ແຫວນປະທັບຕາຂອງ SIC ສໍາລັບ Epitaxy

ⅰ. ແຫວນປະທັບຕາ SIC ເຄືອບແມ່ນຫຍັງ?

ວົງແຫວນປະທັບຕາຂອງ Sic (Silicon Carbide ເຄືອບປະທັບຕາ) ແມ່ນສ່ວນປະກອບຂອງການປະທັບຕາທີ່ແມ່ນຄວາມຄືກັນສໍາລັບອຸນຫະພູມສູງ, semiconductor processuctor. ພື້ນທີ່ຂອງມັນແມ່ນຜ່ານການຝາກເງິນຂອງສານເຄມີ (CVD) ຫຼືດ້ານຂະບວນການທາງດ້ານວັດຖຸດິບ (PVD) ທີ່ມີເນື້ອເຍື່ອຊັ້ນສູງ (Sic)  

ⅱ. ອົງປະກອບຜະລິດຕະພັນແລະເຕັກໂນໂລຢີຫຼັກ  

1. ວັດສະດຸຍ່ອຍ:

ເອກະສານ Graphite ຫຼື Combon-Combanic Compodaອຸປະກອນການພື້ນຖານມີປະໂຫຍດຈາກຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນສູງ (ສາມາດຕ້ານທານໄດ້ຫຼາຍກ່ວາ 2000 ℃) ແລະຕົວຄູນຕໍ່າຂອງຄວາມຮ້ອນຂອງຄວາມຮ້ອນ, ໃຫ້ຮັບປະກັນສະຖຽນລະພາບພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂທີ່ສຸດເຊັ່ນ: ອຸນຫະພູມສູງ.  

ໂຄງປະກອບການລັກສະນິດທີ່ຊັດເຈນ: ການອອກແບບແຫວນທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສາມາດປັບຕົວໄດ້ຢ່າງສົມບູນກັບຢູ່ຕາມໂກນຂອງອຸປະກອນ semiconductor, ດັ່ງນັ້ນ,  

2. ການເຄືອບທີ່ມີປະໂຫຍດ:  

ການເຄືອບບໍລິສຸດສູງ (ຄວາມບໍລິສຸດ≥99,99%): ຄວາມຫນາຂອງການເຄືອບແມ່ນປົກກະຕິແລ້ວ10-50μm, ຜ່ານຂັ້ນຕອນ CVD ເພື່ອປະກອບເປັນຊັ້ນຂອງໂຄງສ້າງດ້ານທີ່ບໍ່ມີປະໂຫຍດທີ່ບໍ່ມີຄວາມຫມາຍ.

ⅲ. ຄຸນລັກສະນະທາງກາຍະພາບແລະຂໍ້ດີ

ແຫວນປະທັບຕາຂອງຫນັງສືຄ້າຍຄືຂອງ Veteksemicon ແມ່ນເຫມາະສົມສໍາລັບຂະບວນການ abitaxy semiconductor ເພາະວ່າການປະຕິບັດງານຂອງພວກເຂົາທີ່ດີເລີດພາຍໃຕ້ສະພາບການທີ່ສຸດ. ຂ້າງລຸ່ມນີ້ແມ່ນຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບສະເພາະຂອງຜະລິດຕະພັນ:

iv. ການນໍາໃຊ້ຫຼັກໃນການປຸງແຕ່ງ semiconductor abitaxy  

ແຫວນປະທັບ Sic ເຄືອບສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ໃນ MocvD (ການຝາກສານເຄມີໂລຫະອິນຊີ) ແລະ MBE (MULECULY Beam Epitaxy) ແລະອຸປະກອນຂະບວນການອື່ນໆແມ່ນມີ:  

1. ເຄື່ອງປັບປຸງໃຫມ່ຂອງອຸປະກອນ SEMICONDUTORT

ແຫວນທີ່ເຮັດດ້ວຍ SIC-Coated ຂອງພວກເຮົາວ່າເສັ້ນທາງມິຕິຂອງພວກເຮົາ (ປົກກະຕິພາຍໃນ± 0.01mm) 

ໃນເວລາດຽວກັນ, ແຫວນການປະທັບຕາແມ່ນຄວາມແມ່ນຍໍາທີ່ມີເຄື່ອງມືທີ່ເຫມາະສົມກັບເຄື່ອງແບບເຄື່ອງແບບທີ່ເຫມາະສົມກັບຮອບວຽນທັງຫມົດຂອງພື້ນທີ່ຕິດຕໍ່, ກໍາຈັດຊ່ອງຫວ່າງຂອງກ້ອງຈຸລະທັດ. ສິ່ງນີ້ຈະປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ມີການຮົ່ວໄຫຼຂອງທາດອາຍຜິດຂອງທາດອາຍຜິດ (ເຊັ່ນ: NH₃, NH₃),  

ໃນທາງກົງກັນຂ້າມ, ຄວາມແຫນ້ນຫນາຂອງອາຍແກັສທີ່ດີຍັງສາມາດກີດຂວາງການເຈາະຂອງມົນລະພິດພາຍນອກ (H₂O), ສະນັ້ນ, ເຊັ່ນວ່າການເຄື່ອນຍ້າຍ, ຄວາມບໍ່ສະອາດທີ່ບໍ່ສະເຫມີພາບ).  

2. ການສະຫນັບສະຫນູນການປະທັບຕາສູງແບບເຄື່ອນໄຫວສູງ  

ການຮັບຮອງເອົາຫຼັກການຂອງການເຄືອບ synergistic sterngrate anti-≈ / ≈) 4000 ຂອງປະລິມານທີ່ມີປະສິດຕິພາບສູງ, ສະນັ້ນການແຍກຕ່າງຫາກ ປະສົມປະສານກັບຄວາມແຂງກະດ້າງສູງສຸດຂອງການເຄືອບ Sic (hv2500 ຫຼືຫຼາຍກວ່ານັ້ນ), ມັນສາມາດຕ້ານທານກັບການສັ່ນສະເທືອນທີ່ເກີດຈາກກົນຈັກຫຼືຄວາມກະທົບຂອງອະນຸພາກ, ແລະຮັກສາຄວາມຮາບລັບ.

V. ຄໍາແນະນໍາກ່ຽວກັບການບໍາລຸງຮັກສາ

ແນະນໍາໃຫ້ໃຊ້ເສື້ອຜ້າດ້ານຫນ້າຂອງການປະທັບຕາ (ການກວດກາກ້ອງຈຸລະທັດແບບ Etopical Optical Optical) ເພື່ອຫລີກລ້ຽງຄວາມລົ້ມເຫຼວຢ່າງກະທັນຫັນ.  

2. ໃຊ້ເຄື່ອງເຮັດຄວາມສະອາດພິເສດ (ເຊັ່ນ: ethanol ທີ່ຂາດສານອາຫານ) ເພື່ອເອົາເງິນຝາກອອກ, ຫ້າມການແຜ່ລາມກົນຈັກເພື່ອປ້ອງກັນການເຄືອບ SIC.