຊ້ໄດ້ & ຄວາມເປັນມາຂອງຂະບວນການ

ຕົວກໍານົດການຜະລິດຕະພັນ

ຂະບວນການບໍລິການ

1. ສອບຖາມ- ສົ່ງ​ຮູບ​ພາບ​ສ່ວນ / ຮູບ​ແບບ / ປະ​ລິ​ມານ​ສໍາ​ລັບ​ການ​ປະ​ເມີນ​ຜົນ​.

2. ໃບສະເໜີລາຄາ- ການ​ປະ​ເມີນ​ຜົນ​ດ້ານ​ວິ​ຊາ​ການ​ແລະ​ການ​ສະ​ເຫນີ​ທໍາ​ຄວາມ​ສະ​ອາດ​ລາຍ​ລະ​ອຽດ​ທີ່​ມີ​ວົງ​ຢືມ​.

3. ການຂົນສົ່ງ- ສົ່ງ​ຊິ້ນ​ສ່ວນ​ໃຫ້​ພວກ​ເຮົາ​ຫຼື​ຈັດ​ການ​ບໍ​ລິ​ການ​ຮັບ​.

4. ການອະນາໄມ- ການ​ທໍາ​ຄວາມ​ສະ​ອາດ​ເປັນ​ມື​ອາ​ຊີບ + ການ​ກວດ​ກາ​ຫຼາຍ​ມິ​ຕິ​ລະ​ດັບ​ຢ່າງ​ເຕັມ​ທີ່​.

5. ລາຍງານ- ບົດລາຍງານ COA ທີ່ອອກແລະເຮັດຄວາມສະອາດຊິ້ນສ່ວນກັບຄືນມາ.

6. ຕິດຕາມ- ການຕິດຕາມຜົນກະທົບ ແລະການສະຫນັບສະຫນູນດ້ານວິຊາການຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ.

6. ເປັນຫຍັງຕ້ອງເລືອກບໍລິການທໍາຄວາມສະອາດ VETEK?

VETEK ປະສົມປະສານຄວາມຊໍານານຢ່າງເລິກເຊິ່ງໃນເທກໂນໂລຍີການເຄືອບ CVD SiC ທີ່ມີຄວາມສາມາດທໍາຄວາມສະອາດພິເສດສໍາລັບຕົວຍຶດ graphite ທີ່ມີມູນຄ່າສູງ. ພວກເຮົາເຂົ້າໃຈຄວາມສໍາຄັນທີ່ສໍາຄັນຂອງຄວາມສົມບູນຂອງການເຄືອບ, ການຄວບຄຸມອະນຸພາກ, ແລະຄວາມບໍລິສຸດຂະບວນການໃນ GaN/AlN epitaxy. ການບໍລິການຂອງພວກເຮົາຖືກອອກແບບມາສໍາລັບລູກຄ້າທີ່ຕ້ອງການຄວາມປອດໄພຢ່າງແທ້ຈິງສໍາລັບການເຄືອບ CVD SiC ລາຄາແພງໃນຂະນະທີ່ແກ້ໄຂບັນຫາຄວາມຊົງຈໍາແລະບັນຫາຄວາມບໍ່ສະຖຽນລະພາບຂອງອາຍແກັສ.

· ການທໍາຄວາມສະອາດແບບທົດລອງສາມາດໃຊ້ໄດ້ສໍາລັບການຢັ້ງຢືນຊຸດນ້ອຍ

·ບົດລາຍງານ COA ເຕັມທີ່ສະຫນອງໃຫ້ທຸກໆການຈັດສົ່ງ

· ບໍ່ມີຄວາມສ່ຽງຕໍ່ຄວາມເສຍຫາຍຂອງການເຄືອບ ຫຼືການປົນເປື້ອນໃໝ່

· ເປັນມືອາຊີບ · ປອດໄພ · ກວດສອບໄດ້