sic counated e-chuck

ໃນຂະນະທີ່ Nitride Gallium (Gan) ກາຍເປັນວັດສະດຸຫຼັກຂອງ semicondortuctor ລຸ້ນທີສາມ, ສະຖານທີ່ຂອງມັນມີຄວາມຖີ່ສູງ, ເຊັ່ນ: ສະຖານີບັງຄັບໃຊ້ 5G, ແບບໂມດູນແລະອຸປະກອນໄຟຟ້າ. ເຖິງຢ່າງໃດກໍ່ຕາມ, ໃນການຜະລິດ semiconductor, ໂດຍສະເພາະໃນຂະບວນການ etching, wafers ຕ້ອງມີຄວາມຕ້ອງການໃນຂະບວນການທີ່ສູງທີ່ສຸດສໍາລັບເຄື່ອງມືດ້ານເຕັກນິກທີ່ສູງທີ່ສຸດ.

ກະເປົ pelets sicicond semetogenductor ຂອງ vetek ຖືກອອກແບບມາສໍາລັບ Gan Wafer Etching ແລະສະເຫນີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ຄວາມຕ້ານທານແລະຄວາມຕ້ານທານທີ່ດີເລີດໃນການສະຫນັບສະຫນູນຂັ້ນຕອນການຜະລິດຂອງທ່ານ. ມັນເຫມາະສໍາລັບຂັ້ນຕອນການຜະລິດຂອງ Plasma (ICP / RIE) ແລະເປັນທາງເລືອກທີ່ດີທີ່ສຸດໃນອຸປະກອນຜະລິດ semiconductor ທີ່ທັນສະໄຫມ.

ຄວາມເຂັ້ມແຂງຫຼັກ

1. ອຸປະກອນເສີມທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ

ຄວາມຫມັ້ນຄົງທາງເຄມີ: ຄວາມບໍລິສຸດຂອງວັດສະດຸແມ່ນຫຼາຍກ່ວາ 99,5%, ແລະບໍ່ມີມົນລະພິດກັບ Gan Wafer.

ຄວາມແຂງແລະຄວາມຕ້ານທານຂອງຄວາມແຂງກະດ້າງແລະຄວາມຕ້ານທານໄດ້ໃກ້ຊິດກັບເພັດ, ສາມາດຕ້ານທານກັບການນໍາໃຊ້ຄວາມຖີ່, ການປ່ຽນແປງທີ່ບໍ່ສາມາດເບິ່ງເຫັນໄດ້ແລະການຂູດຮີດແລະຮອຍຂີດຂ່ວນ.

2. ການປະຕິບັດຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ

ການປະຕິບັດຄວາມຮ້ອນສູງ, ມີການຈັບຄູ່ກັບການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນ (CTE): ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຂອງ Wafer Cracking ໃນຂະບວນການ etching.

3. ຄວາມຕ້ານທານການກັດທາງເຄມີ Super

ມັນສາມາດເຮັດວຽກໄດ້ໃນຄວາມເຂັ້ມຂົ້ນຂອງທາດ fluoride, chloride ແລະສະພາບແວດລ້ອມອາຍແກັສທີ່ເປັນຕາຢ້ານອື່ນໆເປັນເວລາດົນ.

4. ການອອກແບບທີ່ຊັດເຈນແລະເຄື່ອງຈັກ

ຄວາມຫຍາບຄາຍແລະຄວາມຮາບພຽງດ້ານແມ່ນຮັບປະກັນການຈັດວາງ wafer ທີ່ລຽບແລະເປັນເອກະພາບດ້ານຄວາມເປັນເອກະພາບເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຂອງຂະບວນການທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ.

ຂະຫນາດ, ຮ່ອງ, ຮູທີ່ມີກໍານົດແລະໂຄງສ້າງອື່ນໆສາມາດປັບແຕ່ງຕາມຄວາມຕ້ອງການຂອງລູກຄ້າ.

ພາກສະຫນາມຂອງ SIC ເຄືອບອີເລັກໂທຣນິກອີເມວ

● Plasma Etching (ICP / RIE)

ມັນສະຫນອງການແກ້ໄຂທີ່ບໍ່ມີປະໂຫຍດແລະສະຫນັບສະຫນູນໃນອຸນຫະພູມສູງແລະສະພາບແວດລ້ອມທາງເຄມີສູງ, ເຫມາະສໍາລັບຂະບວນການ etching ຂອງ Gan, Sic ແລະວັດສະດຸອື່ນໆ.

●ການໂອນຍ້າຍແລະການເກັບຮັກສາ Werfer

ສະຫນອງເວທີທີ່ຮາບພຽງແລະມົນລະພິດສູງເພື່ອປົກປ້ອງຄວາມປອດໄພຂອງ Wafer ໃນຂະບວນການຜະລິດ.

ການບໍລິການທີ່ກໍາຫນົດເອງ

semicondoronductor vetek ສະເຫນີການບໍລິການທີ່ກໍານົດເອງເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຂອງໂຄງການສະເພາະຂອງທ່ານ:

●ປັບປຸງຂະຫນາດ: ຂະຫນາດ pallet ສາມາດປັບແຕ່ງໄດ້ຕາມຂະຫນາດ Wafer (ø4 ~ 12 ນີ້ວ).

●ການເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງໂຄງສ້າງ: ສະຫນັບສະຫນູນຮ່ອງ, ຂຸມຕໍາແຫນ່ງ, ຈຸດຄົງທີ່ແລະການປັບແຕ່ງໂຄງສ້າງອື່ນໆ.

ມັນ semiconductorຮ້ານຂາຍຜະລິດຕະພັນ SIC COURDE E-Chuck