ແຫວນຈຸດສຸມສໍາລັບ etching

ແຫວນ Silicon Eilocrystalline ແມ່ນສ່ວນປະກອບທີ່ສໍາຄັນໃນການຮັກສາສະພາບແວດລ້ອມຂອງ plasma, ການປົກປ້ອງອຸປະກອນແລະການປັບປຸງໃຊ້ໃນຂະບວນການທີ່ຕ້ອງການ. ຜົນງານຂອງມັນມີຜົນກະທົບໂດຍກົງສົ່ງຜົນໃຫ້ຜົນຜະລິດແລະຄ່າໃຊ້ຈ່າຍຂອງການຜະລິດຊິບ.

ແຫວນຈຸດສຸມທີ່ຖືກ etched, electrode ແລະ etp (ເຄື່ອງຄວບຄຸມອຸນຫະພູມແຂບ) ແມ່ນ Core Core Core ເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງ plasma, ການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມແລະຂັ້ນຕອນການເຮັດວຽກໃຫມ່. ສ່ວນປະກອບເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນໄດ້ປະກອບຢ່າງແນ່ນອນໃນສະພາສູນຍາກາດຂອງ CVD, Etching ແລະອຸປະກອນແລະກໍານົດຄວາມຖືກຕ້ອງແລະຜົນຜະລິດຂອງ edching ຈາກແຂບຂອງ wafer ໄດ້.

ເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຄວາມຕ້ອງການຂອງຄວາມຕ້ອງການຂອງວັດສະດຸໃນຂະບວນການຜະລິດໃນລະດັບສູງ, veteksestalline silicon ທີ່ມີຄວາມຕ້ານທານກັບແຫວນ10-20ωω to ເພື່ອຜະລິດແຫວນແລະການສະຫນັບສະຫນູນການບໍລິໂພກ. ຜ່ານການເພີ່ມປະສິດທິພາບດ້ານການຮ່ວມມືຂອງວິທະຍາສາດດ້ານວັດຖຸ, ການອອກແບບໄຟຟ້າແລະວັດແທກຄວາມຮ້ອນ, veteksemi ແມ່ນສາມາດຜະລິດແຫວນທີ່ຕັ້ງແລະສະຫນັບສະຫນູນການບໍລິໂພກແລະສະຫນັບສະຫນູນການບໍລິໂພກແລະການສະຫນັບສະຫນູນການບໍລິໂພກແລະສະຫນັບສະຫນູນການບໍລິໂພກແລະສະຫນັບສະຫນູນການບໍລິໂພກແລະສະຫນັບສະຫນູນການບໍລິໂພກ ເຂົ້າໃຈ solutions quartz ແບບປະເພນີແບບປະເພນີປະສົມປະສານຢ່າງສິ້ນເຊີງເພື່ອບັນລຸການປັບປຸງອັນຕະລາຍໃນອາຍຸຍືນ, ຄວາມຖືກຕ້ອງແລະມີປະສິດຕິຜົນ.

ການປຽບທຽບວັດສະດຸຫຼັກແລະການເພີ່ມປະສິດທິພາບການຕໍ່ຕ້ານ

ຊິໂກກຽວSstalline Silicon Vs. ສີ່ຫລ່ຽມ

ຂໍ້ໄດ້ປຽບ Coree

1. ລະດັບປະລໍາມະນູລະດັບປະລໍາມະນູຄວາມຖືກຕ້ອງ

ການເພີ່ມປະສິດທິພາບຕ້ານທານ + ການກວດກາຄວາມເປັນຍໍາສູງສຸດ

ການສູນເສຍ dielectric (tanδ <0.001) ແມ່ນຖືກຈັບຄູ່ສູງກັບບັນດາສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຂີ້ຮ້າຍ, ຫລີກລ້ຽງການບິດເບືອນສະຫນາມໄຟຟ້າທີ່ມີຂອບເຂດແລະສະຫນັບສະຫນູນ 3D NAND 89,5 ° 0.3 °.

2. ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງລະບົບທີ່ສະຫຼາດ

ປະສົມປະສານກັບໂມດູນການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມທີ່ເຢັນແລະມີການປັບຕົວແບບເຄື່ອນໄຫວໂດຍ Thermocouple ແລະ Ai algorithm ເພື່ອຊົດເຊີຍພຽງການລອຍລົມຄວາມຮ້ອນຂອງຫ້ອງ.

ສະຫນັບສະຫນູນເຄືອຂ່າຍການຈັບຄູ່ RF ທີ່ເຫມາະສົມ, ເຫມາະສົມສໍາລັບເຄື່ອງຈັກຫລັກເຊັ່ນ Amat Centura, Lam Research Sources KISM / CCP Plasma.

3. ປະສິດທິຜົນທີ່ມີຄ່າໃຊ້ຈ່າຍທີ່ສົມບູນແບບ

ຊີວິດຂອງ Silicon Monocrystalline ແມ່ນ 275% ຍາວກວ່ານັ້ນ, ວົງຈອນການບໍາລຸງຮັກສາແມ່ນຫຼາຍກວ່າ 3,000 ຊົ່ວໂມງ, ແລະຄ່າໃຊ້ຈ່າຍທີ່ສົມບູນແບບຂອງການເປັນເຈົ້າຂອງ (TCO) ຫຼຸດລົງ 30%.

ການໃຫ້ບໍລິການຕາມການປັບແຕ່ງ Gradiation (5-100ω cmm ຊມ), ກົງກັບປ່ອງຢ້ຽມຂອງລູກຄ້າ (ເຊັ່ນ: Gan / Gap Space Gap Etching).

ຜົນກະທົບຂອງການຕໍ່ຕ້ານ

ເງື່ອນໄຂການຄ້າຜະລິດຕະພັນ

ປະລິມານການສັ່ງຊື້ຂັ້ນຕ່ໍາສຸດ	1 ຊຸດ
ລາຄາ	ຕິດຕໍ່ຫາວົງຢືມທີ່ກໍານົດເອງ
ລາຍລະອຽດການຫຸ້ມຫໍ່	ຊຸດສົ່ງອອກມາດຕະຖານ
ເວລາສົ່ງ	ເວລາສົ່ງສິນຄ້າ: 30-35 ວັນຫຼັງຈາກການຢືນຢັນການສັ່ງຊື້
ເງື່ອນໄຂການຊໍາລະເງິນ	t / t
ຄວາມສາມາດໃນການສະຫນອງ	600 ຊຸດ / ເດືອນ