ຜູ້ປົກຄອງເຄືອບ CVD SIC

ຫນ້າທີ່ຕໍາແຫນ່ງແລະຫຼັກຊັບສິນຜະລິດຕະພັນ:

ເຄື່ອງປ້ອງກັນ CVD SIC ແມ່ນສ່ວນປະກອບສໍາຄັນໃນອຸປະກອນທີ່ມີສ່ວນປະກອບຂອງ Silicon Carbide. ຫນ້າທີ່ຫຼັກຂອງມັນປະກອບມີ:

ການປ້ອງກັນ Corrosion: ການເຄືອບ carbide carbide corbide ທີ່ສ້າງຂື້ນໂດຍການປະມູນສານເຄມີສາມາດຕ້ານທານກັບການກັດກ່ອນຂອງ chlorine / ແມ່ນເຫມາະສົມສໍາລັບສະພາບແວດລ້ອມທີ່ໂຫດຮ້າຍເຊັ່ນ: ອຸປະກອນທີ່ຫຍຸ້ງຍາກເຊັ່ນ: ອຸປະກອນທີ່ຫຍຸ້ງຍາກເຊັ່ນ: ອຸປະກອນທີ່ຫຍຸ້ງຍາກເຊັ່ນ: ອຸປະກອນທີ່ຫຍຸ້ງຍາກເຊັ່ນ: ອຸປະກອນທີ່ຫນັກແຫນ້ນ.

ການຄຸ້ມຄອງຄວາມຮ້ອນ: ການປະຕິບັດຄວາມຮ້ອນ: ຄວາມຮ້ອນສູງຂອງວັດສະດຸຊິລິໂຄນ Carbide ສາມາດເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງອຸນຫະພູມອຸນຫະພູມໃນຫ້ອງປະຕິກິລິຍາແລະປັບປຸງຄຸນນະພາບຂອງຊັ້ນປະຕິກິລິຍາ;

ການຫຼຸດຜ່ອນມົນລະພິດ: ເປັນສ່ວນປະກອບຂອງສາຍ, ມັນສາມາດປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ຜະລິດຕະພັນທີ່ມີປະຕິກິລິຍາຈາກການຕິດຕໍ່ສະຖານທີ່ແລະຂະຫຍາຍວົງຈອນບໍາລຸງຮັກສາ.

ຄຸນລັກສະນະທາງວິຊາການແລະການອອກແບບ:

ການອອກແບບໂຄງສ້າງ:

ປົກກະຕິແລ້ວແບ່ງອອກເປັນພາກສ່ວນເຄິ່ງຫນຶ່ງແລະຕ່ໍາ, ຕິດຕັ້ງ symmetrically ປະມານຖາດເພື່ອປະກອບເປັນໂຄງສ້າງປ້ອງກັນທີ່ມີຮູບຊົງ;

ການຮ່ວມມືກັບສ່ວນປະກອບຕ່າງໆເຊັ່ນ: ຖາດແລະອາບນ້ໍາອາຍແກັດເພື່ອເພີ່ມປະສິດທິພາບການແຜ່ກະຈາຍທາງອາກາດແລະການສຸມໃສ່ຜົນກະທົບຕໍ່ການແຜ່ກະຈາຍ.

ຂະບວນການເຄືອບ:

ວິທີການ CVD ແມ່ນໃຊ້ໃນການນໍາເອົາການເຄືອບ SIC ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ມີຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງຮູບເງົາຫນາພາຍໃນ± 5% ແລະຄວາມຫຍາບຂອງພື້ນທີ່ຕ່ໍາເປັນra≤0.5μm;

ຄວາມຫນາຂອງການເຄືອບປົກກະຕິແມ່ນ100-300μm, ແລະມັນສາມາດຕ້ານທານກັບສະພາບແວດລ້ອມທີ່ອຸນຫະພູມສູງຂອງ 1600 ℃.

ສະຖານະການສະຖານະການແລະຂໍ້ໄດ້ປຽບໃນການສະຫມັກ:

ອຸປະກອນທີ່ສາມາດໃຊ້ໄດ້:

ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ສໍາລັບຊິລິໂຄນຂະຫນາດ 8 ນິ້ວຂະຫນາດ 6 ນິ້ວຂອງ LPE ຂອງ Corbide, ສະຫນັບສະຫນູນການເຕີບໂຕຂອງ sic homoepaitaxial;

ເຫມາະສໍາລັບອຸປະກອນ Etching, ອຸປະກອນ MocvD ແລະສະຖານະການອື່ນໆທີ່ຕ້ອງການຄວາມຕ້ານທານດ້ານການກັດທາງສູງ.

ຕົວຊີ້ວັດທີ່ສໍາຄັນ:

ຕົວຄູນການຂະຫຍາຍຕົວຄວາມຮ້ອນ: 4.5 ×10⁻⁶ / k (ຈັບຄູ່ກັບຊັ້ນໃຕ້ກາຟິກເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຕຶງຄຽດ);

ຄວາມຕ້ານທານ: 0,1-10ω· Cm (ການປະຊຸມຜົນການນໍາໃຊ້ຄວາມຕ້ອງການ);

ຊີວິດການບໍລິການ: ຍາວກວ່າເອກະສານທີ່ຍາວກວ່າ quartz / silicon ແບບດັ້ງເດີມ.

ສິ່ງກີດຂວາງແລະສິ່ງທ້າທາຍດ້ານເຕັກນິກ

ຜະລິດຕະພັນນີ້ຈໍາເປັນຕ້ອງໄດ້ເອົາຊະນະຄວາມຫຍຸ້ງຍາກໃນຂະບວນການເຊັ່ນ: ການຊົດເຊີຍຄວາມຫນາ (≥30mpa) ແລະຄວາມຫນາຂອງການເຊື່ອມໂຍງຄວາມໄວສູງ (1000RPM) ແລະຄວາມຕ້ອງການຂອງອຸນຫະພູມສູງສຸດຂອງອຸປະກອນ LPE.