ຂ່າວ

ໃນຍຸກຂອງການວິວັດທະນາການ MEMS (ລະບົບເຄື່ອງກົນຈັກໄຟຟ້າຈຸລະພາກ) ຢ່າງໄວວາ, ການເລືອກອຸປະກອນໄຟຟ້າ piezoelectric ທີ່ຖືກຕ້ອງແມ່ນການຕັດສິນໃຈທີ່ເຮັດ ຫຼື ຢຸດເຮັດວຽກຂອງອຸປະກອນ. PZT (Lead Zirconate Titanate) wafers ຟິມບາງໄດ້ອອກມາເປັນທາງເລືອກຊັ້ນນໍາຫຼາຍກວ່າທາງເລືອກເຊັ່ນ AlN (Aluminum Nitride), ສະເຫນີການເຊື່ອມໄຟຟ້າທີ່ເຫນືອກວ່າສໍາລັບເຊັນເຊີຕັດແລະຕົວກະຕຸ້ນ.

ເນື່ອງຈາກການຜະລິດ semiconductor ສືບຕໍ່ພັດທະນາໄປສູ່ຂະບວນການກ້າວຫນ້າ, ການເຊື່ອມໂຍງທີ່ສູງຂຶ້ນ, ແລະສະຖາປັດຕະຍະກໍາທີ່ສັບສົນ, ປັດໃຈທີ່ຕັດສິນສໍາລັບຜົນຜະລິດຂອງ wafer ແມ່ນມີການປ່ຽນແປງເລັກນ້ອຍ. ສໍາລັບການຜະລິດ wafer semiconductor ທີ່ກໍາຫນົດເອງ, ຈຸດທໍາລາຍສໍາລັບຜົນຜະລິດບໍ່ໄດ້ຢູ່ໃນຂະບວນການຫຼັກເຊັ່ນ lithography ຫຼື etching; susceptors ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງກໍາລັງກາຍມາເປັນຕົວແປພື້ນຖານທີ່ມີຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຂະບວນການ.

ໃນໂລກຂອງ semiconductors ວົງກວ້າງ (WBG), ຖ້າຂະບວນການຜະລິດແບບພິເສດແມ່ນ "ຈິດວິນຍານ", ຕົວຍຶດ graphite ແມ່ນ "ກະດູກສັນຫຼັງ", ແລະການເຄືອບດ້ານຂອງມັນແມ່ນ "ຜິວຫນັງ."