Veeco Mocvd Providence

ມັນ semiconductor ຂອງveeco mocvdWafer Susceptor ແມ່ນສ່ວນປະກອບສໍາຄັນ, ໄດ້ຮັບການອອກແບບຢ່າງລະອຽດໂດຍໃຊ້ຮູບພາບຂອງວິທີການຊິລິໂຄນ Carbide (SIC) ການເຄືອບ. ນີ້ການເຄືອບ SUICສະຫນອງຜົນປະໂຫຍດຫຼາຍຢ່າງ, ເຮັດໃຫ້ມີການໂອນຄວາມຮ້ອນທີ່ມີປະສິດທິພາບຫຼາຍຂື້ນກັບຊັ້ນໃຕ້ດິນ. ການບັນລຸການແຈກຢາຍຄວາມຮ້ອນທີ່ດີທີ່ສຸດໃນທົ່ວຊັ້ນຍ່ອຍແມ່ນມີຄວາມຈໍາເປັນສໍາລັບການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມທີ່ເປັນເອກະພາບ, ເຊິ່ງມີຄວາມສໍາຄັນ, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງສໍາຄັນ, ມີຄວາມສໍາຄັນ, ເປັນສິ່ງສໍາຄັນ, ໃນການຜະລິດອຸປະກອນ semiconductor.

ພາລາມິເຕີດ້ານວິຊາການ

ມາຕຣິກເບື້ອງຂອງຄຸນສົມບັດວັດສະດຸ

ຕົວຊີ້ວັດທີ່ສໍາຄັນ Vetek ມາດຕະຖານວິທີແກ້ໄຂບັນຫາພື້ນເມືອງ

ຄວາມບໍລິສຸດຄວາມບໍລິສຸດວັດຖຸດິບ 6n Graphite Mold Graphite

ລະດັບການຈັບຄູ່ Cte (25-1400 ℃) ℃α≤0.3≤0.3 ≤0. / k ≥1.2×10⁻⁶ / k

ການປະຕິບັດຄວາມຮ້ອນ @ 800 ℃ 110 W / M · 85 W / M ·

ຄວາມຫຍາບຄາຍ (ra) ≤0.1mm≥0.5μm

ຄວາມທົນທານດ້ານອາຊິດ (pH = 1 @ 80 ℃) 1500 ຮອບວຽນ 300 ຮອບວຽນ 300 ຮອບວຽນ

ການຟື້ນຟູ COE ປະໂຫຍດ

ນະວັດຕະກໍາການຄຸ້ມຄອງຄວາມຮ້ອນ

ເຕັກນິກການຈັບຄູ່ CTE ປະລໍາມະນູ CTE

ຍີ່ປຸ່ນໃນປະເທດຍີ່ປຸ່ນ

ຄວາມຮ້ອນຂອງວົງຈອນຄວາມຮ້ອນຫຼຸດລົງໂດຍ 82% (ວັດແທກ 1400 ℃↔RT 500 Cycles ໂດຍບໍ່ມີການແຕກ)

ການອອກແບບພາກສະຫນາມຄວາມຮ້ອນ

ໂຄງສ້າງການຊົດເຊີຍອຸນຫະພູມ 12 ເຂດ: ບັນລຸ± 0.5 ℃ຄວາມເປັນເອກະພາບດ້ານດ້ານຂອງ wafer φ200mm

ການຕອບສະຫນອງຄວາມຮ້ອນແບບເຄື່ອນໄຫວ: ອຸນຫະພູມ gradient ≤1.2℃1.2 / ຊມໃນອັດຕາຄວາມຮ້ອນ 5 ℃ / s

ລະບົບປົກປັກຮັກສາເຄມີ
ອຸປະສັກ Mpripeite Triple

50μmຊັ້ນປ້ອງກັນຫຼັກ

ຊັ້ນການຫັນປ່ຽນ Nanotac (ເປັນທາງເລືອກ)

ຄວາມສົມດຸນດ້ານການແຊກແຊງຂອງອາຍແກັສ

ຢັ້ງຢືນໂດຍ ASTM G31-21:

ອັດຕາການກັດກ່ອນ c ການກັດສົມບັດ <0.003mm / ປີ

NH3 ສໍາຜັດກັບ 1000H ໂດຍບໍ່ມີເມັດພືດ

ລະບົບການຜະລິດທີ່ສະຫຼາດ

ການປຸງແຕ່ງຄູ່ແຝດດິຈິຕອຕ

ສູນເຄື່ອງຈັກຫ້າແກນ: ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງຕໍາແຫນ່ງ±1.5μm

Online ກວດກາສະແກນ 3D: ການຢັ້ງຢືນຂະຫນາດເຕັມ 100% (ໂດຍສອດຄ່ອງກັບ asme y14.5)

ການນໍາສະເຫນີມູນຄ່າທີ່ອີງໃສ່ສະຖານະການ

ການຜະລິດມະຫາຊົນລຸ້ນລຸ້ນລຸ້ນທີສາມ

ປະສິດທິຜົນຜົນປະໂຫຍດຂອງລູກຄ້າຂອງລູກຄ້າ

Gan Hemt 6 ນິ້ວ / 150μmມີຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງອາຍແກັສເອເລັກໂຕຣນິກຂະຫນາດສອງມິຕິ <2%

Sic mosfet c do-om mosfomity coniformity ± 3% ຂອງຄວາມຮຸນແຮງ

ອັດຕາຄວາມເປັນເອກະພາບ WALLENTH ACTIFLENTH ± 1.2NM ຊິບອັດຕາຊິບເພີ່ມຂື້ນ 15%

ການເພີ່ມປະສິດທິພາບຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການບໍາລຸງຮັກສາ

ໄລຍະເວລາທໍາຄວາມສະອາດແມ່ນຂະຫຍາຍອອກໄປ 3 ຄັ້ງ: HF: HFE ₃ = 1: 3 ຄວາມສະອາດສຸມສູງແມ່ນໄດ້ຮັບການສະຫນັບສະຫນູນ

ລະບົບການຄາດຄະເນຊີວິດອາໄຫຼ່: Ai ສູດການຄິດໄລ່ຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງ± 5%

ຮ້ານຂາຍເຄື່ອງທີ່ມີ semetoCo Mocvd mocvd mocvd: