Aixtron MOCVD Receptor

Susceptors ຜະລິດໂດຍມັນ semiconductorແມ່ນເຮັດດ້ວຍຊັ້ນໃຕ້ດິນຂອງກາຟິກແລະວັດຖຸຊິລິໂຄນ Carbide (SIC). ຍ້ອນການຕໍ່ຕ້ານທີ່ສູງກວ່າ, ຄວາມຕ້ານທານດ້ານການກັດກ່ອນແລະຄວາມແຂງແຮງສູງຂອງວັດສະດຸທີ່ມີຄວາມຫຍຸ້ງຍາກ, ມັນເຫມາະສົມກັບການນໍາໃຊ້ໃນສະພາບແວດລ້ອມຂອງຂະບວນການທີ່ໂຫດຮ້າຍ. ເພາະສະນັ້ນ, Susceptors ທີ່ຜະລິດໂດຍນັກ semiconductor vetek ສາມາດຖືກນໍາໃຊ້ໂດຍກົງໃນຂະບວນການ Mocvd ທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງໂດຍບໍ່ຕ້ອງປິ່ນປົວດ້ານຫນ້າ.

Susceptors ແມ່ນສ່ວນປະກອບສໍາຄັນໃນການຜະລິດ semiconductor, ໂດຍສະເພາະໃນອຸປະກອນ Mocvd ສໍາລັບຂະບວນການເງິນຝາກບາງໆ. ພາລະບົດບາດຕົ້ນຕໍຂອງAixtron: ສະນັ້ນການສະຫນັບສະຫນູນໃນຂະບວນການ MocvD ແມ່ນການແບກຫາບ lafers semiconductor, ຮັບປະກັນຮູບເງົາບາງໆແລະມີຄຸນນະພາບສູງຂອງຮູບເງົາແລະສະພາບແວດລ້ອມການປະຕິກິລິຍາທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ, ເຮັດໃຫ້ການຊ່ວຍເຫຼືອດ້ານຮູບເງົາທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ.

Aixtron Mocvd Supportorປົກກະຕິແລ້ວຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອສະຫນັບສະຫນູນແລະແກ້ໄຂພື້ນຖານຂອງ wafers semiconductor ເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງ wafer ໃນລະຫວ່າງການຂະບວນການ deposition. ໃນເວລາດຽວກັນ, ການເຄືອບດ້ານຂອງ Aixtron MOCVD Susceptor ແມ່ນເຮັດດ້ວຍ silicon carbide (SiC), ວັດສະດຸທີ່ມີຄວາມຮ້ອນສູງ. ການເຄືອບ SiC ຮັບປະກັນອຸນຫະພູມທີ່ເປັນເອກະພາບໃນດ້ານຂອງ wafer, ແລະການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນທີ່ເປັນເອກະພາບແມ່ນມີຄວາມຈໍາເປັນສໍາລັບການໄດ້ຮັບຮູບເງົາທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ.

ຍິ່ງໄປກວ່ານັ້ນ, ໄດ້Aixtron Mocvd Supportorພວກເຮົາຜະລິດມີບົດບາດຫຼາຍກວ່າເກົ່າໃນການຄວບຄຸມການໄຫຼວຽນແລະການແຈກຢາຍທາດອາຍຜິດທີ່ມີປະຕິກິລິຍາຜ່ານການອອກແບບວັດສະດຸທີ່ດີທີ່ສຸດ. ຫລີກລ້ຽງການຕິດກະແສໄຟຟ້າແລະເຄື່ອງໃຊ້ຂອງອຸນຫະພູມເພື່ອບັນລຸການຝາກເງິນຮູບເງົາທີ່ເປັນເອກະພາບ.

ສິ່ງທີ່ ສຳ ຄັນກວ່ານັ້ນ, ໃນຂະບວນການ MOCVD, ວັດສະດຸເຄືອບ silicon carbide (SiC) ມີຄວາມຕ້ານທານຕໍ່ການກັດກ່ອນ.ມັນ semiconductor'sAixtron Mocvd Supportorຍັງສາມາດທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງແລະທາດອາຍຜິດ corrosive.

ຄຸນລັກສະນະທາງກາຍະພາບຂັ້ນພື້ນຖານຂອງSIC ການເຄືອບ:

ຮ້ານຂາຍເຮືອຂອງ Vetek Semetonductor Wafer:

ພາບລວມຂອງຕ່ອງໂສ້ອຸດສະຫະກໍາຊີວະປະຫວັດ seMesonductor chip: