ຂ່າວ

ໃນການກະກຽມຂອງຊັ້ນໃຕ້ດິນຂອງພືດທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງແລະໃຫ້ຜົນຜະລິດສູງ, ຫຼັກຮຽກຮ້ອງໃຫ້ມີການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມການຜະລິດທີ່ຊັດເຈນໂດຍວັດສະດຸຜະລິດຄວາມຮ້ອນ. ໃນປະຈຸບັນ, ຊຸດເຄື່ອງມືທີ່ຖືກຕ້ອງໃນພາກສະຫນາມຄວາມຮ້ອນແມ່ນຖືກນໍາໃຊ້ແມ່ນສ່ວນປະກອບໂຄງສ້າງທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ເຊິ່ງຫນ້າທີ່ຂອງຮູບພາບຄາບອນແລະຜົງຊິລິໂຄນພ້ອມທັງຮັກສາຄວາມຮ້ອນ.

ເມື່ອທ່ານເຫັນ semicondorctors-geation-Genement, ທ່ານແນ່ນອນຈະສົງໄສວ່າລຸ້ນທໍາອິດແລະລຸ້ນທີສອງແມ່ນຫຍັງ. "ຄົນລຸ້ນ" ຢູ່ທີ່ນີ້ແມ່ນຈັດປະເພດໂດຍອີງໃສ່ວັດສະດຸທີ່ໃຊ້ໃນການຜະລິດ semiconductor.

The Electrostatic Chuck (ESC), ເຊິ່ງເປັນທີ່ຮູ້ຈັກກັນໃນຂະນະທີ່ Chuck Electrostatic (E-chuck), ແມ່ນອຸປະກອນເສີມທີ່ໃຊ້ຫຼັກການຂອງ Electrostatic Adsorption ເພື່ອຖືແລະແກ້ໄຂອຸປະກອນການໂຄສະນາ. ມັນເຫມາະສົມກັບສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດແລະ plasma.