ແຫວນຈຸດສຸມຂອງ Plasma Etching

ໃນສະຫນາມຂອງ wafer ການຜະລິດ, ແຫວນຈຸດສຸມຂອງ vetek semetonductor ມີບົດບາດສໍາຄັນ. ມັນບໍ່ແມ່ນພຽງແຕ່ສ່ວນປະກອບທີ່ງ່າຍດາຍເທົ່ານັ້ນ, ແຕ່ມີບົດບາດສໍາຄັນໃນຂະບວນການ apsma. ຫນ້າທໍາອິດ, ແຫວນຈຸດສຸມຂອງ plasma ແມ່ນຖືກອອກແບບເພື່ອຮັບປະກັນວ່າ wafer ໄດ້ຖືກຈັດຂື້ນຢ່າງແຫນ້ນຫນາໃນຕໍາແຫນ່ງທີ່ຕ້ອງການ, ສະນັ້ນໃຫ້ຮັບປະກັນຄວາມຖືກຕ້ອງແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການ etching. ໂດຍການຖື Wafer ໃນສະຖານທີ່, ແຫວນທີ່ສຸມໃສ່ການຮັກສາຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງ plasma, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງຈໍາເປັນສໍາລັບຄວາມສໍາເລັດຂອງຂະບວນການ Etching.

ນອກຈາກນັ້ນ, ແຫວນຈຸດສຸມກໍ່ມີບົດບາດສໍາຄັນໃນການປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນຂ້າງຂອງ Wafer. ຄຸນນະພາບແລະຄວາມບໍລິສຸດຂອງການຫລອກລວງແມ່ນສໍາຄັນຕໍ່ການຜະລິດຊິບ, ສະນັ້ນທຸກມາດຕະການທີ່ຈໍາເປັນຕ້ອງໄດ້ຮັບປະກັນວ່າ Wafers ຍັງສະອາດຕະຫຼອດຂັ້ນຕອນ. ແຫວນຈຸດສຸມປ້ອງກັນຄວາມບໍ່ສະອາດພາຍນອກຢ່າງມີປະສິດທິຜົນແລະສິ່ງປົນເປື້ອນທີ່ເຂົ້າມາໃນດ້ານຂອງຫນ້າດິນ, ດັ່ງນັ້ນໃຫ້ຮັບປະກັນຄຸນນະພາບແລະຜົນງານຂອງຜະລິດຕະພັນສຸດທ້າຍ.

ໃນອະດີດ,ການສຸມໃສ່ແຫວນສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນຜະລິດຈາກ quartz ແລະ Silicon. ເຖິງຢ່າງໃດກໍ່ຕາມ, ດ້ວຍການເພີ່ມຂື້ນຂອງການປັບປຸງແຫ້ງໃນການຜະລິດ werferd ທີ່ກ້າວຫນ້າ, ຄວາມຕ້ອງການແຫວນທີ່ເຮັດດ້ວຍຊິລິໂຄນທີ່ເຮັດດ້ວຍຊິລິໂຄນ Corbide (SIC) ກໍ່ເພີ່ມຂື້ນ. ເມື່ອປຽບທຽບກັບແຫວນຊິລິໂຄນທີ່ບໍລິສຸດ, ແຫວນ SIC ແມ່ນທົນທານກວ່າແລະມີຊີວິດການບໍລິການທີ່ຍາວກວ່າ, ສະນັ້ນຈຶ່ງຫຼຸດຜ່ອນຕົ້ນທຶນການຜະລິດ. ແຫວນ Silicon ຈໍາເປັນຕ້ອງໄດ້ຮັບການທົດແທນທຸກໆ 10 ຫາ 12 ວັນ, ໃນຂະນະທີ່ແຫວນ SIC ຖືກທົດແທນທຸກໆ 15 ຫາ 20 ວັນ. ປັດຈຸບັນ, ບາງບໍລິສັດຂະຫນາດໃຫຍ່ເຊັ່ນ Samsung ກໍາລັງຮຽນການນໍາໃຊ້ເຄື່ອງປັ້ນດິນເຜົາ Carbide Boron Carbide (B4C) ແທນທີ່ຈະເປັນ Sic. B4C ມີຄວາມແຂງແຮງສູງກວ່າ, ສະນັ້ນຫນ່ວຍງານດັ່ງກ່າວຈະແກ່ຍາວເຖິງອີກແລ້ວ.

ໃນອຸປະກອນທີ່ມີການແກ້ໄຂບັນຫາຂອງ plasma, ການຕິດຕັ້ງແຫວນຈຸດສຸມແມ່ນມີຄວາມຈໍາເປັນສໍາລັບການລອກເອົາພື້ນຜິວຂອງທໍ່ຍ່ອຍຢູ່ເທິງຖານໃນເຮືອປິ່ນປົວ. ແຫວນທີ່ສຸມໃສ່ອ້ອມຮອບຊັ້ນຫລັງທີ່ມີເຂດທໍາອິດຢູ່ດ້ານໃນຂອງພື້ນຜິວຂອງມັນທີ່ມີຄວາມຫຍາບຄາຍຂອງພື້ນຜິວໂດຍສະເລ່ຍໃນການຖືກຈັບແລະຝາກໄວ້. 

ໃນເວລາດຽວກັນ, ພາກພື້ນທີສອງທີ່ຢູ່ນອກພາກພື້ນທໍາອິດມີຄວາມຫຍາບຄາຍສະເລ່ຍໃຫຍ່ເພື່ອຊຸກຍູ້ໃຫ້ມີຜະລິດຕະພັນທີ່ມີປະຕິກິລິຍາໃນລະຫວ່າງຂັ້ນຕອນການກໍານົດແລະຝາກ. ເຂດແດນທໍາອິດແລະພາກພື້ນທີສອງແມ່ນສ່ວນທີ່ສອງແມ່ນສ່ວນຫນຶ່ງທີ່ມີຈໍານວນເງິນທີ່ຂ້ອນຂ້າງ, ມີອຸປະກອນທີ່ໂດດເດັ່ນໃນອຸປະກອນ etching, ແລະການສ້ອມແປງ plasma ແມ່ນປະຕິບັດຢູ່ເທິງຊັ້ນໃຕ້ດິນ.

ຮ້ານຂາຍເຄື່ອງຂອງຜະລິດຕະພັນ veteksemicon: