ceramic electrostatic chuck

ຂະບວນການຜະລິດ semiconductor, ໂດຍສະເພາະແມ່ນ wafer processing, ແມ່ນດໍາເນີນໃນສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດ, ແລະ wafing ກົນຈັກ clfing 

ຄວາມສ່ຽງບາງຢ່າງ. ໃນເວລາທີ່ກໍາລັງແຮງໄດ້ສຸມໃສ່ໃນຈຸດຫນີບ, ກະເປົາເປ້ຊິລິໂຄນອາດຈະຫົດຕົວບາງສ່ວນ, ເຊິ່ງກໍ່ໃຫ້ເກີດຄວາມເສຍຫາຍທີ່ຮ້າຍແຮງຕໍ່ການຜະລິດທີ່ຮ້າຍແຮງ.

ໃນກໍລະນີນີ້, Chuck Ceramic Electrostatic ກາຍເປັນທາງເລືອກທີ່ດີກວ່າ, ເຊິ່ງແກ້ໄຂເຄື່ອງທີ່ໃຊ້ໂດຍແຮງໄຟຟ້າໂດຍແຮງໄຟຟ້າ. ຜົນບັງຄັບໃຊ້ໄຟຟ້າເຮັດວຽກໃຫ້ເປັນທີ່ແນ່ນອນໃນການ wafer, ສະນັ້ນ wafer ສາມາດໄດ້ຮັບການແກ້ໄຂຢ່າງຮາບພຽງ, ປັບປຸງຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງຂະບວນການ.

ອີງຕາມເອກະສານຄົ້ນຄ້ວາທີ່ກ່ຽວຂ້ອງ, Chuck Ceramic Electrostatic ມີຄວາມດູດຊືມທີ່ເຂັ້ມແຂງກ່ວາ chucks electrostatic ອື່ນໆ. ຍົກຕົວຢ່າງ, Chuck Ceramic Electrostatic Chuck ມີຄວາມຕື່ນເຕັ້ນຫຼາຍກ່ວາຮູບເງົາສັດລ້ຽງທີ່ດີເລີດທີ່ສຸດ.

CERAMICS CHUCK ແມ່ນເຮັດດ້ວຍວັດສະດຸທີ່ມີປະສິດຕິພາບສູງເຊັ່ນ Al2o3, aln ຫຼື sic, ເຊິ່ງມີຄວາມຮ້ອນສູງ, ການຕິດຕໍ່ແລະຕ້ານການກັດ. porous sic cerapic chuck ແມ່ນບໍ່ພຽງແຕ່ຫມັ້ນຄົງໃນອຸນຫະພູມທີ່ສຸດ, ແຕ່ຍັງຄົງປ້ອງກັນຢ່າງມີປະສິດຕິຜົນ e-chuck ຈາກການເຊື່ອມໂຊມແລະ plasma etching ໃນລະຫວ່າງຂັ້ນຕອນການຜະລິດ.

ການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມ: ການປະຕິບັດຄວາມຮ້ອນສູງແລະຄຸນລັກສະນະຄວາມຮ້ອນທີ່ຫມັ້ນຄົງຂອງອຸປະກອນເຊລາມິກສາມາດຄວບຄຸມອຸນຫະພູມໄດ້ຢ່າງມີປະສິດຕິຜົນ, ໃຫ້ມີການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມຢ່າງມີປະສິດຕິຜົນໃນໄລຍະຂະບວນການ.

ການປັບອາກາດ: Chuck Ceramic Electrostatic ແມ່ນເຫມາະສົມສໍາລັບສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດ, ໂດຍສະເພາະໃນຄວາມກົດດັນຕ່ໍາແລະຂະບວນການທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ.

ຄົນລຸ້ນ particle ຕ່ໍາ: ນ້ໍາມັນ sicor sic e-chuck ມີພື້ນຜິວກ້ຽງ, ເຊິ່ງສາມາດຫຼຸດຜ່ອນການປົນເປື້ອນເຂົ້າໃນລະຫວ່າງການແກ້ໄຂຜະລິດຕະພັນແລະຊ່ວຍປັບປຸງຜົນຜະລິດສິນຄ້າ.

ການສະຫມັກ: ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ໃນ semiconductor per semiconductor, ສະຫນອງຄວາມຫມັ້ນຄົງແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງທີ່ສຸດ, ການປຸງແຕ່ງຂະບວນການຜະລິດທີ່ຊັດເຈນແລະ semiconductor. ຮັບປະກັນວ່າ wafer ແມ່ນ intact ໃນລະຫວ່າງການປຸງແຕ່ງແລະປັບປຸງຄຸນນະພາບຂອງການຜະລິດຊິບ.

ມັນ semiconductorຮ້ານຂາຍເຄື່ອງຜະລິດ seramic e-chuck: